【技术实现步骤摘要】
本申请属于量子信息领域，尤其是量子计算机制造领域，特别地，本申请涉及一种薄膜及其制法、传输线、谐振器及其制法。
技术介绍
1、在基于约瑟夫森结的超导量子芯片中，为了传递控制或者读取量子比特的信号，在超导量子芯片中可以使用共面波导形式的传输线作为信号传输载体。因此，共面波导的制造质量对实现其自身的功能有重要的作用和影响。
技术实现思路
1、本申请的示例提供了一种薄膜及其制法、传输线、谐振器及其制法，能够实现使得在超导芯片中所使用的用于读取超导量子比特状态的读取谐振器的具有更高的品质因子或者至少阻止其品质因子显著地劣化，从而有助于改善其在使用过程中的性能表现。
2、本申请示例的方案，通过如下内容实施。
3、在第一方面，本申请的示例提出了一种用于超导量子芯片的薄膜。
4、该薄膜导包括：
5、超导层，具有平坦化且非氧化的第一表面；以及
6、氧化抑制层，覆盖于超导层，并至少通过第一表面与超导层结合，氧化抑制层被构造为至少阻止超导层从第一表面
【技术保护点】
1.一种薄膜，用于超导量子芯片，其特征在于，所述薄膜导包括：
2.根据权利要求1所述的薄膜，其特征在于，所述超导层的材质为金属，可选地，所述金属为铝；
3.根据权利要求1或2所述的薄膜，其特征在于，所述超导层的具有与第一表面背离的第二表面，超导层定义了由第一表面至第二表面垂直地测量的第一厚度，氧化抑制层具有沿从第一表面垂直地至第二表面的方向测量的第二厚度，且第一厚度大于第二厚度；
4.一种传输线，其特征在于，包括使用权利要求1至3中任意一项所述的薄膜制造而成的导体迹线。
5.根据权利要求4所述的传输线，其特征在于，所述传...
【技术特征摘要】
1.一种薄膜，用于超导量子芯片，其特征在于，所述薄膜导包括：
2.根据权利要求1所述的薄膜，其特征在于，所述超导层的材质为金属，可选地，所述金属为铝；
3.根据权利要求1或2所述的薄膜，其特征在于，所述超导层的具有与第一表面背离的第二表面，超导层定义了由第一表面至第二表面垂直地测量的第一厚度，氧化抑制层具有沿从第一表面垂直地至第二表面的方向测量的第二厚度，且第一厚度大于第二厚度；
4.一种传输线，其特征在于，包括使用权利要求1至3中任意一项所述的薄膜制造而成的导体迹线。
5.根据权利要求4所述的传输线，其特征在于，所述传输线为共面波导结构，所述共面波导包括中心导体、以及在所中心导...
【专利技术属性】
技术研发人员：请求不公布姓名，请求不公布姓名，贾志龙，
申请(专利权)人：本源量子计算科技合肥股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。