紧凑型汽车压力变送器及制造工艺制造技术

本发明专利技术涉及一种带有模块化性质的紧凑型汽车压力变送器及制造工艺。目的是在变送器内部使用充油芯体，提高加工的效率，降低制造成本，外壳一端设置有开口的芯体腔，从内到外依次固定传感器芯体、放大板和引线罩，传感器芯体、放大板和引线罩之间通过导线相连；传感器芯体包括基座、固定在基座内的标准基板，基座内填充有硅油，标准基板上连接固定有对应规格的芯片，在传感器芯体内部采用标准基板来固定芯片，可以统一基座内部的加工工艺，只需改变芯片就能对应不同的测量量程，简化了工艺，提高了制作效率，同时还提高了整体的自动化程度，经过每一主要工序的压力测试，确保了最终产品的合格率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种传感器结构及制作工艺，尤其是一种带有模块化性质的紧凑型汽 车压力变送器及制造工艺。
技术介绍
目前，公知的压力传感器普遍采用压电式、应变式或者压阻式结构的原理，压电式 压力传感器的输出信号为电荷变化量，要转换成压力的直观变化，需要对后续的电信号进 行处理，但是该种传感器不适合在高温环境下使用，也不具有高的过载保护能力。压阻式压 力传感器中，最常用的传感器结构是充硅油硅压阻压力传感器。应变式压阻压力传感器由 于受结构影响，具有较大的线性、迟滞等静态误差。充硅油硅压阻式压力传感器具有线性 好，迟滞小等特点，测得数据比较准确，但是每一规格的传感器都需要特定的传感器底座， 在加工的时候需要将体积较大的特定传感器底座与芯体一一连接，这种方法即影响了焊接 特性又降低了工作效率。中国专利局于2009年11月18日公告了一份CN100561156C号专利，名称为SOI全 硅结构充硅油耐高温压力传感器，公开在真空环境下将压力芯片与PYREX7740玻璃通过静 电键合封接在一起，高温硅油在真空的环境下通过销钉孔充填于基座的空腔中，充填完硅 油后，将销钉锚入销钉孔，实现硅油的密封，压力本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：吴凡，潘寅，
申请(专利权)人：杭州博翔传感器有限公司，
类型：发明
国别省市：86