【技术实现步骤摘要】
本申请涉及泵送，具体而言，涉及一种真空泵组及泵送系统。
技术介绍
1、在半导体、平面屏幕或光伏制造等行业中，由真空泵组构成的泵送系统应用于被称为“粉末”工艺的过程中，例如刻蚀、抛光等。这些“粉末”工艺过程所产生的工艺气体中含有大量固体副产品。
2、目前行业内真空泵组中的主泵输出口与前级泵进气口非上下对齐设置，二者之间采用由波纹管连接或过渡管硬构成的弯折管道连接机构进行串接，以协同泵送工艺气体。而工艺气体中含有的粉末状物质易于在真空泵组中会发生沉积。特别是在上述管道连接机构的弯折区段中易于堆积沉积物。沉积物的存在将限制气体通道尺寸，从而导致泵送能力的损失，严重地，在没有维护操作的情况下会影响真空泵组的使用寿命。
3、为此，需要经常拆除上述管道连接机构以进行清洁，维护频率高。然而受限于真空泵组中主泵与前级泵之间的位置约束，管道连接机构拆装极不便利，导致维护复杂且耗时。为解决上述管道连接机构处易堆积沉积物的问题，专利技术人对真空泵组中连通主泵与前级泵的泵间连接机构进行改进设计，将位于上层的主泵的输出口与位于下层的前级泵的吸入口上下对齐设置，并采用异径直管构成泵间连接机构。
4、专利技术人进一步发现，上述改进设计使得真空泵组中两泵的重心位置之间的轴向距离增大。由于位于上层的主泵质量重且体积大，在两泵的重心位置之间的轴向距离增大的情况下，会导致整个真空泵组易产生倾倒风险。
技术实现思路
1、本申请的目的在于提供一种改进的真空泵组，以解决真空泵组因主泵输出口
2、本申请一方面提出了一种真空泵组，包括主泵和前级泵；所述主泵与所述前级泵呈卧式布置，所述主泵位于所述前级泵的上方，且所述主泵与所述前级泵平行；所述主泵包括一主泵输出口，所述前级泵包括一前级泵吸入口；所述主泵输出口与所述前级泵吸入口上下对齐设置，并通过所述泵间连接机构连通；
3、所述主泵还包括转子轴、泵体、两个轴承板和两个油箱，所述主泵输出口设置于所述泵体下方；两个所述轴承板沿所述转子轴轴向分别设置于所述泵体的轴向两端；所述转子轴穿设于所述泵体内，并回转支承于两个所述轴承板上；两个所述轴承板的轴向外侧分别固定连接有一所述油箱；所述油箱材质的密度小于所述泵体材质的密度；
4、所述轴承板包括具有轴孔的轴承凸台和环绕轴承凸台的固定座，所述转子轴转动连接于所述轴孔内，在沿所述转子轴轴向方向上所述固定座的宽度小于所述轴承凸台的宽度。
5、通过油箱材质优化以及减小轴承板中固定座的宽度，对主泵进行轻量化改进设计，以降低真空泵组中位于上层的主泵的重量，从而在主泵输出口与前级泵吸入口上下对齐设置时，能够降低真空泵组因两泵的重心位置之间的轴向距离增大而易倾倒的风险。与此同时，该真空泵组也能够有效减少粉末在泵间连接机构中的堆积，减少真空泵组泵送能力的损失，提高了设备运行稳定性。
6、进一步地，所述主泵还包括马达，所述马达设置于所述转子轴的轴向一端，所述马达为永磁马达。同样的功率下永磁马达具有体积小、重量轻的优点，从而，选用永磁马达替代普通马达，可以进一步降低位于上层的主泵的重量。
7、进一步地，所述轴承板面向所述泵体的一侧，所述轴承凸台与所述固定座平齐；所述轴承板面向所述油箱的一侧，所述轴承凸台凸出于所述固定座；所述轴承凸台凸出于所述固定座的部分位于所述油箱内。从而，由于轴承凸台部分地容置于油箱内，可提升对安装于轴承凸台中的轴承的润滑及冷却效果。
