探针台制造技术

本申请涉及一种探针台，包括：载台、样品台组件及多个探针操纵器，样品台组件和探针操纵器均设置于载台上，多个探针操纵器围绕样品台组件设置，探针操纵器包括粗调运动结构、精调运动结构以及探针组件，探针组件设置于精调运动结构上，精调运动结构能够控制探针组件在X轴、Y轴、Z轴三个方向的精调直线运动，精调运动结构设置于粗调运动结构上，粗调运动结构设置于载台上，粗调运动结构能够控制精调运动结构在X轴、Y轴、Z轴三个方向的粗调直线运动及绕Z轴方向的粗调旋转运动。本申请提供的探针台，实现了探针操纵器的高精度操作及长行程范围的运动，提升了探针台的操纵精度及操纵灵活度，可大大提高对相关电子器件表征的效率和灵活性。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及半导体器件测试，特别是涉及一种探针台。

技术介绍

1、在半导体器件原位分析、量子光学、量子输运以及超导材料研究等新一代信息
，常常需要在低温环境下对材料和器件进行纳米级的操纵和表征。

2、目前主流的测试系统为低温探针台结合光学显微镜的表征系统，由于现有低温探针台操纵精度和运动自由度不足，容易造成半导体器件电极的损伤或无法实现量子芯片以及超导材料研究中的精确定位，从而无法进行更为精细的电学物性测量。

技术实现思路

1、基于此，有必要提供一种能够提高操纵精度和操纵灵活度的探针台。

2、本申请提供一种探针台，包括：载台、样品台组件以及多个探针操纵器，所述样品台组件和所述探针操纵器均设置于载台上，多个所述探针操纵器围绕所述样品台组件设置，所述探针操纵器包括粗调运动结构、精调运动结构以及探针组件，所述探针组件设置于所述精调运动结构上，所述精调运动结构能够控制所述探针组件在x轴、y轴、z轴三个方向的精调直线运动，所述精调运动结构设置于所述粗调运动结构上，所述粗调运动结构设置于所述载本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种探针台，其特征在于，包括：载台、样品台组件以及多个探针操纵器，所述样品台组件和所述探针操纵器均设置于载台上，多个所述探针操纵器围绕所述样品台组件设置，

2.根据权利要求1所述的探针台，其特征在于，所述载台包括底板以及盖板，所述盖板设置于所述底板上，所述盖板中心设有通孔，所述样品台组件设置于所述底板上，且从所述通孔伸出，所述探针操纵器设置于所述盖板上。

3.根据权利要求2所述的探针台，其特征在于，所述盖板与所述底板之间围合出冷却通道，所述冷却通道的两端分别设有入口和出口，所述载台上还设有第一导热组件和第二导热组件，所述探针组件通过所述第一导热组件与所述盖板连...

【技术特征摘要】

1.一种探针台，其特征在于，包括：载台、样品台组件以及多个探针操纵器，所述样品台组件和所述探针操纵器均设置于载台上，多个所述探针操纵器围绕所述样品台组件设置，

2.根据权利要求1所述的探针台，其特征在于，所述载台包括底板以及盖板，所述盖板设置于所述底板上，所述盖板中心设有通孔，所述样品台组件设置于所述底板上，且从所述通孔伸出，所述探针操纵器设置于所述盖板上。

3.根据权利要求2所述的探针台，其特征在于，所述盖板与所述底板之间围合出冷却通道，所述冷却通道的两端分别设有入口和出口，所述载台上还设有第一导热组件和第二导热组件，所述探针组件通过所述第一导热组件与所述盖板连接，所述样品台组件通过所述第二导热组件与所述底板连接。

4.根据权利要求3所述的探针台，其特征在于，所述第一导热组件包括第一柔性导热带以及固定座，所述第一柔性导热带一端连接所述探针组件，另一端连接所述固定座，所述固定座固定安装于所述盖板，

5.根据权利要求1所述的探针台，其特征在于，所述探针组件包括探针本体、探针底座和温度传感器，所述探针本体一端插入并固定于所述探针底座，另一端伸出于所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：李克强，王宏涛，
申请(专利权)人：浙江大学杭州国际科创中心，
类型：发明
国别省市：