【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体生产与检测精密设备，特别是一种行走式压电致动三轴耦合运动台。
技术介绍
1、在半导体生产与检测设备领域，不同被测样品厚度通常在数微米到数毫米，需要进行大行程调焦与多姿态调整，以观测样品全貌。光学检测设备、电子束显微镜、原子束显微镜及光刻机掩模台等设备，需要在真空、无磁、低热耗的环境中工作，同时需要进行大行程、大角度的姿态调整。而现有技术中，满足工作环境要求的检测设备能够实现高度的调节功能，但是未获得突破性大行程、大角度的姿态调整范围。
技术实现思路
1、本专利技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本专利技术提出一种行走式压电致动三轴耦合运动台。
2、本专利技术解决其技术问题的解决方案是：
3、一种行走式压电致动三轴耦合运动台，包括：
4、基台，所述基台的中轴线沿第一方向延伸；
5、驱动组件，所述驱动组件设有多组，多组所述驱动组件绕所述基台的中轴线圆周布置，每组所述驱动组件均包括行走式压电致动器和柔性铰链单元，所述行走式压电致动器设有致动器定子和致动器动子，所述致动器动子和所述致动器定子活动连接，并相对于所述致动器定子沿所述第一方向移动，所述致动器定子与所述基台连接，所述致动器动子与所述柔性铰链单元连接；
6、姿态调整平台，所述姿态调整平台与所述柔性铰链单元连接。
7、本专利技术至少具有如下的有益效果：行走式压电致动器通过压电的驱动方式驱动致动器动子相对于基台沿第一方向运动，使得
8、作为上述技术方案的进一步改进，所述柔性铰链单元为球型柔性铰链或正交型柔性铰链。使用球型柔性铰链作为柔性铰链单元，能够灵活承受姿态调整平台来自各个方向的压力，并灵活调整姿态调整平台的角度；使用正交型柔性铰链则能够在正交方向上发生柔性变形，灵活调整姿态调整平台的角度。
9、作为上述技术方案的进一步改进，所述柔性铰链单元包括第一连接件、第二连接件、第三连接件、第一柔性铰链和第二柔性铰链；所述第一柔性铰链和所述第二柔性铰链分别垂直于所述第一方向，所述第一柔性铰链和所述第二柔性铰链之间形成夹角；所述第一连接件设于所述第二连接件的上方，并与所述第二连接件通过所述第一柔性铰链铰接；所述第二连接件设于所述第三连接件的上方，并与所述第三连接件通过所述第二柔性铰链铰接；所述致动器动子与所述第三连接件驱动连接，所述姿态调整平台与所述第一连接件连接。
10、如此设置，当柔性铰链单元在行走式压电致动器的驱动下沿第一方向移动时，第一柔性铰链和第二柔性铰链能够在不同方向上分别产生柔性变形，从而能够调整姿态调整平台的位置及角度。
11、作为上述技术方案的进一步改进，所述驱动组件设有3组，3组所述驱动组件绕所述基台的中轴线圆周均匀布置，位于同一组所述驱动组件的所述第一柔性铰链和所述第二柔性铰链相互垂直，每组所述驱动组件的所述第二柔性铰链的延长线相交于所述基台的中轴线上。如此设置，能够让每组驱动组件对姿态调整平台的驱动范围一致，而且，更有利于姿态调整平台的大角度姿态调整，提高行走式压电致动器输出动力的利用效率。
12、作为上述技术方案的进一步改进，所述第一柔性铰链的高度高于或等于所述第二柔性铰链的高度。如此设置，能够避免第一柔性铰链和第二柔性铰链之间的相互干涉而缩小姿态调整平台的角度调节范围。
13、作为上述技术方案的进一步改进，所述驱动组件还包括导向杆，所述导向杆沿所述第一方向延伸，并与所述基台连接，所述致动器动子与所述导向杆滑动连接。导向杆能够对行走式压电致动器提供导向约束和支撑，让致动器动子驱动柔性铰链单元沿第一方向移动。
