【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体加工制造，更具体的说，涉及一种加热盘调节机构。
技术介绍
1、薄膜沉积技术是用于制造微电子器件的薄膜的关键技术，通过在基板衬底上形成沉积物来实现。常见的薄膜沉积技术包括物理气相沉积、化学气相沉积等技术。
2、在现有的半导体镀膜设备中，在工艺过程中普遍采用圆形加热盘来对晶圆或其他形式的薄膜基底进行加热。另外，这些加热盘还对晶圆或其他形式的薄膜基底有着承载及定位的作用。
3、在薄膜沉积设备中，加热盘用于对晶圆进行加热，以实现相应的薄膜沉积工艺。
4、为了保证工艺的可靠性，在现有技术中需要调整加热盘与喷淋板的相对位置，以获得最佳的工艺性能。图1揭示了现有技术的加热盘对心及调平机构的示意图，如图1所示，现有技术的调节机构无法同时满足对加热盘进行调平和对心调整，需要使用不同的机构来完成这两种调节，即至少需要两套机构完成加热盘的对心及调平调整。
5、这种方法的缺点在于其复杂性和低效率。首先，使用两套机构进行调节，无疑增加了操作的复杂性，降低了工作效率。其次，这种双机构调节方式也增加了设备的成本和占用空间。此外，对于需要频繁调整工艺性能的场景，这种方式将导致更多的误差和故障，从而影响产品质量和生产效率。
技术实现思路
1、本专利技术的目的是提供一种加热盘调节机构，解决现有技术对加热盘的对心及调平难以同时进行调整的问题。
2、为了实现上述目的，本专利技术提供了一种加热盘调节机构，包括凸轮机构、球形铰链、加热盘与加热盘座
3、所述凸轮机构，与加热盘座紧密接触；
4、所述加热盘，与加热盘座刚性连接；
5、所述加热盘座，底部与球形铰链相连接；
6、其中，所述凸轮机构，围绕加热盘轴线做回转运动，带动所述加热盘沿球形铰链在多个方向上进行相应运动，实现加热盘的对心及调平调整。
7、在一实施例中，所述加热盘调节机构，还包括锁紧机构：
8、所述加热盘座，底部设置球形凹陷；
9、所述球形铰链，上部的球头与球形凹陷啮合；
10、所述球头与加热盘座，通过锁紧机构进行固定锁死或解锁活动。
11、在一实施例中，所述锁紧机构，包括可移动销钉；
12、所述加热盘座，下部设置有用于固定位置的孔洞；
13、所述可移动销钉，插入或拔出孔洞，将球头与加热盘进行固定锁死或解锁活动。
14、在一实施例中，所述凸轮机构包括限位块、凸轮轴和凸轮：
15、所述凸轮，通过凸轮轴与限位块连接，围绕凸轮轴进行转动；
16、所述凸轮与限位块，分别与加热盘座的侧面紧密连接与接触。
17、在一实施例中，所述加热盘座的侧面，至少包括两个凸出高度不同的第一侧面和第二侧面：
18、所述凸轮，与加热盘座的第一侧面紧密连接与接触；
19、所述限位块，与加热盘座的第二侧面连接与接触。
20、在一实施例中，所述凸轮轴的轴线垂直于加热盘水平面；
21、所述凸轮轴，沿加热盘轴线做回转运动。
22、在一实施例中，当锁紧机构处于解锁位置，球头与加热盘进行解锁活动；
23、转动凸轮轴，凸轮轴带动凸轮、限位块，绕加热盘轴线做回转运动；
24、凸轮带动加热盘沿球形铰链的球头球心进行全方位转动，实现加热盘在任意方向上进行调平操作。
25、在一实施例中，当锁紧机构处于锁紧位置，球头与加热盘进行固定锁死：
26、转动凸轮轴，凸轮轴带动凸轮、限位块，绕加热盘轴线做回转运动；
27、凸轮带动加热盘沿水平面做水平位移，实现加热盘在任意方向上进行对心操作。
28、本专利技术提出的一种加热盘调节机构，通过凸轮机构同时实现加热盘对心和调平，不仅将有助于提高产品质量，也将有助于提升整体的生产效率。
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1.一种加热盘调节机构，其特征在于，包括凸轮机构、球形铰链、加热盘与加热盘座：
2.根据权利要求1所述的加热盘调节机构，其特征在于，还包括锁紧机构：
3.根据权利要求2所述的加热盘调节机构，其特征在于，所述锁紧机构，包括可移动销钉；
4.根据权利要求2所述的加热盘调节机构，其特征在于，所述凸轮机构包括限位块、凸轮轴和凸轮：
5.根据权利要求4所述的加热盘调节机构，其特征在于，所述加热盘座的侧面，至少包括两个凸出高度不同的第一侧面和第二侧面：
6.根据权利要求4所述的加热盘调节机构，其特征在于，所述凸轮轴的轴线垂直于加热盘水平面；
7.根据权利要求4所述的加热盘调节机构，其特征在于，当锁紧机构处于解锁位置，球头与加热盘进行解锁活动；
8.根据权利要求4所述的加热盘调节机构，其特征在于，当锁紧机构处于锁紧位置，球头与加热盘进行固定锁死：
9.根据权利要求5所述的加热盘调节机构，其特征在于，所述限位块，是一个U型结构，两侧边分别与加热盘的第二侧面连接接触。
【技术特征摘要】
1.一种加热盘调节机构，其特征在于，包括凸轮机构、球形铰链、加热盘与加热盘座：
2.根据权利要求1所述的加热盘调节机构，其特征在于，还包括锁紧机构：
3.根据权利要求2所述的加热盘调节机构，其特征在于，所述锁紧机构，包括可移动销钉；
4.根据权利要求2所述的加热盘调节机构，其特征在于，所述凸轮机构包括限位块、凸轮轴和凸轮：
5.根据权利要求4所述的加热盘调节机构，其特征在于，所述加热盘座的侧面，至少包括两个凸出高度不同的第一侧面...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨辰烨，
申请(专利权)人：拓荆科技上海有限公司，
类型：发明
国别省市：
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