8、进一步地，在所述轴承凸台凸出于所述固定座的一侧，所述轴承凸台与所述固定座之间形成有环绕所述轴承凸台的容纳槽。通过开设容纳槽，可进一步减轻轴承板的重量，从而便于实现主泵轻量化。
9、进一步地，为了增强固定座和轴承凸台之间的连接，提高结构强度，所述轴承板还包括加强筋，所述加强筋设置于所述容纳槽内，并分别与所述固定座和所述轴承凸台固定连接，所述加强筋在所述转子轴轴向方向上不凸出上述固定座。
10、进一步地，所述加强筋包括多个第一加强筋和多个第二加强筋，多个所述第一加强筋在所述容纳槽内间隔设置，相邻的两个所述第一加强筋之间至少设有一个所述第二加强筋。
11、进一步地，所述主泵输出口与所述前级泵吸入口之间通过泵间连接机构连接，所述泵间连接机构包括异径直管，所述异径直管垂直连接于所述主泵输出口与所述前级泵吸入口之间。
12、进一步地，所述异径直管包括呈漏斗型的第一区段和呈圆柱型的第二区段；所述第一区段中直径较大的一端与所述主泵输出口连接，所述第一区段中直径较小的一端与所述第二区段连接；所述第二区段与所述前级泵吸入口连接。通过垂直布置的异径直管，使得主泵输出口与前级泵吸入口上下直通，被泵送气体中含有的粉末物质在重力作用下更容易随被泵送气体而被带走，减少在主泵输出口以及泵间连接机构中沉积，有效地降低了真空泵组泵送能力损失。
13、进一步地，所述异径直管还包括可伸缩区段，所述可伸缩区段连接于所述第一区段与所述第二区段之间从而，通过调节异径直管的长度，使得泵间连接机构在真空泵组中的安装与拆除操作更加便利，与此同时，使得泵间连接机构可适配真空泵组中主泵输出口与前级泵吸入口之间的不同距离要求，能够有效地进行间隙补偿。
14、可选地，所述主泵输出口与所述前级泵吸入口通过法兰结构直接固定连接；所述前级泵还包括前级泵泵体，所述前级泵吸入口由开设于所述前级泵泵体上的贯通孔形成，所述前级泵吸入口的端面与所述前级泵泵体的上表面平齐；所述法兰结构包括：法兰盘和多个固定件；所述法兰盘固定连接于所述主泵输出口，所述法兰盘面向前级泵的端面与所述前级泵泵体相抵接，所述法兰盘通过多个所述固定件与所述前级泵泵体固定连接。如此，一方面，通过省去连接于主泵输出口与前级泵吸入口间的管道连接机构，不仅缩短了主泵输出口与前级泵吸入口之间的距离，使得粉末更容易被泵送的气体带走，有效防止了粉尘堆积，减少了泵送能力的损失；而且降低了真空泵组的整体高度，使得真空泵组体积更小。另一方面，在主泵输出口与前级泵吸入口固定连接时，前级泵泵体能够为主泵提供支撑，使得连接更加稳固。
15、本申请另一方面还提出了一种泵送系统，包括上述真空泵组。
16、根据本申请实施例的真空泵组，通过采用轻质油箱且减小轴承板中固定座的宽度，以降低真空泵组中位于上层的主泵的重量，从而在主泵输出口与前级泵吸入口上下对齐设置时，能够降低真空泵组因两泵重心位置之间的轴向距离增大而易倾倒的风险。
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1.一种真空泵组，其特征在于，包括主泵和前级泵；所述主泵与所述前级泵呈卧式布置，所述主泵位于所述前级泵的上方，且所述主泵与所述前级泵平行；所述主泵包括一主泵输出口，所述前级泵包括一前级泵吸入口；所述主泵输出口与所述前级泵吸入口上下对齐设置；
2.根据权利要求1所述的真空泵组，其特征在于，所述主泵还包括马达，所述马达设置于所述转子轴的轴向一端，所述马达为永磁马达。
