【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及测试，尤其涉及一种失效分析方法及装置、计算机可读存储介质、终端。
技术介绍
1、半导体的可测性设计（design for test，dft）诊断，就是把自动测试设备（automatic test equipment，ate）测试产生的日志（log）文件中包含的电性表现信息，通过dft诊断工具转化为疑似失效的失效位置、疑似失效的类型等信息，并输出这些信息为诊断结果文件。
2、针对诊断结果进行失效分析的过程，可视为对诊断结果文件进行解析、汇总、分析，还原到晶圆图或版图上，并找到系统性问题。
3、然而，由于芯片设计复杂性日益提高，芯片中动辄包含上亿个晶体管，dft诊断往往难以准确定位到某一个或几个疑似失效的位置，而是列举出数十个，上百个疑似失效的位置，导致用户进行失效分析的成功率和准确性下降。
4、亟需一种失效分析方法，能够提高失效分析的成功率和准确性。
技术实现思路
1、本专利技术解决的技术问题是提供一种失效分析方法及装置、计算机可读存储介质、终端，可以使用户快速定位到失效位置进行分析，有效提高失效分析的效率和准确性。
2、为解决上述技术问题，本专利技术实施例提供一种失效分析方法，包括：确定dft诊断数据，所述dft诊断数据包含疑似失效的硬件节点的疑似失效的路径，每个路径的疑似失效的位置组的组信息，每个组信息包括该位置组包含的疑似失效的位置和类型；根据所述dft诊断数据，确定各个目标组合的分数，其中，所述目标组合包含各种疑似
3、可选的，所述dft诊断数据中的每个组信息还包含该位置组的诊断分数；根据所述dft诊断数据，确定各个目标组合的分数，包括：根据各个位置组的诊断分数，确定各个目标组合的分数。
4、可选的，所述根据各个位置组的诊断分数，确定各个目标组合的分数，包括：根据各个位置组的诊断分数，对各个位置赋值；在每个硬件节点中，对相同类型的位置的赋值进行加和，以得到各个目标组合的分数。
5、可选的，所述dft诊断数据还包含各个路径的诊断分数；根据各个位置组的诊断分数，对各个位置赋值，包括：确定各个路径在所属的硬件节点下的第一诊断分数占比；确定各个位置组在所属的路径下的第二诊断分数占比；对于每个位置组，采用所述第二诊断分数占比、所属的路径的第一诊断分数占比、第一预设数值的乘积，对该位置组中的每个位置进行赋值。
6、可选的，根据所述dft诊断数据，确定各个目标组合的分数，包括：在每个硬件节点中，采用每个目标组合出现的次数作为该目标组合的分数。
7、可选的，所述位置选自：疑似层、疑似单元。
8、可选的，所述方法还包括：确定各个目标组合在所属的硬件节点的分数占比；所述根据所述分布概率，确定第一失效分析结果，包括：根据各个目标组合在所属的硬件节点的分数占比与所述分布概率的乘积，以所述乘积作为第一失效分析结果。
9、可选的，所述方法还包括：对每个硬件节点中包含的各个目标组合的所述乘积进行归一化处理，得到归一化分值；分别计算各个目标组合的归一化分值在各个硬件节点中的和值；根据所述和值，确定第二失效分析结果。
10、可选的，对每个硬件节点中包含的各个目标组合的所述乘积进行归一化处理，包括：对每个硬件节点，计算各个目标组合的乘积的和值，记为节点内和值；计算每个目标组合的乘积与所述节点内和值的商值，作为该目标组合的归一化分值。
11、可选的，所述路径推理模型采用贝叶斯推论；所述采用路径推理模型确定每个目标组合的分布概率，包括：采用贝叶斯推论进行多轮推论，在每轮推论中确定第一商值集合，其中，所述第一商值集合中的每个第一商值用于指示单个目标组合，且为该目标组合在疑似失效的各个硬件节点下的分数之和与总分数的商值，所述总分数为疑似失效的各个硬件节点的各个目标组合的分数之和；针对每个目标组合，确定各轮推论中的第一商值，并计算第一商值的均值，作为该目标组合的所述分布概率。
12、可选的，每轮推论的输出采用下述公式确定：
13、；
14、其中，di用于表示第i轮推论的目标组合的各个硬件节点的分数，θi,0用于表示第i轮推论前的第一商值集合，θi,1用于表示第i轮推论后得到的第一商值集合，p(θi,0) 用于表示第i轮推论的先验分布，p(di|θi,0)用于表示已知得到第i轮目标组合的推论分数的概率θi,0的情况下，得到第i轮目标组合的推论分数di的概率，又称为似然函数，p(θi,1|di)用于表示第i轮推论的后验分布，p(di)用于表示边缘似然率推论。
15、可选的，所述采用贝叶斯推论进行多轮推论，包括：在首轮推论中，对每个类型的各个目标组合的分数均赋值为1，得到首轮推论前的第一商值集合θ1,0，确定首轮推论的先验分布p(θ1,0)；在满足首轮推论的θ1,0的情况下，以首轮推论的目标组合的各个硬件节点的分数d1为观测数据，确定p(d1|θ1,0)、后验分布p(θ1,1|d1)以及首轮推论后的第一商值集合θ1,1；自第二轮推论起，采用第i-1轮推论的后验分布p(θi-1,1|di-1)赋值至第i轮推论的先验分布p(θi,0)，以及采用第i-1轮推论的θi-1,1赋值至第i轮推论的θi,0，在满足第i轮推论的θi,0的情况下，创建第i轮推论的目标组合的各个硬件节点的分数di作为观测数据，确定p(di,0|θi,0)、后验分布p(θi,1|di,1)以及θi,1；直至确定θi,1时，针对每个目标组合，确定各轮推论的第一商值的均值并作为该目标组合的所述分布概率；其中，i、i为正整数，且2≤i≤i。
