一种透镜组装调检测装置及检测方法制造方法及图纸

一种透镜组装调检测装置及装调检测方法。本发明专利技术的主要目的是在调整系统总长较长、精度要求较高的光学系统时，检测其装调精度。如图1采用一个准直激光器作为光学系统的基准，将其固定在光学系统的光束入口端，并且与入口的透镜中心轴调整同轴。在光学系统的后焦面上设计了一个光束偏移测试装置，可以检测照射到光学系统后焦面的光轴的偏移。依次安装光学系统中的各个透镜组，每个透镜组都会带来光束的倾斜和偏移；根据每个透镜的安装偏差能够得出相应的光束传递矩阵，此光束偏移测试装置可根据此光束传递矩阵输出光束位置和角度偏差，从而调整对应透镜组的倾斜和偏移量。与传统方法相比本发明专利技术具有很好的可操作性、实用性和创新性。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于光学系统装调检测，特别是光刻机照明系统中的较长光学系统的高精度装调检测方法。

技术介绍

1、在光学系统中，镜组之间的同心度测量具有非常重要的意义。光刻机曝光系统、航天传输光路等高性能、高精度要求的长光学系统的装配过程中需要对透镜组之间的径向偏移和光轴偏差角度进行精密调整。以光刻机照明系统为例，每个透镜组相对光轴的偏心倾斜都会引起成像质量的下降，照明系统对透镜光轴的偏差要求都是微米量级和微弧度量级。

2、目前透镜组装配时主要是应用中心偏测量仪或定心仪来测试透镜组光轴之间的偏差。它是基于球心反射镜自准直原理，利用旋转法对光学系统的中心偏差进行测量的精密测量仪器。它的基本结构包括带有ccd相机的自准直仪、旋转载物台。它的测试流程如下，首先将需要装调测试的透镜组件放置在旋转台上，自准直仪照射到透镜上，调整透镜使其球心反射光返回自准直仪的探测器，通过旋转透镜可以得到透镜中心与仪器基准轴之间的偏差。依次安装每一个透镜组件最终就可以得到所有透镜中心的偏差。中心偏测量仪测量原理的限制，使得其只能在焦平面上或曲率半径上测量透镜的中心偏差。这就约束了本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种透镜组装调检测装置，其特征在于，包括一个准直激光器(100)、取样分光棱镜(501)、分光镜(502)以及一个光束位移测试组件(510)和一个光束倾斜测试组件(520)；所述准直激光器(100)与所述取样分光棱镜(501)之间放置待测透镜组；

2.如权利要求1所述的一种透镜组装调检测装置，其特征在于，所述待测透镜组设置在所述准直激光器(100)出射激光口位置，所述待测透镜组入口处透镜中心轴与激光同轴。

3.如权利要求1所述的一种透镜组装调检测装置，其特征在于，所述聚焦前组透镜(503)与聚焦后组透镜(504)构成双远心光学系统将待测透镜组光学系统后焦面等效...

【技术特征摘要】

1.一种透镜组装调检测装置，其特征在于，包括一个准直激光器(100)、取样分光棱镜(501)、分光镜(502)以及一个光束位移测试组件(510)和一个光束倾斜测试组件(520)；所述准直激光器(100)与所述取样分光棱镜(501)之间放置待测透镜组；

2.如权利要求1所述的一种透镜组装调检测装置，其特征在于，所述待测透镜组设置在所述准直激光器(100)出射激光口位置，所述待测透镜组入口处透镜中心轴与激光同轴。

3.如权利要求1所述的一种透镜组装调检测装置，其特征在于，所述聚焦前组透镜(503)与聚焦后组透镜(504)构成双远心光学系统将待测透镜组光学系统后焦面等效位置处的光斑成像到所述第一位置传感器(506)上；所述第一位置传感器(506)安装在所述双远心光学系统的后焦面上；其中第一带通滤光片(505)可以过滤杂散光，使第一位置传感器(506)只收集准直光束；所述光束位移测试组件(510)的缩束比小于0.5，所述第一位置传感器(506)的定位精度为10μm，所述光束位移测试组件(510)的光束位置...

【专利技术属性】
技术研发人员：曾爱军，杨增辉，胡敬佩，黄惠杰，
申请(专利权)人：中国科学院上海光学精密机械研究所，
类型：发明
国别省市：