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曝光装置具备照明光学系统、被来自照明光学系统的光照明的多个空间光调制器、将从空间光调制器射出的光照射到曝光对象的多个投影光学系统、和供曝光对象载置的载台。载台一边通过多个投影光学系统使扫描曝光视野重叠一边使曝光对象沿预定的扫描方向移动，由此...
该专利属于株式会社尼康所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社尼康授权不得商用。

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