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本申请公开了一种薄膜及其制法、传输线、谐振器及其制法，属于量子计算机制造领域。该用于超导量子芯片的薄膜包括超导层和氧化抑制层。氧化抑制层覆盖于超导层，并至少通过超导层平坦化且非氧化的的第一表面与超导层结合。其中的氧化抑制层用于阻止超导层被氧...
该专利属于本源量子计算科技（合肥）股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过本源量子计算科技（合肥）股份有限公司授权不得商用。

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