【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
技术介绍
技术实现思路
【技术保护点】
1.一种扩散器组件，包含：
2.如权利要求1所述的扩散器组件，其中：
3.如权利要求1所述的扩散器组件，其中所述多个板的每个板可操作为用于相对于所述多个板的其他板的独立温度控制。
4.如权利要求1所述的扩散器组件，其中所述多个排放开口经布置且大小经调节为用于在待由所述蒸发的材料涂覆的卷材材料的行进方向上的受控蒸气耗尽。
5.如权利要求1所述的扩散器组件，其中所述多个板包含：
6.如权利要求1所述的扩散器组件，其中所述多个板包含：
7.如权利要求1所述的扩散器组件，其中所述多个线性轨进一步包含：p>
8.一种蒸...
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种扩散器组件，包含：
2.如权利要求1所述的扩散器组件，其中：
3.如权利要求1所述的扩散器组件，其中所述多个板的每个板可操作为用于相对于所述多个板的其他板的独立温度控制。
4.如权利要求1所述的扩散器组件，其中所述多个排放开口经布置且大小经调节为用于在待由所述蒸发的材料涂覆的卷材材料的行进方向上的受控蒸气耗尽。
5.如权利要求1所述的扩散器组件，其中所述多个板包含：
6.如权利要求1所述的扩散器组件，其中所述多个板包含：
7.如权利要求1所述的扩散器组件，其中所述多个线性轨进一步包含：
8.一种蒸发组件，包含：
9.如权利要求8所述的蒸发组件，其中所述坩埚可操作为用于闪蒸。
10.如权利要求8所述的蒸发组件，其中所述第一半圆形侧壁、所述第...
【专利技术属性】
技术研发人员：戴维·马萨尤基·石川，桑姆特·达塔特拉亚·阿查利雅，维斯韦斯瓦伦·西瓦拉玛克里施南，
申请(专利权)人：应用材料公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。