电子器件及制备方法技术

技术编号：40517824 阅读：9 留言：0更新日期：2024-03-01 13:35

一种电子器件，属于微机电技术领域，解决集成度低的问题。电子器件包括：衬底(1)，其具有沿其厚度方向相对设置的第一表面(11)和第二表面(12)；且衬底(1)具有沿其厚度方向贯穿的第一连接过孔(13a)和第二连接过孔(13b)，第一连接过孔(13a)和第二连接过孔(13b)内分别设置第一导电柱(14a)和第二导电柱(14b)；开关(2)，设置于衬底(1)的第一表面(11)，其包括第一信号电极(21)和第二信号电极(22)，第一信号电极(21)与第一导电柱(14a)的第一端电连接，第二信号电极(22)与第二导电柱(14b)的第一端电连接；滤波器(3)，设置在衬底(1)的第二表面(12)，滤波器3的输入端与第二导电柱(14b)的第二端电连接，输出端与电子器件的第二导电球(8b)电连接；第一导电柱(14a)的第二端与电子器件的第一导电球(8a)电连接。电子器件集成度高，体积小，插入损耗低。