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本发明公开了基于空腔截锥体结构的气体传感器，包括衬底，和位于衬底上表面的多个阵列排列的空腔截锥体结构；空腔截锥体结构包括从上至下依次设置的上截锥体结构、开口圆环结构和下截锥体结构。在提高气体传感器灵敏度的同时，实现高质量因子和高品质系数。...
该专利属于甬江实验室所有，仅供学习研究参考，未经过甬江实验室授权不得商用。

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