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真空泵寿命预测装置和计算机可读记录介质制造方法及图纸
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文档序号:40548908
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本发明涉及真空泵寿命预测装置和计算机可读记录介质。本发明提供能容易地预测真空泵的寿命的真空泵寿命预测装置。本发明具备:数据获取部(11),获取由检测真空泵(10B)的工作中的振动的振动加速度传感器检测到的数据;偏移量计算部(13),基于由获...
该专利属于株式会社不二越所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社不二越授权不得商用。
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