【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于真空密封，特别涉及一种真空密封装置。
技术介绍
1、真空技术在现代生产中发挥日趋重要的作用，特别是在高端装备
，例如半导体微电子元件生产领域、新材料开发领域、表面科学领域和物理学中的真空加速器领域等，都需要严格的真空环境。例如：在半导体产线中，半导体关键尺寸量测通常需要在真空箱体中进行，而真空箱体则通过真空阀来隔绝真空环境与外部环境，以满足半导体在反应室中真空加工的要求。并且，真空技术在新材料开发、表面科学和物理学中的真空加速器等领域也广泛应用。
2、特别是在真空设备的不同腔室中，需要使用真空密封装置以切换不同的气压状态，来保持各腔室相对外部环境独立，以满足工序和生产要求。现有的用于带电粒子束量测设备上的真空密封装置多采用滚珠式或弹簧式结构的真空阀，通过一级或二级动作机构实现闸阀的开闭及真空密封，不但结构复杂，零件较多，而且零件的加工精度要求严格，维修及保养成本较高，导致其应用领域受限，不能很好的满足半导体产线的检测需求。并且，此类真空设备的腔体中严格要求粉尘量，而普通的真空阀在密封的过程中可能会产生金属粉尘或橡胶磨损的碎屑，影响带电粒子束。
技术实现思路
1、针对上述问题，本专利技术公开了一种真空密封装置，以克服上述问题或者至少部分地解决上述问题。
2、为了实现上述目的，本专利技术采用以下技术方案：
3、本专利技术公开了一种真空密封装置，包括密封板、安装板、第一楔形块和第二楔形块；
4、所述密封板与所述安装板对应
5、所述第二楔形块设于所述第一楔形块和所述密封板之间，且通过弹性件与所述第一楔形块连接，所述第二楔形块上靠近所述第一楔形块的端面形成有与所述第一斜面配合的第二斜面；所述通气孔的一侧设有限位件，所述限位件用于使所述第二楔形块移动至与所述限位件抵接时，所述第二楔形块与所述通气孔相对；
6、在所述第一楔形块移动至所述密封位置时，所述第一楔形块通过所述弹性件带动所述第二楔形块移动至与所述限位件抵接，且所述第一楔形块对所述第二楔形块形成朝向所述密封板方向的挤压力，使所述第二楔形块紧压所述通气孔；在所述第一楔形块移动至所述开启位置时，所述第一楔形块通过所述弹性件带动所述第二楔形块移动至与所述通气孔错开。
7、进一步地，所述第一斜面和所述第二斜面之间设有滚动件，所述滚动件用于减小所述第一楔形块与所述第二楔形块之间的摩擦。
8、进一步地，所述滚动件为滚珠或滚柱，所述第一斜面或所述第二斜面上形成有滚槽，所述滚珠或所述滚柱设于所述滚槽内。
9、进一步地，所述限位件为限位滚子，所述限位滚子的轴通过滚子座固定在所述安装板上。
10、进一步地，所述限位件为限位柱，所述限位柱的一端与所述安装板固定连接，所述限位柱的另一端上径向延伸有凸缘，所述限位柱通过所述凸缘与所述第二楔形块抵接，且所述凸缘的外圆周包裹有滑套；
11、其中，所述滑套的材质为聚醚醚酮或聚四氟乙烯。
12、进一步地，还包括驱动杆；
13、所述驱动杆与所述第一楔形块固定连接，且所述驱动杆的长度方向沿所述第一楔形块移动的方向设置。
14、进一步地，所述第一楔形块上靠近所述第二楔形块的端面形成有导向凸起，所述导向凸起上开有第一通孔，所述驱动杆穿过所述第一通孔，所述第一斜面的数量为两个，两个所述第一斜面分别设置在所述导向凸起的两侧；
15、所述第二楔形块上靠近所述第一楔形块的端面形成有与所述导向凸起配合的导向凹槽，所述第二楔形块上形成有两个所述第二斜面，两个所述第二斜面分别设置在所述导向凹槽的两侧，且与两个所述第一斜面对应。
16、进一步地，所述安装板上固定有支撑座，所述支撑座上开有第二通孔，所述驱动杆穿过所述第二通孔，且能够沿其长度方向相对所述第二通孔滑动。
17、进一步地，所述第一楔形块靠近所述限位部的一侧的所述驱动杆上形成有限位凸起，所述限位凸起在垂直于所述密封板的方向上至少部分与所述第二楔形块重叠。
