【技术实现步骤摘要】
本申请涉及半导体设备，具体涉及一种喷嘴工装。
技术介绍
1、在半导体工艺中的涂胶显影过程，光刻胶担当者重要作用，而由于光刻胶具有强腐蚀性等因素，需要做到涂胶工艺的良好密封性。目前喷嘴工装一般是采用多个零件或多段零件挤压组装或使用密封圈进行密封，在实际使用过程中会随时间和工艺流程，导致密封不严造成液体泄漏、流窜，影响涂胶显影工艺。
技术实现思路
1、有鉴于此，本说明书实施例提供一种喷嘴工装，实现了良好密封性，克服了密封不严造成液体泄漏、流窜等问题。
2、本说明书实施例提供以下技术方案：
3、提供一种喷嘴工装，包括喷嘴通道，所述喷嘴通道的一端设有周向密封部，所述周向密封部具有可与胶管压紧配合的周向凸起，所述喷嘴通道的另一端设有喷口，于所述喷口外围还设有用于保护所述喷口的周向圆筒部。
4、在一些实施例中，所述喷口、所述喷嘴通道与所述周向密封部一体成型。
5、在一些实施例中，所述周向凸起的材质与所述胶管的材质相同。
6、在一些实施例中，所述周向密封部的周向凸起的截面形状具有v型尖角结构，和/或，所述v型尖角结构的夹角为38°至42°。
7、在一些实施例中，所述周向圆筒部的高度大于或等于所述喷口的高度。
8、在一些实施例中，所述周向密封部压入所述胶管内与所述胶管的内壁压紧配合，所述胶管穿过转接件的通孔向上延伸。
9、在一些实施例中，所述转接件的通孔设有内螺纹，所述内螺纹与所述喷嘴通道的外壁设置的外
10、在一些实施例中，所述转接件的上部安装有固定件，所述胶管的上部由所述固定件固定。
11、与现有技术相比，本说明书实施例采用的上述至少一个技术方案能够达到的有益效果至少包括：
12、此种喷嘴工装的设置能够使得当周向密封部压入胶管后，周向密封部周向凸起与胶管内壁之间产生紧密的压紧配合，能够保障更严实的密封性，使得在涂胶显影工艺中光刻胶可以更高效地由胶管流至喷口处，避免因密封不紧密造成液体泄漏、流窜，并且保障良好密封性的同时，还具有便于安装、工装结构稳定性高的优势。
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1.一种喷嘴工装，其特征在于，包括喷嘴通道，所述喷嘴通道的一端设有周向密封部，所述周向密封部具有可与胶管压紧配合的周向凸起，所述喷嘴通道的另一端设有喷口，于所述喷口外围还设有用于保护所述喷口的周向圆筒部。
2.根据权利要求1所述的喷嘴工装，其特征在于，所述喷口、所述喷嘴通道与所述周向密封部一体成型。
3.根据权利要求1所述的喷嘴工装，其特征在于，所述周向凸起的材质与所述胶管的材质相同。
4.根据权利要求1所述的喷嘴工装，其特征在于，所述周向密封部的周向凸起的截面形状具有V型尖角结构，和/或，所述V型尖角结构的夹角为38°至42°。
5.根据权利要求1所述的喷嘴工装，其特征在于，所述周向圆筒部的高度大于或等于所述喷口的高度。
6.根据权利要求1至4任一项所述的喷嘴工装，其特征在于，所述周向密封部压入所述胶管内与所述胶管的内壁压紧配合，所述胶管穿过转接件的通孔向上延伸。
7.根据权利要求6所述的喷嘴工装，其特征在于，所述转接件的通孔设有内螺纹，所述内螺纹与所述喷嘴通道的外壁设置的外螺纹螺接。
8.根据
...【技术特征摘要】
1.一种喷嘴工装，其特征在于，包括喷嘴通道，所述喷嘴通道的一端设有周向密封部，所述周向密封部具有可与胶管压紧配合的周向凸起，所述喷嘴通道的另一端设有喷口，于所述喷口外围还设有用于保护所述喷口的周向圆筒部。
2.根据权利要求1所述的喷嘴工装，其特征在于，所述喷口、所述喷嘴通道与所述周向密封部一体成型。
3.根据权利要求1所述的喷嘴工装，其特征在于，所述周向凸起的材质与所述胶管的材质相同。
4.根据权利要求1所述的喷嘴工装，其特征在于，所述周向密封部的周向凸起的截面形状具有v型尖角结构，和/或，所述v型尖角结构...
【专利技术属性】
技术研发人员：温殿金，
申请(专利权)人：上海众鸿半导体设备有限公司，
类型：新型
国别省市：
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