【技术实现步骤摘要】
本技术涉及真空镀膜机，具体为一种真空镀膜镀件除尘装置。
技术介绍
1、真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空电阻加热蒸发，电子枪加热蒸发，磁控溅射，mbe分子束外延，pld激光溅射沉积，离子束溅射等很多种,主要思路是分成蒸发和溅射两种，目前的真空镀膜机在对待镀膜件，或者称为基片，进行镀膜时，需要待镀膜件的待镀膜表面保持无尘状态，因此需要一种真空镀膜镀件除尘装置。
2、现有的技术公开号为cn217757619u的专利文献中提供一种真空镀膜镀件除尘装置，包括外壳、基片放置板、固定板、滑动块、平移单元、横臂、摆动杆，所述摆动杆下端设有吸气管，所述吸气管通过管路与外部负压设备贯通，所述吸气管由摆动单元驱动其沿与横臂的铰接处摆动。通过外部负压设备工作产生负压，经由吸气管能够对基片放置板上放置的镀件表面进行吸气除尘，另外通过平移单元驱动滑动块水平移动，进而使得吸气管的吸气范围能够扩大，此外，通过摆动单元驱动吸气管进行往复摆动，这样使得吸气管的吸气除尘范围能够进一步扩大，进而提高除尘效率，但是cn217757619u技术在进行操作时，无法高效的对需要镀膜的物品表面进行除尘操作，同时无法在电机上的轴带动内部工件除尘时保证镀膜机真空状态工作的问题，为此急需一种真空镀膜镀件除尘装置。
技术实现思路
1、基于此，本技术的目的是提供一种真空镀膜镀件除尘装置，以解决现有的真空镀膜镀件除尘装置在使用的时候，无法高效的对需要镀膜的物品表面进行除尘操作，同时无法在
2、为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种真空镀膜镀件除尘装置，包括电机舱主体、辅助机构、支撑机构和除尘机构，所述电机舱主体下端安装有镀膜机，所述镀膜机一端安装有辅助机构,所述辅助机构包括套轴管、外封圈、密封垫和内封圈，所述镀膜机一端安装有套轴管，所述套轴管外端安装有外封圈，所述外封圈内端安装有密封垫，所述套轴管一端安装有内封圈。
3、所述镀膜机内端安装有支撑机构。
4、所述支撑机构一端安装有除尘机构。
5、优选地，所述内封圈与套轴管螺纹连接，且内封圈上端表面与镀膜机内端表面紧密贴合。
6、优选地，所述支撑机构包括贴舱环、滑轨和支力架，所述镀膜机内端安装有贴舱环，所述贴舱环内端开设有滑轨，所述滑轨内端安装有支力架。
7、优选地，所述贴舱环与镀膜机螺纹连接，且支力架通过滑轨与贴舱环构成滑动结构。
8、优选地，所述除尘机构包括滑槽、伸缩杆、滑块、微弹立棒和静电绒套，所述支力架内端开设有滑槽，所述滑槽内端安装有伸缩杆，所述伸缩杆一端安装有滑块，所述滑块下端安装有微弹立棒，所述微弹立棒外端套设有静电绒套。
9、优选地，所述微弹立棒通过伸缩杆与支力架构成伸缩结构，且支力架的外端表面与静电绒套的内端表面紧密贴合。
10、与现有技术相比，本技术的有益效果是：
11、1、本技术通过设置的电机舱主体、镀膜机、支撑机构和除尘机构，可以通过装置中安装有的电机舱主体内的电机启动工作带动支力架在贴舱环上开设的滑轨内进行旋转，此时支力架内的滑块带动微弹立棒和静电绒套旋转，随着安装于镀膜机中心端的需要镀膜的工件的表面进行逐一清扫，因为伸缩杆的作用力，使得微弹立棒上的静电绒套能均匀的接触每个需要镀膜的工件表面，而微弹立棒也具有微弹的效果，能充分保护工件在清扫时不被损坏和位移，并且静电绒套运动过程产生静电能同时对工件表面灰尘进行吸附和清扫的工作，提升装置的除尘效率；
12、2、本技术通过设置的电机舱主体、镀膜机和辅助机构，可以通过装置中安装有的套轴管套设在电机舱主体内工作电机与支力架连接轴上，并且套轴管穿过镀膜机上端的开孔之后，再操作外封圈与内封圈同时向镀膜机开孔处旋扭至最紧，由于密封圈的作用力，当电机上的轴带动支力架转动进行除尘工作时，能保障镀膜机内部的真空效果，提升装置的密封性。
