磨轮的处理方法技术

技术编号:40593790 阅读:20 留言:0更新日期:2024-03-12 21:55
本发明专利技术的磨轮的处理方法,包括:清洗磨轮的表面后置入真空镀膜室;将所述真空镀膜室抽真空至第一预定值;加热所述真空镀膜室并继续抽真空至第二预定值;及在所述磨轮的表面上沉积形成类金刚石碳层。本发明专利技术形成的类金刚石碳层具有良好的硬度从而提高磨轮的工作效率降低能耗,该类金刚石碳层不容易剥落,从而延长磨轮的使用寿命,而且制造成本低,适于推广使用。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及电子制造领域,尤其涉及一种磨轮的处理方法以提升磨轮的硬度。


技术介绍

1、电子行业中,切割是加工的主要工序,磨轮作为切割工具使用广泛,磨轮的硬度、粗糙度,往往是影响产品质量的关键因素。

2、为优化切割工具,往往在磨轮表面镀上一层薄膜,如金属膜。然而此种方法的镀膜通常需要通过电弧沉积的方式来实现,该方式需要对磨轮进行高温加热处理,高温处理容易损害磨轮,也会使磨轮表面粗糙,甚至金属面产生剥离和脱落,而且制造成本高,不利于当前的生产需要。

3、因此,亟待提供一种改进的磨轮的处理方法以克服以上缺陷。


技术实现思路

1、本专利技术的目的在于提供一种磨轮的处理方法,由此提高磨轮的硬度从而提高工作效率,而且薄膜不易剥落从而延长磨轮的使用寿命。

2、为实现上述目的,本专利技术的磨轮的处理方法,包括:

3、清洗磨轮的表面后置入真空镀膜室;

4、将所述真空镀膜室抽真空至第一预定值;

5、加热所述真空镀膜室并继续抽真空至第二预定值;及

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【技术保护点】

1.一种磨轮的处理方法,其特征在于,包括:

2.如权利要求1所述的磨轮的处理方法,其特征在于,沉积形成所述类金刚石碳层包括:通入氩气使所述真空镀膜室的真空度为3Pa-4Pa,开启石墨靶源进行沉积。

3.如权利要求2所述的磨轮的处理方法,其特征在于,沉积形成所述类金刚石碳层还包括:在所述磨轮上施加偏压400V-500V,控制电流为23A-28A。

4.如权利要求1所述的磨轮的处理方法,其特征在于:所述类金刚石碳层的沉积时间为150分钟-200分钟。

5.如权利要求1所述的磨轮的处理方法,其特征在于:所述类金刚石碳层的厚度为5μm-10μm。<...

【技术特征摘要】

1.一种磨轮的处理方法,其特征在于,包括:

2.如权利要求1所述的磨轮的处理方法,其特征在于,沉积形成所述类金刚石碳层包括:通入氩气使所述真空镀膜室的真空度为3pa-4pa,开启石墨靶源进行沉积。

3.如权利要求2所述的磨轮的处理方法,其特征在于,沉积形成所述类金刚石碳层还包括:在所述磨轮上施加偏压400v-500v,控制电流为23a-28a。

4.如权利要求1所述的磨轮的处理方法,其特征在于:所述类金刚石碳层的沉积时间为150分钟...

【专利技术属性】
技术研发人员:胡咏兵
申请(专利权)人:东莞新科技术研究开发有限公司
类型:发明
国别省市:

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