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具有泄漏反射器的BAW谐振器制造技术
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下载具有泄漏反射器的BAW谐振器的技术资料
文档序号:40547250
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本公开涉及一种体声波(BAW)谐振器,其包含:底部电极、具有边界环(BO)结构的顶部电极结构、夹在所述底部电极与所述顶部电极之间的压电层,以及具有嵌入在低声阻抗区中的高声阻抗层的反射器。在本文中,所述BO结构围绕所述顶部电极结构的周边形成且...
该专利属于QORVO美国公司所有,仅供学习研究参考,未经过QORVO美国公司授权不得商用。
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