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1.一种真空镀膜镀件除尘装置，包括电机舱主体(1)、辅助机构(3)、支撑机构(4)和除尘机构(5)，其特征在于：所述电机舱主体(1)下端安装有镀膜机(2)，所述镀膜机(2)一端安装有辅助机构(3),所述辅助机构(3)包括套轴管(301)、外封圈(302)、密封垫(303)和内封圈(304)，所述镀膜机(2)一端安装有套轴管(301)，所述套轴管(301)外端安装有外封圈(302)，所述外封圈(302)内端安装有密封垫(303)，所述套轴管(301)一端安装有内封圈(304)；
2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜镀件除尘装置，其特征在于：所述内封圈(304)与套轴管(301)螺纹连接，且内封圈(304)上端表面与镀膜机(2)内端表面紧密贴合。
3.根据权利要求1所述的一种真空镀膜镀件除尘装置，其特征在于：所述支撑机构(4)包括贴舱环(401)、滑轨(402)和支力架(403)，所述镀膜机(2)内端安装有贴舱环(401)，所述贴舱环(401)内端开设有滑轨(402)，所述滑轨(402)内端安装有支力架(403)。
4.根据权利要求3所述的一种真空
5.根据权利要求3所述的一种真空镀膜镀件除尘装置，其特征在于：所述除尘机构(5)包括滑槽(501)、伸缩杆(502)、滑块(503)、微弹立棒(504)和静电绒套(505)，所述支力架(403)内端开设有滑槽(501)，所述滑槽(501)内端安装有伸缩杆(502)，所述伸缩杆(502)一端安装有滑块(503)，所述滑块(503)下端安装有微弹立棒(504)，所述微弹立棒(504)外端套设有静电绒套(505)。
6.根据权利要求5所述的一种真空镀膜镀件除尘装置，其特征在于：所述微弹立棒(504)通过伸缩杆(502)与支力架(403)构成伸缩结构，且支力架(403)的外端表面与静电绒套(505)的内端表面紧密贴合。
...【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜镀件除尘装置，包括电机舱主体(1)、辅助机构(3)、支撑机构(4)和除尘机构(5)，其特征在于：所述电机舱主体(1)下端安装有镀膜机(2)，所述镀膜机(2)一端安装有辅助机构(3),所述辅助机构(3)包括套轴管(301)、外封圈(302)、密封垫(303)和内封圈(304)，所述镀膜机(2)一端安装有套轴管(301)，所述套轴管(301)外端安装有外封圈(302)，所述外封圈(302)内端安装有密封垫(303)，所述套轴管(301)一端安装有内封圈(304)；
2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜镀件除尘装置，其特征在于：所述内封圈(304)与套轴管(301)螺纹连接，且内封圈(304)上端表面与镀膜机(2)内端表面紧密贴合。
3.根据权利要求1所述的一种真空镀膜镀件除尘装置，其特征在于：所述支撑机构(4)包括贴舱环(401)、滑轨(402)和支力架(403)，所述镀膜机(2)内端安装有贴舱环(401)，所述贴舱环(401)内端开设有滑轨...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨桂锋，王飞，段崇军，姚志云，吴俊杰，
申请(专利权)人：桓宇时代江苏纳米科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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