【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及曝光装置、曝光方法、平板显示器的制造方法以及曝光数据生成方法。本申请基于2021年7月5日申请的日本国特愿2021-111848号主张优先权，并在此援用其内容。
技术介绍
1、以往，作为经由光学系统向基板照射照明光的曝光装置，已知有如下曝光装置：使利用空间光调制器调制的光通过投影光学系统，使由该光所得的像在涂布于基板的抗蚀剂上成像而进行曝光(例如参照专利文献1)。
2、现有技术文献
3、专利文献
4、专利文献1：日本国特开2005-266779号公报
技术实现思路
1、根据本专利技术的第1方式，提供一种曝光装置，其具备：具有多个元件的多个空间光调制器；照明光学系统，其通过脉冲光对上述多个空间光调制器进行照明；多个投影光学系统，其将从上述空间光调制器射出的光照射到曝光对象；供上述曝光对象载置的载台；以及控制部，其将上述多个元件切换为将上述脉冲光引导至上述投影光学系统的第1状态、和不将上述脉冲光引导至上述投影光学系统的第2状态，上述载台一边通过多个上述投影光学系统使扫描曝光视野重叠一边使上述曝光对象沿预定的扫描方向移动，由此照射到上述曝光对象的光在上述曝光对象上进行扫描，上述控制部在曝光中对上述多个元件的上述第1状态和上述第2状态进行切换，以经由上述投影光学系统照射到重叠部的上述脉冲光的数量比经由上述投影光学系统照射到非重叠部的上述脉冲光的数量多的方式，控制上述多个元件，其中，上述重叠部是上述曝光对象上重叠地受到曝光的部分，上述非重叠部
2、根据本专利技术的第2方式，提供一种曝光方法，是使用上述曝光装置对曝光对象进行曝光的方法，上述载台一边通过多个上述投影光学系统使扫描曝光视野重叠一边使上述曝光对象沿预定的扫描方向移动，由此照射到上述曝光对象的光在上述曝光对象上进行扫描，此时，在曝光中对上述多个元件的上述第1状态和上述第2状态进行切换，以经由上述投影光学系统照射到重叠部的上述脉冲光的数量比经由上述投影光学系统照射到非重叠部的上述脉冲光的数量多的方式，控制上述多个元件，其中，上述重叠部是上述曝光对象上重叠地受到曝光的部分，上述非重叠部是上述曝光对象上非重叠地受到曝光的部分。
3、根据本专利技术的第3方式，提供一种平板显示器的制造方法，包括：通过上述曝光方法对曝光对象进行曝光；和对经曝光的上述曝光对象进行显影。
4、根据本专利技术的第4方式，提供一种曝光数据生成方法，在曝光装置中使用，上述曝光装置具备：具有多个元件的多个空间光调制器；照明光学系统，其通过脉冲光对上述多个空间光调制器进行照明；多个投影光学系统，其将从上述空间光调制器射出的光照射到曝光对象；供上述曝光对象载置的载台；以及控制部，其将上述多个元件切换为将上述脉冲光引导至上述投影光学系统的第1状态、和不将上述脉冲光引导至上述投影光学系统的第2状态，上述载台一边通过多个上述投影光学系统使扫描曝光视野重叠一边使上述曝光对象沿预定的扫描方向移动，由此照射到上述曝光对象的光在上述曝光对象上进行扫描，上述曝光数据生成方法生成以下的曝光数据：在曝光中对上述多个元件的上述第1状态和上述第2状态进行切换，以经由上述投影光学系统照射到重叠部的上述脉冲光的数量比经由上述投影光学系统照射到非重叠部的上述脉冲光的数量多的方式，控制上述多个元件，其中，上述重叠部是上述曝光对象上重叠地受到曝光的部分，上述非重叠部是上述曝光对象上非重叠地受到曝光的部分。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种曝光装置，具备：
2.一种曝光方法，是使用权利要求1所述的曝光装置对曝光对象进行曝光的方法，其中，
3.一种平板显示器的制造方法，包括：
4.一种曝光数据生成方法，在曝光装置中使用，所述曝光装置具备：具有多个元件的多个空间光调制器；照明光学系统，其通过脉冲光对所述多个空间光调制器进行照明；多个投影光学系统，其将从所述空间光调制器射出的光照射到曝光对象；供所述曝光对象载置的载台；以及控制部，其将所述多个元件切换为将所述脉冲光引导至所述投影光学系统的第1状态、和不将所述脉冲光引导至所述投影光学系统的第2状态，所述载台一边通过多个所述投影光学系统使扫描曝光视野重叠一边使所述曝光对象沿预定的扫描方向移动，由此照射到所述曝光对象的光在所述曝光对象上进行扫描，
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种曝光装置，具备：
2.一种曝光方法，是使用权利要求1所述的曝光装置对曝光对象进行曝光的方法，其中，
3.一种平板显示器的制造方法，包括：
4.一种曝光数据生成方法，在曝光装置中使用，所述曝光装置具备：具有多个元件的多个空间光调制器；照明光学系统，其通过脉冲光对所述多个空间光调制器进行照明；多个投影光学系统...
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