【技术实现步骤摘要】
本技术属于半导体加工，具体涉及一种陶瓷盘翻转加热装置。
技术介绍
1、晶片即半导体芯片集成电路制作所使用的硅晶片，由于其形状为圆形故也称之为晶圆。通过在晶片表面制作各种电路结构，可使其成为具有特定电性功能的电子元器件。在晶片的生产加工过程中，通常需要经过切片、研磨、抛光和清洗等工艺步骤。目前，在进行研磨、抛光等工艺过程中，需要采用陶瓷盘作为晶片的载体或基盘，即晶片是贴附在陶瓷盘的表面进行加工作业的，陶瓷盘有很高的表面平整度，可起到为晶片的研磨、抛光提供参考平面的作用。
2、在现有技术中，将晶片贴合至陶瓷盘表面并进行研磨、抛光、清洗工序后，需要将晶片从陶瓷盘上取下，即需要对陶瓷盘进行有效的加热，使晶片与陶瓷盘分离，再将晶片取下。但是，目前在清洗工位清洗后，陶瓷盘通常呈竖直方向放置，而在进入加热工位后，陶瓷盘需要呈水平方向放置在加热装置的合适位置，因此，需要工人手动进行翻转和放置操作，这种手动的方式效率低下，无法满足目前的高速生产需求，生产成本较高，且手动操作过程中可能出现陶瓷盘损坏的现象，导致无法进行后续的取片操作，影响了产品质量。
技术实现思路
1、本技术的目的是提供一种工作效率高、自动化程度高的陶瓷盘翻转加热装置。
2、为达到上述目的，本技术采用的技术方案是：
3、一种陶瓷盘翻转加热装置，包括：
4、主体框架；
5、翻转机构：所述的翻转机构包括转动板、夹持组件以及翻转驱动件，所述的转动板可转动地设置在所述的主体框架上，所
6、加热机构：所述的加热机构设置在所述的主体框架上，且位于所述的翻转机构的侧部，所述的加热机构包括加热板，所述的加热板的顶部具有用于加热陶瓷盘的加热区域；
7、输送机构：所述的输送机构设置在所述的主体框架上，且位于所述的翻转机构、加热机构之间，所述的输送机构用于将陶瓷盘从所述的翻转机构输送至所述的加热机构上。
8、优选地，所述的夹持组件包括一对夹爪，一对所述的夹爪分别设置在所述的转动板的相对两侧，一对所述的夹爪用于夹持或松开陶瓷盘。
9、进一步优选地，所述的夹持组件还包括夹持件，所述的夹持件设置在所述的转动板的一端，所述的夹持件上开设有卡槽，所述的卡槽朝向所述的转动板的另一端，所述的卡槽的形状与陶瓷盘的外周面的形状一致。
10、优选地，所述的输送机构包括第一输送组件、第二输送组件，当所述的翻转机构处于第二状态时，所述的第一输送组件、第二输送组件分别位于所述的转动板的相对两侧。
11、进一步优选地，所述的第一输送组件包括多个沿水平方向分布的第一输送转轴、输送驱动件，每个所述的第一输送转轴的一端均设置有第一转动轮，所述的输送驱动件的输出轴上设置有驱动轮，所述的驱动轮与多个所述的第一转动轮之间通过第一输送带传动连接。
12、更进一步优选地，所述的第一输送组件还包括第一从动轮，所述的第一从动轮设置有多个，所述的驱动轮与多个所述的第一转动轮、多个所述的第一从动轮通过第一输送带传动连接。
13、进一步优选地，所述的第二输送组件包括多个沿水平方向分布的第二输送转轴，每个所述的第二输送转轴的一端均设置有第二转动轮，多个所述的第二转动轮之间通过第二输送带传动连接。
14、更进一步优选地，所述的第二输送组件还包括第二从动轮，所述的第二从动轮设置有多个，多个所述的第二转动轮、多个所述的第二从动轮通过第二输送带传动连接。
15、进一步优选地，所述的输送机构还包括第三输送组件，所述的第三输送组件包括一对第三转动轮，一对所述的第三转动轮设置在所述的主体框架上，一对所述的第三转动轮中的一个位于多个所述的第一输送转轴之间，一对所述的第三转动轮中的另一个位于多个所述的第二输送转轴之间。
