【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种钝化接触太阳能电池制备方法及钝化接触太阳能电池。
技术介绍
1、目前，隧穿氧化层钝化接触太阳能电池(tunnel oxide and passivatedcontact,topcon)主要是在topcon电池背面叠层设置隧穿氧化层和钝化层，并通过隧穿氧化层和钝化层降低金属电极与硅基体表面的金属复合，并实现载流子的选择性通过，并有效地提升光电转换效率。但是，由于隧穿氧化层钝化接触结构的掺杂多晶硅，会吸收照射到电池表面的光，显著降低topcon电池的有效光吸收，因此，目前topcon电池的正面仍然主要使用常规的电池结构。通过研究发现，在topcon电池正面制备局部钝化接触结构的可以有效地降低正面金属复合的同时，能够保证topcon电池的有效光吸收。
2、目前，topcon电池正面制备局部钝化接触结构主要通过化学刻蚀与掩膜结合的方式制备，整个过程涉及制备掩膜、化学刻蚀、去除掩膜等工序，步骤比较繁琐，而且在去除掩膜过程中，容易损伤掩膜下方的功能层，不利于topcon电池的性能和效率提升。
【技术保护点】
1.一种钝化接触太阳能电池制备方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的钝化接触太阳能电池制备方法，其特征在于，步骤A包括：
3.根据权利要求1所述的钝化接触太阳能电池制备方法，其特征在于，
4.根据权利要求2所述的钝化接触太阳能电池制备方法，其特征在于，
5.根据权利要求1所述的钝化接触太阳能电池制备方法，其特征在于，所述步骤B还包括：
6.一种钝化接触太阳能电池，其特征在于，通过权利要求1-5任一项所述的方法制备得到，所述钝化接触太阳能电池包括：N型硅基体(10)、在所述N型硅基体(10)第一主表...
【技术特征摘要】
1.一种钝化接触太阳能电池制备方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的钝化接触太阳能电池制备方法，其特征在于，步骤a包括：
3.根据权利要求1所述的钝化接触太阳能电池制备方法，其特征在于，
4.根据权利要求2所述的钝化接触太阳能电池制备方法，其特征在于，
5.根据权利要求1所述的钝化接触太阳能电池制备方法，其特征在于，所述步骤b还包括：
6.一种钝化接触太阳能电池，其特征在于，通过权利要求1-5任一项所述的方法制备得到，所述钝化接触太阳能...
【专利技术属性】
技术研发人员：于海斌，孙自强，唐文帅，
申请(专利权)人：晶澳扬州太阳能科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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