【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及气体传感，更具体的说是涉及基于空腔截锥体结构的气体传感器及仿真方法。
技术介绍
1、目前，随着人们对个人健康和环境安全意识的提高，危险气体实时在线监测的问题逐渐成为人们关注的焦点。光学气体传感器可以提供实时、准确的气体检测，在医疗、安全、环境监测等领域有着广泛的应用。与电传感器相比，光学传感器没有电弧，避免了爆炸和电磁干扰的风险，更适合于爆炸性环境。现有的气体传感器包括：表面等离子体结构气体传感器、光纤倏逝场结构气体传感器、光纤布拉格光栅结构气体传感器等。
2、但是，表面等离子体结构需要昂贵的仪器来精确控制金属薄膜的厚度，制造过程复杂；光纤倏逝场结构需要对光纤进行削尖或侧面抛光来增强倏逝场，这一过程降低了传感器的鲁棒性；光纤布拉格光栅需要利用飞秒激光在光纤内部精确的制造光栅结构，增加了制造成本和复杂性。
3、因此，如何在提高气体传感器灵敏度的同时，实现高质量因子和高品质系数是本领域技术人员亟需解决的问题。
技术实现思路
1、有鉴于此，本专利技术提供了基...
【技术保护点】
1.基于空腔截锥体结构的气体传感器，其特征在于，包括衬底，和位于所述衬底上表面的多个阵列排列的空腔截锥体结构；
2.根据权利要求1所述的基于空腔截锥体结构的气体传感器，其特征在于，所述上截锥体结构的上表面直径小于所述上截锥体结构的下表面直径；所述下截锥体结构的上表面直径大于所述下截锥体结构的下表面直径。
3.根据权利要求1所述的基于空腔截锥体结构的气体传感器，其特征在于，所述上截锥体结构的上表面直径、所述开口圆环结构的内直径和所述下截锥体结构的下表面直径均相同；所述上截锥体结构的下表面直径、所述开口圆环结构的外直径和所述下截锥体结构的上表面直径
【技术特征摘要】
1.基于空腔截锥体结构的气体传感器，其特征在于，包括衬底，和位于所述衬底上表面的多个阵列排列的空腔截锥体结构；
2.根据权利要求1所述的基于空腔截锥体结构的气体传感器，其特征在于，所述上截锥体结构的上表面直径小于所述上截锥体结构的下表面直径；所述下截锥体结构的上表面直径大于所述下截锥体结构的下表面直径。
3.根据权利要求1所述的基于空腔截锥体结构的气体传感器，其特征在于，所述上截锥体结构的上表面直径、所述开口圆环结构的内直径和所述下截锥体结构的下表面直径均相同；所述上截锥体结构的下表面直径、所述开口圆环结构的外直径和所述下截锥体结构的上表面直径均相同。
4.根据权利要求1所述的基于空腔截锥体结构的气体传感器，其特征在于，所述上截锥体结构的高度与所述下截锥体结构的高度相同；所述上截锥体结构的高度大于所述开口圆环结构的高度。
5.根据权利要求1所述的基于空腔截锥体结构的气体传感器，其特征...
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