温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及载置台装置、基板处理装置、曝光装置和物品的制造方法。具有载置台；连接到所述载置台并随着所述载置台的驱动而追随所述载置台的可动缆线；降低从所述可动缆线传递的振动的降低机构；对所述降低机构施加力的致动器；取得与所述降低机构和所述可动缆...
该专利属于佳能株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过佳能株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。