【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及真空泵寿命预测装置和程序。
技术介绍
1、真空泵在会随着使用而发生劣化，因此需要更换、检修。将直至需要该更换为止的期间或直至需要检修为止的期间称为“寿命”。然而，操作者无法事先掌握该寿命。
2、因此，下述专利文献1中公开了一种预测真空泵的寿命的装置。在该专利文献1中所记载的装置中，按照每个过程条件来预先决定用于预测真空泵的寿命的基准的指标值，基于根据真空泵的状态量而求出的寿命的指标值与对应于过程条件的基准的指标值的差异来预测真空泵的寿命。
3、现有技术文献
4、专利文献
5、专利文献1：日本特开2002－285974号公报
6、在专利文献1中，必须预先决定与无数的过程条件分别对应的基准的指标值。此外，还必须考虑到真空泵的状态量会因附着物的蓄积而发生变化。如此，在专利文献1中所记载的装置中，存在预测真空泵的寿命并不容易这样的问题。
技术实现思路
1、因此，本专利技术的目的在于提供能容易地预测真空泵的寿命的真空泵寿命预测
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1.一种真空泵寿命预测装置，具备：
2.根据权利要求1所述的真空泵寿命预测装置，还具备：
3.根据权利要求2所述的真空泵寿命预测装置，还具备：
4.根据权利要求1～3中任一项所述的真空泵寿命预测装置，还具备：
5.一种计算机可读记录介质，记录了用于在计算机上执行的程序，其中，所述程序用于使能与检测真空泵的工作中的振动的振动加速度传感器进行通信的计算机作为以下构件发挥功能：
【技术特征摘要】
1.一种真空泵寿命预测装置，具备：
2.根据权利要求1所述的真空泵寿命预测装置，还具备：
3.根据权利要求2所述的真空泵寿命预测装置，还具备：
4.根据权利要求1～3中任一项所...
【专利技术属性】
技术研发人员：池田淳，松井丰胜，西村仁志，
申请(专利权)人：株式会社不二越，
类型：发明
国别省市：
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