【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体测试，具体涉及一种针测系统。
技术介绍
1、晶圆测试是半导体后段区分良品与不良品的第一道工序，主要目的是对晶圆中独立晶粒进行测试。晶圆测试是对晶圆上的每颗晶粒进行电性特性检测，以检测和淘汰晶圆上不合格晶粒。不合格的晶粒会被标上记号，而后当芯片依晶粒为单位切割成独立的晶粒时，标有记号的不合格晶粒会被淘汰，不再进行下一个制程，以免徒增制造成本。
2、晶圆测试的放置主要是通过探针台和测试机的配合使用，在测试过程中，测试机并不能直接对待测试晶圆进行量测，而是通过探针卡中的探针与晶圆上的焊垫(pad)或凸块(bump)接触而构成电性接触，再经由探针所测得的测试信号送往自动测试设备做分析与判断，取得晶圆上的每颗晶粒的电性特性测试结果，进而筛选出晶圆上电性与功能不良的晶粒。
3、测试机中包括测试机头，测试机头的内部设有高压探针头，当对晶圆进行高压测试时，通过按动旋钮将高压探针头下放与高压探针卡的接触点接触，实现高压测试信号传递。当对晶圆进行低压测试前，需按动旋钮使高压探针头上升，避免与低压探针卡接触。图1和图2分别示出了低压探针卡21和高压探针卡22的示意图。如图1和图2所示，低压探针卡21相较于高压探针卡22不同之处在于，低压探针卡21上设有向上延伸的金属柱211。当进行低压测试时，若高压探针头仍处于下放状态时，则高压探针头会与低压探针卡21的金属柱211碰撞，这会造成高压探针头的损坏。高压探针头一旦损坏，其维修时间长，维修费用高，且对产线产能影响较大。
技术实现思路<
1、针对现有技术中的问题，本专利技术的目的在于提供一种针测系统，可检测更换后的探针卡类型，防止高压探针头与低压探针卡相撞，减少高压探针头更换频率，降低高压探针头的维修频率，减少高压探针头的维修成本。
2、本专利技术实施例提供一种针测系统，包括：
3、探针台，包括盖板，所述盖板上设有一开口；
4、探针卡，置于所述开口内；
5、物体检测传感器，置于所述盖板上；所述物体检测传感器配置为沿第一方向发射光信号和接收光信号，以检测所述探针卡是否包括沿第二方向延伸设置的结构件；所述第一方向与所述第二方向垂直。
6、在一些实施例中，所述探针卡包括第一探针卡，所述第一探针卡包括沿第二方向延伸设置的金属柱。
7、在一些实施例中，所述物体检测传感器为光电传感器。
8、在一些实施例中，所述光电传感器包括发射器和接收器，所述发射器和所述接收器相对设置，且所述发射器的发射光线与所述金属柱、所述接收器的连接线在同一条直线上。
9、在一些实施例中，还包括载台，置于所述探针台的内部，所述载台用于承载待测试晶圆。
10、在一些实施例中，所述物体检测传感器置于所述盖板靠近所述载台的一面。
11、在一些实施例中，还包括测试机，置于所述探针卡远离所述载台的一侧，所述测试机通过所述探针卡以向所述待测试晶圆提供测试信号。
12、在一些实施例中，所述探针卡包括探针头、金属层及线路载板，所述探针头与所述金属层固定于所述线路载板。
13、在一些实施例中，还包括托盘，用于固定所述探针卡。
14、在一些实施例中，还包括移动装置，与所述载台连接，用于控制所述载台进行升降运动。
15、本专利技术所提供的针测系统具有如下优点：
16、本专利技术提供了一种针测系统，包括探针台、探针卡及物体检测传感器；所述探针台包括盖板，所述盖板上设有一开口；探针卡，置于所述开口内；所述物体检测传感器置于所述盖板上；所述物体检测传感器配置为沿第一方向发射光信号和接收光信号，以检测所述探针卡是否包括沿第二方向延伸设置的结构件。本专利技术通过设置物体检测传感器检测更换后的探针类型，防止高压探针头与低压探针卡相撞，减少高压探针头更换频率，降低高压探针头的维修频率，减少高压探针头的维修成本。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种针测系统，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的针测系统，其特征在于，所述探针卡包括第一探针卡，所述第一探针卡包括沿第二方向延伸设置的金属柱。
3.根据权利要求2所述的针测系统，其特征在于，所述物体检测传感器为光电传感器。
4.根据权利要求3所述的针测系统，其特征在于，所述光电传感器包括发射器和接收器，所述发射器和所述接收器相对设置，且所述发射器的发射光线与所述金属柱、所述接收器的连接线在同一条直线上。
5.根据权利要求4所述的针测系统，其特征在于，还包括载台，置于所述探针台的内部，所述载台用于承载待测试晶圆。
6.根据权利要求5所述的针测系统，其特征在于，所述物体检测传感器置于所述盖板靠近所述载台的一面。
7.根据权利要求6所述的针测系统，其特征在于，还包括测试机，置于所述探针卡远离所述载台的一侧，所述测试机通过所述探针卡以向所述待测试晶圆提供测试信号。
8.根据权利要求1所述的针测系统，其特征在于，所述探针卡包括探针头、金属层及线路载板，所述探针头与所述金属层固定于所述线路载板。
9.根据权利要求1所述的针测系统，其特征在于，还包括托盘，用于固定所述探针卡。
10.根据权利要求5所述的针测系统，其特征在于，还包括移动装置，与所述载台连接，用于控制所述载台进行升降运动。
...【技术特征摘要】
1.一种针测系统，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的针测系统，其特征在于，所述探针卡包括第一探针卡，所述第一探针卡包括沿第二方向延伸设置的金属柱。
3.根据权利要求2所述的针测系统，其特征在于，所述物体检测传感器为光电传感器。
4.根据权利要求3所述的针测系统，其特征在于，所述光电传感器包括发射器和接收器，所述发射器和所述接收器相对设置，且所述发射器的发射光线与所述金属柱、所述接收器的连接线在同一条直线上。
5.根据权利要求4所述的针测系统，其特征在于，还包括载台，置于所述探针台的内部，所述载台用于承载待测试晶圆。
6.根据权利要...
【专利技术属性】
技术研发人员：庞云康，邓攀，季鸣，曾上游，王欢，周勤军，李振峰，曹辉，邢小柳，提静，
申请(专利权)人：上海积塔半导体有限公司，
类型：发明
国别省市：
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