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本申请涉及一种探针台，包括：载台、样品台组件及多个探针操纵器，样品台组件和探针操纵器均设置于载台上，多个探针操纵器围绕样品台组件设置，探针操纵器包括粗调运动结构、精调运动结构以及探针组件，探针组件设置于精调运动结构上，精调运动结构能够控制探...
该专利属于浙江大学杭州国际科创中心所有，仅供学习研究参考，未经过浙江大学杭州国际科创中心授权不得商用。

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