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一种电子器件,属于微机电技术领域,解决集成度低的问题。电子器件包括:衬底(1),其具有沿其厚度方向相对设置的第一表面(11)和第二表面(12);且衬底(1)具有沿其厚度方向贯穿的第一连接过孔(13a)和第二连接过孔(13b),第一连接过孔(...该专利属于京东方科技集团股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过京东方科技集团股份有限公司授权不得商用。
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一种电子器件,属于微机电技术领域,解决集成度低的问题。电子器件包括:衬底(1),其具有沿其厚度方向相对设置的第一表面(11)和第二表面(12);且衬底(1)具有沿其厚度方向贯穿的第一连接过孔(13a)和第二连接过孔(13b),第一连接过孔(...