【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及石英加工，尤其涉及一种石英圆片的自动火焰抛光方法。
技术介绍
1、在石英半导体行业中，石英板材用于制作其所需部件，特别是石英圆片，因其形状特性，其对夹具和抛光技术都有着超高要求，工艺过程中操作员通常需要反复调整装夹部位并且用火焰进行抛光来使外观达到晶透接近零瑕疵质量要求，不仅存在着人工抛光效率低以及成本高的问题，而且由于操作复杂，持续时间久，操作员容易在进行火焰抛光的时候产生疲劳，而引起的操作不当，导致石英圆片的抛光效果不合要求，或者因反复装夹导致石英圆片产生的磕碰，出现缺口、划伤并且抛光不均匀等外观质量问题或者经过火焰抛光后板材发生变化产生变形，将导致后面的工序进行不下去，板材只能报废处理。
2、因此，亟需一种石英圆片的自动火焰抛光方法以改善上述问题。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种石英圆片的自动火焰抛光方法，该方法用于提高石英圆片的抛光效率和均匀性，避免石英圆片抛光过程中反复装夹而导致的磕碰问题。
2、第一方面，本专利技术提供一种石英圆片的自动火焰抛光方法，包括：
3、将待抛光的石英圆片放置在夹具，所述夹具包括设有凹槽的滚轮，所述石英圆片的边缘放置于所述凹槽内；
4、控制抛光枪对准所述石英圆片的表面；
5、在滚轮运转带动所述石英圆片运转的同时，控制所述抛光枪喷射火焰并根据设定的移动轨迹对所述石英圆片进行自动抛光。
6、本专利技术的方法有益效果为：通过将待抛光的石英圆片放置在夹具
7、可选的，所述的控制所述抛光枪喷射火焰包括：
8、根据所述石英圆片的厚度和直径大小调节所述抛光枪喷射火焰的大小。其有益效果在于，基于石英圆片的厚度和直径大小调节所述抛光枪喷射火焰的大小，能够提高抛光的稳定性，提高加工良率。
9、可选的，所述的根据设定的移动轨迹对所述石英圆片进行自动抛光包括：
10、根据预设的时间间隔控制所述抛光枪沿着所述石英圆片的直径方向逐圈向内移动对所述石英圆片进行自动抛光。其有益效果在于，通过设置根据预设的时间间隔控制所述抛光枪沿着所述石英圆片的直径方向逐圈向内移动对所述石英圆片进行自动抛光，能够使得抛光更加均匀，提高良率和效率，缩短产品交期。
11、可选的，所述滚轮包括滑动滚轮、升降滚轮和固定滚轮；
12、所述滑动滚轮、升降滚轮和固定滚轮从左至右依次间隔设置，滑动滚轮和固定滚轮上的凹槽形成夹持区域，所述石英圆片的边缘放置于所述夹持区域上。其有益效果在于，通过设置从左至右依次间隔设置一个主动的滑动滚轮和两个从动的固定滚轮，能够避免石英圆片抛光过程中反复装夹而导致的磕碰问题，而且稳定性高。
13、可选的，所述滑动滚轮和升降滚轮之间的间隔可调节。其有益效果在于，通过设置滑动滚轮和升降滚轮之间的间隔可调节，能够适应不同直径大小的石英圆片的抛光使用。
14、可选的，所述升降滚轮的高度小于所述滑动滚轮的高度，或所述升降滚轮的高度小于所述固定滚轮的高度。其有益效果在于，能够降低石英圆片的重心，防止石英圆片在抛光过程中掉落。
15、可选的，至少一个凹槽相对的两个侧面为斜面，斜面和石英圆片的接触为点接触，且所述凹槽的开口大小随着凹槽深度的增加逐渐减小升降滚轮固定滚轮。其有益效果在于，通过设置凹槽相对的两个侧面为斜面，且所述凹槽的开口大小随着凹槽深度的增加逐渐减小，使得凹槽和石英圆片形成点接触，能够减少抛光过程中对石英圆片表面的伤害，提高产品品质，而且设置凹槽上大下小可以适用于不同厚度的石英圆片的抛光使用。
16、可选的，所述滑动滚轮和固定滚轮配合带动所述石英圆片进行旋转；
17、所述升降滚轮沿水平方向移动限制所述石英圆片旋转时的摆动幅度，所述水平方向与所述石英圆片所在的平面相交；或所述升降滚轮通过升降装置沿竖直方向移动对石英圆片的底部进行支撑。其有益效果在于，不仅能够限制质量较轻的石英圆片的摆动幅度，还能够对质量较重的石英圆片进行支撑，从而减少质量较重的石英圆片的磨损程度，提高火焰抛光的效果和产品品质。
18、可选的，所述的将待抛光的石英圆片放置在夹具之前还包括：
19、控制所述抛光枪对夹具进行加热处理；
20、对待抛光的石英圆片进行清洁。其有益效果在于，通过控制所述抛光枪对夹具进行加热处理，对夹具表面进行清洁，防止夹具表面的颗粒物污染石英圆片，对待抛光的石英圆片进行清洁，便于后续进行火焰抛光，提高良率。
21、可选的，还包括设置第一机械臂和第二机械臂；
22、所述第一机械臂，用于控制所述抛光枪；
23、所述第二机械臂，用于夹取抛光后自然冷却的石英圆片，并放置新的石英圆片至所述夹具上。其有益效果在于，能够提高生产效率。
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1.一种石英圆片的自动火焰抛光方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述的控制所述抛光枪喷射火焰包括：
3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述的根据设定的移动轨迹对所述石英圆片进行自动抛光包括：
4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述滚轮包括滑动滚轮、升降滚轮和固定滚轮；
5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述滑动滚轮和升降滚轮之间的间隔可调节。
6.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述升降滚轮的高度小于所述滑动滚轮的高度，或所述升降滚轮的高度小于所述固定滚轮的高度。
7.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，至少一个凹槽相对的两个侧面为斜面，斜面和石英圆片的接触为点接触，且所述凹槽的开口大小随着凹槽深度的增加逐渐减小升降滚轮固定滚轮。
8.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述滑动滚轮和固定滚轮配合带动所述石英圆片进行旋转；
9.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述的将待抛光的石英圆片放置在夹具之前还包括：
...【技术特征摘要】
1.一种石英圆片的自动火焰抛光方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述的控制所述抛光枪喷射火焰包括：
3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述的根据设定的移动轨迹对所述石英圆片进行自动抛光包括：
4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述滚轮包括滑动滚轮、升降滚轮和固定滚轮；
5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述滑动滚轮和升降滚轮之间的间隔可调节。
6.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述升降滚轮的高度小于所述滑动滚轮的高度，...
【专利技术属性】
技术研发人员：周文华，周韦军，吕红兵，谢栋磊，姚家鹏，
申请(专利权)人：上海强华实业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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