14、作为上述技术方案的进一步改进，所述驱动组件还包括位置传感器，所述位置传感器用于获取所述柔性铰链单元的高度位置，所述位置传感器与所述行走式压电致动器电性连接。位置传感器能够获取滑块在导向杆上的位置信息，并将获取的位置信息传递至行走式压电致动器的控制器中，通过控制器控制行走式压电致动器启停，从而实现自动化调节姿态调整平台的姿态。
15、作为上述技术方案的进一步改进，所述驱动组件还包括尺带，所述尺带与所述致动器动子连接，并沿第一方向延伸，所述位置传感器朝向所述尺带设置。尺带的设置能够为位置传感器提供识别基础，让位置传感器能够准确地感应到致动器动子以及柔性铰链单元沿第一方向的位移量，并提供读数，从而准确地控制行走式压电致动器启停。
16、作为上述技术方案的进一步改进，所述柔性铰链单元的质心位置位于所述致动器动子的运动延伸线上。如此设置，能够提高行走式压电致动器输出动力的利用效率，有效地增加柔性铰链单元的姿态调整范围。
17、作为上述技术方案的进一步改进，所述柔性铰链单元与所述致动器动子可拆卸地连接，所述柔性铰链单元与所述姿态调整平台可拆卸地连接。如此设置，能够让柔性铰链单元从行走式压电致动器以及姿态调整平台之间拆除，更有利于柔性铰链单元和行走式压电致动器的维护以及姿态调整平台的更换。
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1.一种行走式压电致动三轴耦合运动台，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的行走式压电致动三轴耦合运动台，其特征在于，所述柔性铰链单元为球型柔性铰链或正交型柔性铰链。
3.根据权利要求1所述的行走式压电致动三轴耦合运动台，其特征在于，所述柔性铰链单元包括第一连接件、第二连接件、第三连接件、第一柔性铰链和第二柔性铰链；所述第一柔性铰链和所述第二柔性铰链分别垂直于所述第一方向，所述第一柔性铰链和所述第二柔性铰链之间形成夹角；所述第一连接件设于所述第二连接件的上方，并与所述第二连接件通过所述第一柔性铰链铰接；所述第二连接件设于所述第三连接件的上方，并与所述第三连接件通过所述第二柔性铰链铰接；所述致动器动子与所述第三连接件驱动连接，所述姿态调整平台与所述第一连接件连接。
4.根据权利要求3所述的行走式压电致动三轴耦合运动台，其特征在于，所述驱动组件设有3组，3组所述驱动组件绕所述基台的中轴线圆周均匀布置，位于同一组所述驱动组件的所述第一柔性铰链和所述第二柔性铰链相互垂直，每组所述驱动组件的所述第二柔性铰链的延长线相交于所述基台的中轴线上。
...【技术特征摘要】
1.一种行走式压电致动三轴耦合运动台，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的行走式压电致动三轴耦合运动台，其特征在于，所述柔性铰链单元为球型柔性铰链或正交型柔性铰链。
3.根据权利要求1所述的行走式压电致动三轴耦合运动台，其特征在于，所述柔性铰链单元包括第一连接件、第二连接件、第三连接件、第一柔性铰链和第二柔性铰链；所述第一柔性铰链和所述第二柔性铰链分别垂直于所述第一方向，所述第一柔性铰链和所述第二柔性铰链之间形成夹角；所述第一连接件设于所述第二连接件的上方，并与所述第二连接件通过所述第一柔性铰链铰接；所述第二连接件设于所述第三连接件的上方，并与所述第三连接件通过所述第二柔性铰链铰接；所述致动器动子与所述第三连接件驱动连接，所述姿态调整平台与所述第一连接件连接。
4.根据权利要求3所述的行走式压电致动三轴耦合运动台，其特征在于，所述驱动组件设有3组，3组所述驱动组件绕所述基台的中轴线圆周均匀布置，位于同一组所述驱动组件的所述第一柔性铰链和所述第二柔性铰链相互垂直，每组所述驱动组件的所述第二柔性铰链的延长线相交于所述基台的中轴线上。
5.根据权...
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