【技术实现步骤摘要】
本技术涉及气相外延反应，特别是涉及一种可进行晶圆基板校准的暂存室。
技术介绍
1、气相外延半导体晶片制备系统是基于气相外延技术进行半导体晶片制备的设备。气相外延半导体晶片制备系统通常包括气相外延反应室和外部搬运系统，通过外部搬运系统相连且协同动作以实现晶片搬运装载满足连续生产的需求。外部搬运系统包括运转室、装载室、常压区域以及暂存室，反应室、装载室、暂存室通过闸门分别与运转室连接，常压区域通过闸门与装载室连通。工作过程大致如下：将用于承载晶圆的晶圆基板预先放置在暂存室内的基座上，然后将常压区域内的晶圆盒中取出晶圆，并放入装载室内调整好晶圆的切边朝向，通过运转室内的机械臂将装置装载室内的晶圆夹取至暂存室内的晶圆基板上，装载完毕后机械臂会将晶圆基板连同晶圆一同送入反应室内的基座上进行反应。
2、反应室内通常会设置加热装置以对晶圆提供反应所需热量，热量经基板传导至晶圆。基板与晶圆于圆周上各区域接触面相同，可在一定程度上改善晶圆表面受热均匀性和膜厚一致性，提高成膜质量。如图8和图9所示，通过在基板中心区域的承托槽内安装独立可拆卸的承托环11，晶圆8外环区域与承托环11上表面直接接触，承托环11的内环上设置一个与晶圆切边相对应的直边区域，用来专门承托晶圆的切边部分，并需要保证晶圆基板10的直边12与晶圆8的切边9平行。
3、因为机械臂转运装载室内的晶圆时，机械臂的转角为定值，因此晶圆由装载室转入暂存室时其切边朝向的改变便为定值(参考图9所示，晶圆8的切边朝向整体转动了90°)，继而只要装载室内每次存放的晶圆切边朝向
技术实现思路
1、本技术的目的是解决上述技术问题，提供一种可进行晶圆基板校准的暂存室，通过快速定位部可将校准机构的准确安放在暂存室内的安放区内，通过透明校准部可垂直观察校准基线和晶圆基板上的直边之间的位置关系，以便于将直边与校准基线重合，达到晶圆基板的校准的目的，相较于传统暂存室，本暂存室可为晶圆基板的调节提供精准的参考，以提高调节的精准度，确保后续运送进来的晶圆切边准确安放在晶圆基板承托环上的直边区域上，并保证切边与直边精准对齐。
2、为实现上述目的，本技术提供了如下方案：本技术公开了一种可进行晶圆基板校准的暂存室，包括校准机构和内设有暂存空腔的暂存室本体，所述暂存空腔内设有暂存区和供所述校准机构安放的安放区，所述暂存区内设有承托基座，所述承托基座上设有供晶圆基板水平安放并允许所述晶圆基板转动的承托凹槽，所述晶圆基板上设有载物凹槽，所述载物凹槽内放置有用于承托晶圆的承托环，所述承托环的内环上具有直边区域，所述安放区的方位与移送至所述承托环上的晶圆的切边朝向方位相同，所述校准机构包括用于卡在所述安放区内的快速定位部和用于悬空设置透明校准部，所述暂存区包括供悬空设置的所述透明校准部延伸至所述承托环上方的校准空间和用于转动所述承托凹槽内的所述晶圆基板的操作空间，所述透明校准部上设有能够在所述晶圆基板的转动路径上与所述直边区域的直边重合的校准基线。
3、优选地，所述透明校准部包括用于水平架设的透明校准板，所述校准基线设置在所述透明校准板上。
4、优选地，所述快速定位部包括若干设置在所述透明校准板上的定位孔，所述定位孔中至少有三个不共线，所述定位孔上安装有竖向设置的支撑杆，所述支撑杆上设有用于与所述安放区的侧壁贴合的定位垫圈。
5、优选地，所述定位垫圈为橡胶垫圈。
6、优选地，所述支撑杆为螺纹杆，所述螺纹杆上设有分设在所述透明校准板顶面和底面的上调节螺母和下调节螺母，所述定位垫圈位于所述上调节螺母与所述透明校准板的顶面之间。
7、优选地，所述承托凹槽内设有用于转动或夹取所述晶圆基板的操作缺口。
8、优选地，所述承托基座包括呈圆周间距排布的支撑块，所述支撑块包括用于承托所述晶圆基板的底面的承托部和用于与所述晶圆基板的边缘贴合的限位部。
9、优选地，所述暂存室本体上设有供机械臂伸入所述暂存空腔相通的运送口。
10、优选地，所述运送口上设有闸门。
11、优选地，所述暂存室本体的顶部设有与所述暂存空腔相通的校准口，所述校准口上铰接有密封盖板。
12、本技术相对于现有技术取得了以下技术效果：
13、1.通过将校准机构安放在暂存室的安放区内，便可通过透明校准部观察校准基线和晶圆基板上的直边之间的位置关系，然后手动转动晶圆基板，将直边与校准基线重合，便可完成晶圆基板的校准，以确保后续运送进来的晶圆切边准确安放在晶圆基板承托环上的直边区域上，且切边与直边平行对齐，以保证晶圆送入反应室内进行反应室，与晶圆基板接触区域处受热均匀，降低飞片几率。