16、优选地，所述的装置还包括定位机构，所述的定位机构包括定位组件、配合件，所述的定位组件、配合件均设置在所述的主体框架上且分别位于所述的加热机构的两端，所述的定位组件可沿竖直方向、水平方向移动，推动陶瓷盘在所述的加热板上移动，使陶瓷盘卡设在所述的定位组件、配合件之间。
17、进一步优选地，所述的定位组件包括定位件、第一定位驱动件以及第二定位驱动件，所述的第一定位驱动件设置在所述的主体框架上，所述的第二定位驱动件与所述的第一定位驱动件的输出轴连接，所述的定位件与所述的第二定位驱动件的输出轴连接，所述的第一定位驱动件用于驱动所述的第二定位驱动件沿竖直方向移动带动所述的定位件沿竖直方向移动，所述的第二定位驱动件用于驱动所述的定位件沿水平方向移动。
18、更进一步优选地，所述的定位件具有定位部，所述的配合件具有配合部，所述的定位部、配合部的形状与陶瓷盘的外周面的形状一致。
19、进一步优选地，所述的定位机构还包括传动组件，所述的传动组件设置在所述的主体框架上且位于所述的加热板的下方，所述的加热板上开设有贯穿其顶部和底部的通槽，所述的传动组件可沿竖直方向移动且其顶部可穿过所述的通槽并伸出所述的加热板的顶部。
20、更进一步优选地，所述的传动组件包括传动支架、传动轮以及传动驱动件，所述的传动驱动件设置在所述的主体框架上，所述的传动支架的底部与所述的传动驱动件的输出轴连接，所述的传动轮可转动地设置在所述的传动支架的顶部，所述的传动驱动件用于驱动所述的传动支架沿竖直方向移动，带动所述的传动轮移动。
21、进一步优选地，所述的定位机构还包括顶撑组件，所述的顶撑组件设置在所述的主体框架上且位于所述的加热板的下方，所述的加热板上开设有贯穿其顶部和底部的通孔，所述的顶撑组件可沿竖直方向移动且其顶部可穿过所述的通孔并伸出所述的加热板的顶部。
22、更进一步优选地，所述的顶撑组件包括顶杆、顶撑驱动件，所述的顶撑驱动件设置在所述的主体框架上，所述的顶杆的一端与所述的顶撑驱动件的输出轴连接，所述的顶撑驱动件用于驱动所述的顶杆沿竖直方向移动。
23、由于上述技术方案运用，本技术与现有技术相比具有下列优点：
24、本技术通过设置翻转机构、输送机构以及加热机构，可实现陶瓷盘的自动翻转和加热，无需人工操作，自动化程度高，极大降低了工人的劳动强度，翻转和加热的速度快，能够满足高速生产的需求，提高了工作效率，降低了成本，且不会对陶瓷盘造成损伤，保证了后续加工质量，结构简单、设计巧妙，使用方便，实用性好。
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1.一种陶瓷盘翻转加热装置，其特征在于：包括：
2.根据权利要求1所述的陶瓷盘翻转加热装置，其特征在于：所述的夹持组件包括一对夹爪，一对所述的夹爪分别设置在所述的转动板的相对两侧，一对所述的夹爪用于夹持或松开陶瓷盘。
3.根据权利要求2所述的陶瓷盘翻转加热装置，其特征在于：所述的夹持组件还包括夹持件，所述的夹持件设置在所述的转动板的一端，所述的夹持件上开设有卡槽，所述的卡槽朝向所述的转动板的另一端，所述的卡槽的形状与陶瓷盘的外周面的形状一致。
4.根据权利要求1所述的陶瓷盘翻转加热装置，其特征在于：所述的输送机构包括第一输送组件、第二输送组件，当所述的翻转机构处于第二状态时，所述的第一输送组件、第二输送组件分别位于所述的转动板的相对两侧。
5.根据权利要求4所述的陶瓷盘翻转加热装置，其特征在于：所述的第一输送组件包括多个沿水平方向分布的第一输送转轴、输送驱动件，每个所述的第一输送转轴的一端均设置有第一转动轮，所述的输送驱动件的输出轴上设置有驱动轮，所述的驱动轮与多个所述的第一转动轮之间通过第一输送带传动连接。
