微机电系统致动器和电子系统技术方案

本公开涉及微机电系统致动器和电子系统。MEMS致动器，包括：衬底；第一半导体层和第二半导体层；框架，其包括由第二半导体层形成的横向区域，平行于第一方向伸长并且沿第二方向偏移，框架可平行于第二方向移动。MEMS致动器包括，针对每个横向区域：对应的前转子区域，其被固定到横向区域并且被悬置在衬底上方；第一定子区域和第二定子区域，其由第一半导体层形成，使得当框架处于静止位置时，横向区域相对于第一定子区域和第二定子区域侧向偏移，并且第一前转子区域部分地面对第一定子区域，并且使得在框架沿第二方向平移期间，当横向区域开始叠加在第一定子区域上时，第一前转子区域和/或第二前转子区域至少部分地面对第二定子区域。由此，提供了改进的MEMS致动器。

【技术实现步骤摘要】

本公开涉及对拉入有弹性的长冲程mems致动器以及包括该长冲程mems致动器的电子系统。

技术介绍

1、众所周知，现在微机电(mems)致动器是可用的。例如，图1a示出了由mems致动器1实现的致动图。

2、详细地，mems致动器1包括与mems致动器1的衬底(未示出)集成的定子区域2，以及形成所谓的梭4和转子致动区域6的转子区域3。梭4和转子致动区域6形成单件。

3、转子区域被3悬置在空腔9中。具体地，mems致动器1包括与衬底集成的一对支柱10；转子区域3通过两对用作弹簧的弯曲梁11机械地耦合到支柱10。特别地，第一对弯曲梁11在梭4的第一侧和两个支柱10中的一个支柱之间延伸，而第二对弯曲梁11在梭4的第二侧和另一个支柱11之间延伸，相对于第一对弯曲梁11对称。

4、定子区域2形成多个第一长形元件13，其彼此等同并且沿正交xyz参考系的y轴具有细长形状，这些第一长形元件13沿x轴侧向偏移。转子致动区域6形成多个第二长形元件15，这些第二长形元件彼此等同并且沿y轴线具有长形形状并且沿x轴线侧向地偏移，以便相对于第一长形元本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种微机电系统致动器，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的微机电系统致动器，其特征在于，进一步包括：

3.根据权利要求1所述的微机电系统致动器，其特征在于，

4.根据权利要求3所述的微机电系统致动器，其特征在于，所述第一定子单元进一步包括一对第三定子区域，所述一对第三定子区域由所述第一半导体层形成，所述一对第三定子区域被固定到所述衬底并且平行于所述第二方向分别与所述一对第一定子区域对准，所述第三定子区域进一步沿所述第二方向被布置在所述第二定子区域的下游并且相对于所述第二定子区域彼此对称，所述第三定子区域部分地面对所述第二定子区域，使得在所述...

【技术特征摘要】

1.一种微机电系统致动器，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的微机电系统致动器，其特征在于，进一步包括：

3.根据权利要求1所述的微机电系统致动器，其特征在于，

4.根据权利要求3所述的微机电系统致动器，其特征在于，所述第一定子单元进一步包括一对第三定子区域，所述一对第三定子区域由所述第一半导体层形成，所述一对第三定子区域被固定到所述衬底并且平行于所述第二方向分别与所述一对第一定子区域对准，所述第三定子区域进一步沿所述第二方向被布置在所述第二定子区域的下游并且相对于所述第二定子区域彼此对称，所述第三定子区域部分地面对所述第二定子区域，使得在所述框架沿所述第二方向的所述平移期间，当所述横向区域开始重叠在所述第二定子区域上时，所述第一前转子区域和所述第二前转子区域中的每个前转子区域至少部分地面对所述一对第三定子区域中的相应的定子区域。

5.根据权利要求1所述的微机电系统致动器，其特征在于，所述第一定子单元包括：

6.根据权利要求5所述的微机电系统致动器，其特征在于，所述一对第一定子区域和所述一对第二定子区域被布置，使得在所述框架沿所述第二方向的所述平移期间，所述对应的前转子区域的第三前转子区域部分地在所述一对第一定子区域与所述一对第二定子区域之间移动。

7.根据权利要求5所述的微机电系统致动器，其特征在于，所述第一定子单元进一步包括一对第三定子区域，所述一对第三定子区域由所述第一半导体层形成，所述一对第三定子区域被固定到所述衬底，所述一对第三定子区域相对于平行于所述第二方向的对应方向对称，并且被配置为偏置到相同电压，所述第三定子区域进一步平行于所述第二方向分别与所述第一定子区域对准，所述一对第三定子区域进一步沿所述第二方向被布置在所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：A·奥普雷尼，V·泽加，A·弗兰吉，G·加特瑞，M·里亚尼，
申请(专利权)人：意法半导体股份有限公司，
类型：新型
国别省市：