18、进一步地，所述第二楔形块上靠近所述密封板的端面开有密封槽，所述密封槽内设有密封件。
19、本专利技术的优点及有益效果是：
20、本专利技术的真空密封装置中，通过在安装板上设置连接的第一楔形块和第二楔形块，且安装板与密封板相对设置，在第一楔形块移动至密封位置时，使第二楔形块与密封板上的通气孔相对，且第一楔形块对第二楔形块形成朝向密封板方向的挤压力，从而使第二楔形块紧压通气孔，实现通气孔的密闭，在第一楔形块移动至开启位置时，使第二楔形块与密封板上的通气孔错开，实现通气孔的开启；该真空密封装置具有摩擦小、密封性好、结构简单、安装便捷、维修方便和制造成本低等优点。
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1.一种真空密封装置，其特征在于，包括密封板、安装板、第一楔形块和第二楔形块；
2.根据权利要求1所述的真空密封装置，其特征在于，所述第一斜面和所述第二斜面之间设有滚动件，所述滚动件用于减小所述第一楔形块与所述第二楔形块之间的摩擦。
3.根据权利要求2所述的真空密封装置，其特征在于，所述滚动件为滚珠或滚柱，所述第一斜面或所述第二斜面上形成有滚槽，所述滚珠或所述滚柱设于所述滚槽内。
4.根据权利要求1所述的真空密封装置，其特征在于，所述限位件为限位滚子，所述限位滚子的轴通过滚子座固定在所述安装板上。
5.根据权利要求1所述的真空密封装置，其特征在于，所述限位件为限位柱，所述限位柱的一端与所述安装板固定连接，所述限位柱的另一端上径向延伸有凸缘，所述限位柱通过所述凸缘与所述第二楔形块抵接，且所述凸缘的外圆周包裹有滑套；
6.根据权利要求1所述的真空密封装置，其特征在于，还包括驱动杆；
7.根据权利要求6所述的真空密封装置，其特征在于，所述第一楔形块上靠近所述第二楔形块的端面形成有导向凸起，所述导向凸起上开有第一通孔
8.根据权利要求6所述的真空密封装置，其特征在于，所述安装板上固定有支撑座，所述支撑座上开有第二通孔，所述驱动杆穿过所述第二通孔，且能够沿其长度方向相对所述第二通孔滑动。
9.根据权利要求6所述的真空密封装置，其特征在于，所述第一楔形块靠近所述限位部的一侧的所述驱动杆上形成有限位凸起，所述限位凸起在垂直于所述密封板的方向上至少部分与所述第二楔形块重叠。
10.根据权利要求1-9中任一项所述的真空密封装置，其特征在于，所述第二楔形块上靠近所述密封板的端面开有密封槽，所述密封槽内设有密封件。
...【技术特征摘要】
1.一种真空密封装置，其特征在于，包括密封板、安装板、第一楔形块和第二楔形块；
2.根据权利要求1所述的真空密封装置，其特征在于，所述第一斜面和所述第二斜面之间设有滚动件，所述滚动件用于减小所述第一楔形块与所述第二楔形块之间的摩擦。
3.根据权利要求2所述的真空密封装置，其特征在于，所述滚动件为滚珠或滚柱，所述第一斜面或所述第二斜面上形成有滚槽，所述滚珠或所述滚柱设于所述滚槽内。
4.根据权利要求1所述的真空密封装置，其特征在于，所述限位件为限位滚子，所述限位滚子的轴通过滚子座固定在所述安装板上。
5.根据权利要求1所述的真空密封装置，其特征在于，所述限位件为限位柱，所述限位柱的一端与所述安装板固定连接，所述限位柱的另一端上径向延伸有凸缘，所述限位柱通过所述凸缘与所述第二楔形块抵接，且所述凸缘的外圆周包裹有滑套；
6.根据权利要求1所述的真空密...
【专利技术属性】
技术研发人员：龚丹媛，李涛，李肖，王志斌，杨润潇，
申请(专利权)人：惠然科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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