【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及载置台装置、基板处理装置、曝光装置和物品的制造方法。
技术介绍
1、在液晶面板、有机el显示器等的制造中，对于原版(掩模)的图案，使用经由投影光学系统对涂敷了感光剂的基板(玻璃基板)进行曝光的曝光装置。近年来，曝光装置的高精细化的要求在提高，要求降低基板载置台和掩模载置台(以下，将两者统称为载置台)造成的振动的影响。
2、另外，用于提供电、空气、液体等的多个管连接到在载置台，因此可以使用在将多个管集中保持的状态下以追随载置台的驱动的方式进行引导的可动缆线、即所谓的缆线拖链(ケーブルベア)(注册商标)。可动缆线的形状随着载置台的驱动而变化，由此能够产生振动，因此振动有可能传递到载置台。
3、在专利文献1中，公开有通过加速度传感器检测出传导至可动缆线的振动并对载置台的振动进行减振的减振机构。
4、专利文献
5、专利文献1：日本特开2015-081993号公报
技术实现思路
1、专利技术要解决的课题
2、然而，随着为了提高...
【技术保护点】
1.一种载置台装置，其特征在于，具有：
2.如权利要求1所述的载置台装置，其特征在于，还具有：
3.如权利要求1所述的载置台装置，其特征在于，
4.如权利要求1所述的载置台装置，其特征在于，
5.如权利要求1所述的载置台装置，其特征在于，还具有：
6.如权利要求2所述的载置台装置，其特征在于，还具有：
7.如权利要求1所述的载置台装置，其特征在于，
8.如权利要求1所述的载置台装置，其特征在于，
9.如权利要求1所述的载置台装置，其特征在于，
10.如权利要求1...
【技术特征摘要】
1.一种载置台装置，其特征在于，具有：
2.如权利要求1所述的载置台装置，其特征在于，还具有：
3.如权利要求1所述的载置台装置，其特征在于，
4.如权利要求1所述的载置台装置，其特征在于，
5.如权利要求1所述的载置台装置，其特征在于，还具有：
6.如权利要求2所述的载置台装置，其特征在于，还具有：
7.如权利要求1所述的载置台装置，其特征在于，
8.如权利要求1所述的载置台装置，其特征在于，
9.如权利要求1所述的载置台装置，其特征...
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