16、为解决上述技术问题，本专利技术实施例提供一种失效分析装置，包括：dft数据确定模块，用于确定dft诊断数据，所述dft诊断数据包含疑似失效的硬件节点的疑似失效的路径，每个路径的疑似失效的位置组的组信息，每个组信息包括该位置组包含的疑似失效的位置和类型；组合分数确定模块，用于根据所述dft诊断数据，确定各个目标组合的分数，其中，所述目标组合包含各种疑似失效的类型和位置的组合；推论模块，用于基于各个硬件节点的各个目标组合的分数，采用路径推理模型确定每个目标组合的分布概率；分析结果确定模块，用于根据所述分布概率，确定第一失效分析结果。
17、为解决上述技术问题，本专利技术实施例提供一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器运行时执行上述失效分析方法的步骤。
18、为解决上述技术问题，本专利技术实施例提供一种终端，包括存储器和处理器，所述存储器上存储有能够在所述处理器上运行的计算机程序，所述处理器运行所述计算机程序时执行上述失效分析方法的步骤。
19、与现有技术相比，本专利技术实施例的技术方案具有以下有益效果：
20、在本专利技术实施例中，根据dft诊本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种失效分析方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述DFT诊断数据中的每个组信息还包含该位置组的诊断分数；
3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述根据各个位置组的诊断分数，确定各个目标组合的分数，包括：
4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述DFT诊断数据还包含各个路径的诊断分数；
5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，根据所述DFT诊断数据，确定各个目标组合的分数，包括：
6.根据权利要求1至5任一项所述的方法，其特征在于，所述位置选自：疑似层、疑似单元。
7.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：
8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：
9.根据权利要求8所述的方法，其特征在于，对每个硬件节点中包含的各个目标组合的所述乘积进行归一化处理，包括：
10.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述路径推理模型采用贝叶斯推论；
11.根据权利要求10所述的方法，其特征在于，
12.根据权利要求10所述的方法，其特征在于，所述采用贝叶斯推论进行多轮推论，包括：
13.一种失效分析装置，其特征在于，包括：
14.一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，其特征在于，所述计算机程序被处理器运行时执行权利要求1至12任一项所述的失效分析方法的步骤。
15.一种终端，包括存储器和处理器，所述存储器上存储有能够在所述处理器上运行的计算机程序，其特征在于，所述处理器运行所述计算机程序时执行权利要求1至12任一项所述的失效分析方法的步骤。
...【技术特征摘要】
1.一种失效分析方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述dft诊断数据中的每个组信息还包含该位置组的诊断分数；
3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述根据各个位置组的诊断分数，确定各个目标组合的分数，包括：
4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述dft诊断数据还包含各个路径的诊断分数；
5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，根据所述dft诊断数据，确定各个目标组合的分数，包括：
6.根据权利要求1至5任一项所述的方法，其特征在于，所述位置选自：疑似层、疑似单元。
7.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：
8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：
9.根据权利要求8所述的方法，其...
【专利技术属性】
技术研发人员：请求不公布姓名，请求不公布姓名，请求不公布姓名，
申请(专利权)人：全智芯上海技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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