6.根据权
7.根据权利要求1所述的陶瓷盘翻转加热装置，其特征在于：所述的装置还包括定位机构，所述的定位机构包括定位组件、配合件，所述的定位组件、配合件均设置在所述的主体框架上且分别位于所述的加热机构的两端，所述的定位组件可沿竖直方向、水平方向移动，推动陶瓷盘在所述的加热板上移动，使陶瓷盘卡设在所述的定位组件、配合件之间。
8.根据权利要求7所述的陶瓷盘翻转加热装置，其特征在于：所述的定位组件包括定位件、第一定位驱动件以及第二定位驱动件，所述的第一定位驱动件设置在所述的主体框架上，所述的第二定位驱动件与所述的第一定位驱动件的输出轴连接，所述的定位件与所述的第二定位驱动件的输出轴连接，所述的第一定位驱动件用于驱动所述的第二定位驱动件沿竖直方向移动带动所述的定位件沿竖直方向移动，所述的第二定位驱动件用于驱动所述的定位件沿水平方向移动。
9.根据权利要求7所述的陶瓷盘翻转加热装置，其特征在于：所述的定位机构还包括传动组件，所述的传动组件设置在所述的主体框架上且位于所述的加热板的下方，所述的加热板上开设有贯穿其顶部和底部的通槽，所述的传动组件可沿竖直方向移动且其顶部可穿过所述的通槽并伸出所述的加热板的顶部。
10.根据权利要求9所述的陶瓷盘翻转加热装置，其特征在于：所述的传动组件包括传动支架、传动轮以及传动驱动件，所述的传动驱动件设置在所述的主体框架上，所述的传动支架的底部与所述的传动驱动件的输出轴连接，所述的传动轮可转动地设置在所述的传动支架的顶部，所述的传动驱动件用于驱动所述的传动支架沿竖直方向移动，带动所述的传动轮移动。
...【技术特征摘要】
1.一种陶瓷盘翻转加热装置，其特征在于：包括：
2.根据权利要求1所述的陶瓷盘翻转加热装置，其特征在于：所述的夹持组件包括一对夹爪，一对所述的夹爪分别设置在所述的转动板的相对两侧，一对所述的夹爪用于夹持或松开陶瓷盘。
3.根据权利要求2所述的陶瓷盘翻转加热装置，其特征在于：所述的夹持组件还包括夹持件，所述的夹持件设置在所述的转动板的一端，所述的夹持件上开设有卡槽，所述的卡槽朝向所述的转动板的另一端，所述的卡槽的形状与陶瓷盘的外周面的形状一致。
4.根据权利要求1所述的陶瓷盘翻转加热装置，其特征在于：所述的输送机构包括第一输送组件、第二输送组件，当所述的翻转机构处于第二状态时，所述的第一输送组件、第二输送组件分别位于所述的转动板的相对两侧。
5.根据权利要求4所述的陶瓷盘翻转加热装置，其特征在于：所述的第一输送组件包括多个沿水平方向分布的第一输送转轴、输送驱动件，每个所述的第一输送转轴的一端均设置有第一转动轮，所述的输送驱动件的输出轴上设置有驱动轮，所述的驱动轮与多个所述的第一转动轮之间通过第一输送带传动连接。
6.根据权利要求4所述的陶瓷盘翻转加热装置，其特征在于：所述的第二输送组件包括多个沿水平方向分布的第二输送转轴，每个所述的第二输送转轴的一端均设置有第二转动轮，多个所述的第二转动轮之间通过第二输送带传动连接。
7.根据权利要求1所述的陶瓷盘翻转加热装置，其特征在于：所述的装置还包括定位机构...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨杰，宋昌万，孔玉朋，蒋君，陈传磊，
申请(专利权)人：拓思精工科技苏州有限公司，
类型：新型
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