14、2.透明校准板的板面开一定数量的定位孔，且其中至少包括三个不共线的定位孔，定位垫圈通过支撑杆固定于透明校准板上部，所有定位垫圈与暂存室安放区的内壁贴合后，便完成了透明校准板的快速定位，同时定位垫圈还可以起到缓冲的作用。
15、3.透明校准板的支撑杆为螺纹杆，穿过定位孔，螺纹杆上设有分设在透明校准板板面两侧的上调节螺母和下调节螺母，通过调节上调节螺母和下调节螺母的上下位置便可改变透明校准板的水平度或者整体高度。
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1.一种可进行晶圆基板校准的暂存室，其特征在于，包括校准机构和内设有暂存空腔的暂存室本体，所述暂存空腔内设有暂存区和供所述校准机构安放的安放区，所述暂存区内设有承托基座，所述承托基座上设有供晶圆基板水平安放并允许所述晶圆基板转动的承托凹槽，所述晶圆基板上设有载物凹槽，所述载物凹槽内放置有用于承托晶圆的承托环，所述承托环的内环上具有直边区域，所述安放区的方位与移送至所述承托环上的晶圆的切边朝向方位相同，所述校准机构包括用于卡在所述安放区内的快速定位部和用于悬空设置透明校准部，所述暂存区包括供悬空设置的所述透明校准部延伸至所述承托环上方的校准空间和用于转动所述承托凹槽内的所述晶圆基板的操作空间，所述透明校准部上设有能够在所述晶圆基板的转动路径上与所述直边区域的直边重合的校准基线。
2.根据权利要求1所述的一种可进行晶圆基板校准的暂存室，其特征在于，所述透明校准部包括用于水平架设的透明校准板，所述校准基线设置在所述透明校准板上。
3.根据权利要求2所述的一种可进行晶圆基板校准的暂存室，其特征在于，所述快速定位部包括若干设置在所述透明校准板上的定位孔，所述定位孔中
4.根据权利要求3所述的一种可进行晶圆基板校准的暂存室，其特征在于，所述定位垫圈为橡胶垫圈。
5.根据权利要求3或4所述的一种可进行晶圆基板校准的暂存室，其特征在于，所述支撑杆为螺纹杆，所述螺纹杆上设有分设在所述透明校准板顶面和底面的上调节螺母和下调节螺母，所述定位垫圈位于所述上调节螺母与所述透明校准板的顶面之间。
6.根据权利要求1所述的一种可进行晶圆基板校准的暂存室，其特征在于，所述承托凹槽内设有用于转动或夹取所述晶圆基板的操作缺口。
7.根据权利要求6所述的一种可进行晶圆基板校准的暂存室，其特征在于，所述承托基座包括呈圆周间距排布的支撑块，所述支撑块包括用于承托所述晶圆基板的底面的承托部和用于与所述晶圆基板的边缘贴合的限位部。
8.根据权利要求1所述的一种可进行晶圆基板校准的暂存室，其特征在于，所述暂存室本体上设有供机械臂伸入所述暂存空腔相通的运送口。
9.根据权利要求8所述的一种可进行晶圆基板校准的暂存室，其特征在于，所述运送口上设有闸门。
10.根据权利要求1所述的一种可进行晶圆基板校准的暂存室，其特征在于，所述暂存室本体的顶部设有与所述暂存空腔相通的校准口，所述校准口上铰接有密封盖板。
...【技术特征摘要】
1.一种可进行晶圆基板校准的暂存室，其特征在于，包括校准机构和内设有暂存空腔的暂存室本体，所述暂存空腔内设有暂存区和供所述校准机构安放的安放区，所述暂存区内设有承托基座，所述承托基座上设有供晶圆基板水平安放并允许所述晶圆基板转动的承托凹槽，所述晶圆基板上设有载物凹槽，所述载物凹槽内放置有用于承托晶圆的承托环，所述承托环的内环上具有直边区域，所述安放区的方位与移送至所述承托环上的晶圆的切边朝向方位相同，所述校准机构包括用于卡在所述安放区内的快速定位部和用于悬空设置透明校准部，所述暂存区包括供悬空设置的所述透明校准部延伸至所述承托环上方的校准空间和用于转动所述承托凹槽内的所述晶圆基板的操作空间，所述透明校准部上设有能够在所述晶圆基板的转动路径上与所述直边区域的直边重合的校准基线。
2.根据权利要求1所述的一种可进行晶圆基板校准的暂存室，其特征在于，所述透明校准部包括用于水平架设的透明校准板，所述校准基线设置在所述透明校准板上。
3.根据权利要求2所述的一种可进行晶圆基板校准的暂存室，其特征在于，所述快速定位部包括若干设置在所述透明校准板上的定位孔，所述定位孔中至少有三个不共线，所述定位孔上安装有竖向设置的支撑杆，所述支撑杆上设有用于与所述安放区的侧壁贴合的定位垫圈...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘鹏，徐文立，沈磊，
申请(专利权)人：宁波恒普技术股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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