【技术实现步骤摘要】
本技术是关于扩散炉，特别是关于一种高温扩散炉用炉管。
技术介绍
1、在太阳能电池生产过程中，通常要将元素磷、硼扩散到硅片中，以形成太阳能电池中的pn结，而扩散炉就该生产步骤中所要的设备，其主要原理是将硅片放入炉管中，从炉管的尾端通入工艺气体，使得气体在高温下发生化学反应，最终将磷、硼等元素扩散到硅片中。
2、由于工艺气体是从炉管的尾端通入炉管中，再从炉管口一端的排气口排出，这样就会产生在炉管尾端进气处的工艺气体中所需要参加反应的气体含量高，这样该部分的硅片中磷、硼元素扩散效果好，而随着工艺气体在炉管中的移动且不断反应的过程，越往炉管口的方向需要参加反应的气体的含量就越低。现有的扩散炉不能保证整个炉内扩散元素的均匀性，导致炉管尾部和炉管管口端的硅片均匀性差别较大，从而降低了产品质量的一致性。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种高温扩散炉用炉管，其能够便于增加扩散气体位于扩散炉中的均匀性，减少炉管尾部和炉管管口端的硅片均匀性的差别，一定程度上提升产品质量的一致性。
2、为实现上述目的，本技术提供了一种高温扩散炉用炉管，包括扩散炉，所述扩散炉的内部设置有进气炉管，所述进气炉管上均匀设置有多个喷头，所述进气炉管包括出口端，所述扩散炉靠近出口端的一端转动连接有扇叶。
3、在一个或多个实施方式中，所述进气炉管的上端还设置有保护组件，所述保护组件和进气炉管连通。
4、在一个或多个实施方式中，所述保护组件包括壳体和固定圈，所述固定圈滑动连接在
5、在一个或多个实施方式中，所述扩散炉内固定连接有连接杆，所述扇叶转动连接在连接杆上。
6、在一个或多个实施方式中，所述连接杆上螺纹连接有与扇叶相匹配的固定螺母，所述固定螺母用于给扇叶锁止。
7、在一个或多个实施方式中，所述喷头包括连接管、第一出气盘和第二出气盘，所述连接管和第一出气盘为固定连接，所述第一出气盘和第二出气盘为转动连接。
8、在一个或多个实施方式中，所述第一出气盘上开设有第一出气孔，所述第二出气盘上开设有与第一出气孔相匹配的第二出气孔，所述第一出气盘和第二出气盘的中部设置有连接件，所述第二出气盘以连接件与第一出气盘转动连接。
9、在一个或多个实施方式中，所述第二出气孔包括出气口上部和多个出气口下部。
10、与现有技术相比，根据本技术的一种高温扩散炉用炉管便于增加扩散气体位于扩散炉中的均匀性，减少炉管尾部和炉管管口端的硅片均匀性的差别，一定程度上提升产品质量的一致性。
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1.一种高温扩散炉用炉管，包括扩散炉，所述扩散炉的内部设置有进气炉管，其特征在于，所述进气炉管上均匀设置有多个喷头，所述进气炉管包括出口端，所述扩散炉靠近出口端的一端转动连接有扇叶。
2.如权利要求1所述的一种高温扩散炉用炉管，其特征在于，所述进气炉管的上端还设置有保护组件，所述保护组件和进气炉管连通。
3.如权利要求2所述的一种高温扩散炉用炉管，其特征在于，所述保护组件包括壳体和固定圈，所述固定圈滑动连接在壳体的内部，所述固定圈的外壁和壳体内壁之间设置有密封圈。
4.如权利要求1所述的一种高温扩散炉用炉管，其特征在于，所述扩散炉内固定连接有连接杆，所述扇叶转动连接在连接杆上。
5.如权利要求4所述的一种高温扩散炉用炉管，其特征在于，所述连接杆上螺纹连接有与扇叶相匹配的固定螺母，所述固定螺母用于给扇叶锁止。
6.如权利要求1所述的一种高温扩散炉用炉管，其特征在于，所述喷头包括连接管、第一出气盘和第二出气盘，所述连接管和第一出气盘为固定连接，所述第一出气盘和第二出气盘为转动连接。
7.如权利要求6所述的一种高温
8.如权利要求7所述的一种高温扩散炉用炉管，其特征在于，所述第二出气孔包括出气口上部和多个出气口下部。
...【技术特征摘要】
1.一种高温扩散炉用炉管，包括扩散炉，所述扩散炉的内部设置有进气炉管，其特征在于，所述进气炉管上均匀设置有多个喷头，所述进气炉管包括出口端，所述扩散炉靠近出口端的一端转动连接有扇叶。
2.如权利要求1所述的一种高温扩散炉用炉管，其特征在于，所述进气炉管的上端还设置有保护组件，所述保护组件和进气炉管连通。
3.如权利要求2所述的一种高温扩散炉用炉管，其特征在于，所述保护组件包括壳体和固定圈，所述固定圈滑动连接在壳体的内部，所述固定圈的外壁和壳体内壁之间设置有密封圈。
4.如权利要求1所述的一种高温扩散炉用炉管，其特征在于，所述扩散炉内固定连接有连接杆，所述扇叶转动连接在连接杆上。
5.如权利要求4所述的一...
【专利技术属性】
技术研发人员：邹大恒，张怀龙，赵帅，
申请(专利权)人：江苏龙恒新能源有限公司，
类型：新型
国别省市：
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