3.根据权利要求1所述的真空泵组，其特征在于，所述轴承板面向所述泵体的一侧，所述轴承凸台与所述固定座平齐；所述轴承板面向所述油箱的一侧，所述轴承凸台凸出于所述固定座；所述轴承凸台凸出于所述固定座的部分位于所述油箱内。
4.根据权利要求3所述的真空泵组，其特征在于，在所述轴承凸台凸出于所述固定座的一侧，所述轴承凸台与所述固定座之间形成有环绕所述轴承凸台的容纳槽。
5.根据权利要求4所述的真空泵组，其特征在于，所述轴承板还包括加强筋，所述加强筋设置于所述容纳槽内，并分别与所述固定座和所述轴承凸台固定连接，所述加强筋在所述转子轴轴向方向上不凸出上述固定座。
6.根据权
7.根据权利要求1所述的真空泵组，其特征在于，所述主泵输出口与所述前级泵吸入口之间通过泵间连接机构连接，所述泵间连接机构包括异径直管，所述异径直管垂直连接于所述主泵输出口与所述前级泵吸入口之间。
8.根据权利要求7所述的真空泵组，其特征在于，所述异径直管包括呈漏斗型的第一区段和呈圆柱型的第二区段；所述第一区段中直径较大的一端与所述主泵输出口连接，所述第一区段中直径较小的一端与所述第二区段连接；所述第二区段与所述前级泵吸入口连接；所述异径直管还包括可伸缩区段，所述可伸缩区段连接于所述第一区段与所述第二区段之间。
9.根据权利要求1所述的真空泵组，其特征在于，所述主泵输出口与所述前级泵吸入口通过法兰结构直接固定连接；所述前级泵还包括前级泵泵体，所述前级泵吸入口由开设于所述前级泵泵体上的贯通孔形成，所述前级泵吸入口的端面与所述前级泵泵体的上表面平齐；所述法兰结构包括：法兰盘和多个固定件；所述法兰盘固定连接于所述主泵输出口，所述法兰盘面向前级泵的端面与所述前级泵泵体相抵接，所述法兰盘通过多个所述固定件与所述前级泵泵体固定连接。
10.一种泵送系统，其特征在于，包括如权利要求1-9任一项所述的真空泵组。
...【技术特征摘要】
1.一种真空泵组，其特征在于，包括主泵和前级泵；所述主泵与所述前级泵呈卧式布置，所述主泵位于所述前级泵的上方，且所述主泵与所述前级泵平行；所述主泵包括一主泵输出口，所述前级泵包括一前级泵吸入口；所述主泵输出口与所述前级泵吸入口上下对齐设置；
2.根据权利要求1所述的真空泵组，其特征在于，所述主泵还包括马达，所述马达设置于所述转子轴的轴向一端，所述马达为永磁马达。
3.根据权利要求1所述的真空泵组，其特征在于，所述轴承板面向所述泵体的一侧，所述轴承凸台与所述固定座平齐；所述轴承板面向所述油箱的一侧，所述轴承凸台凸出于所述固定座；所述轴承凸台凸出于所述固定座的部分位于所述油箱内。
4.根据权利要求3所述的真空泵组，其特征在于，在所述轴承凸台凸出于所述固定座的一侧，所述轴承凸台与所述固定座之间形成有环绕所述轴承凸台的容纳槽。
5.根据权利要求4所述的真空泵组，其特征在于，所述轴承板还包括加强筋，所述加强筋设置于所述容纳槽内，并分别与所述固定座和所述轴承凸台固定连接，所述加强筋在所述转子轴轴向方向上不凸出上述固定座。
6.根据权利要求5所述的真空泵组，其特征在于，所述加强筋包括多个第一加强筋和多个第二加强筋，多个所述第一加强筋在所述容纳槽内间隔设置...
【专利技术属性】
技术研发人员：张伟明，吴保星，
申请(专利权)人：上海盛剑半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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