【技术实现步骤摘要】
本公开涉及一种体声波(baw)谐振器，且具体来说涉及一种具有边界环(bo)结构和泄漏反射器的baw谐振器。
技术介绍
1、声谐振器，尤其是体声波(baw)谐振器用于许多高频通信应用中。具体来说，baw谐振器通常用于在高于1.5千兆赫(ghz)的频率下操作且需要平坦通带的滤波器网络中，在通带的上端和下端具有异常陡峭的滤波器裙边(filter skirt)和方肩，且在通带外部提供出色的排斥。基于baw的滤波器还具有相对较低的插入损失，大小随着操作频率增加而趋于减小，且在宽温度范围内相对稳定。因此，基于baw的滤波器是许多第3代(3g)和第4代(4g)无线装置的首选滤波器，且旨在主导第5代(5g)无线装置的滤波器应用。这些无线装置中的大多数支持在同一无线装置上的蜂窝、无线保真度(wi-fi)、蓝牙和/或近场通信，且因此提出了极具挑战性的滤波需求。虽然这些需求不断地增加了无线装置的复杂性，但始终需要改进baw谐振器和基于baw的滤波器的性能，以及减小与其相关联的成本和大小。
技术实现思路
1、本公...
【技术保护点】
1.一种体声波(BAW)谐振器，其包括：
2.根据权利要求1所述的BAW谐振器，其中所述BO结构具有单阶梯配置。
3.根据权利要求2所述的BAW谐振器，其中所述BO结构包含围绕所述BO区的外周边形成的介电BO环和围绕所述BO区的内周边形成的环过渡区段。
4.根据权利要求1所述的BAW谐振器，其中所述BO结构具有双阶梯配置。
5.根据权利要求1所述的BAW谐振器，其中：
6.根据权利要求4所述的BAW谐振器，其中：
7.根据权利要求5所述的BAW谐振器，其中：
8.根据权利要求5所述的B...
【技术特征摘要】
1.一种体声波(baw)谐振器，其包括：
2.根据权利要求1所述的baw谐振器，其中所述bo结构具有单阶梯配置。
3.根据权利要求2所述的baw谐振器，其中所述bo结构包含围绕所述bo区的外周边形成的介电bo环和围绕所述bo区的内周边形成的环过渡区段。
4.根据权利要求1所述的baw谐振器，其中所述bo结构具有双阶梯配置。
5.根据权利要求1所述的baw谐振器，其中：
6.根据权利要求4所述的baw谐振器，其中：
7.根据权利要求5所述的baw谐振器，其中：
8.根据权利要求5所述的baw谐振器，其中：
9.根据权利要求1所述的baw谐振器，其中所述第一高声阻抗层未延伸到所述baw谐振器的所述bo区中，且所述第一高声阻抗层的周边边缘与所述bo结构的外周边边缘之间的宽度差与所述baw谐振器的所述bo区的宽度相同。
10.根据权利要求1所述的baw谐振器，其中所述第二高声阻抗层的宽度小于所述顶部电极结构的所述宽度，使得所述第二高声阻抗层不完全延伸穿过所述baw谐振器的所述bo区。
11.根据权利要求10所述的baw谐振器，其中：
12.根据权利要求11所述的baw谐振器，其中所述bo结构具有单阶梯配置。
13.根据权利要求11所述的baw谐振器，其中...
【专利技术属性】
技术研发人员：A·塔切克，M·J·莫德雷斯扎德，T·贝尔，
申请(专利权)人：QORVO美国公司，
类型：发明
国别省市：
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