【技术实现步骤摘要】
本技术属于磁控溅射镀膜设备，具体涉及一种溅射角度调节机构及柔性溅射靶。
技术介绍
1、随着薄膜器件性能的不断提升，对磁控溅射膜层的要求也越来越高。多腔群集式磁控镀膜设备可避免各靶材之间的交叉污染，但是成本昂贵。为节省成本，在一个工艺腔室内集成多个磁控溅射靶的镀膜设备代替多腔群集式磁控镀膜设备的方法被不断采用。该方法将多个溅射靶设于同一工艺腔室内，各溅射靶可共溅射，制膜种类广泛，可制备多组分薄膜。多靶共焦溅射时，各溅射靶向同一中心偏转一定角度。为保证设备溅射膜层的均匀性，需对溅射靶的溅射角度进行调节。现有常见的柔性溅射靶靶调节溅射角度较为麻烦，调节精度也不够，而且设备经过长时间的工作，由于不可避免会存在震动，导致溅射靶的溅射角度有时会有轻微变化，从而影响了设备溅射膜层均匀性。
技术实现思路
1、本技术要解决的技术问题是克服现有柔性溅射靶靶溅射角度调节精度不足、稳定性不够、调整不便等不足，提供一种结构紧凑、装调方便、角度调节精准的溅射角度调节机构及柔性溅射靶。
2、为解决上述技术问题，本技术采用以下技术方案：
3、一种溅射角度调节机构，所述溅射角度调节机构的两端分别连接溅射靶的调节管和靶头安装管；所述溅射角度调节机构包括：第一调节杆、第二调节杆和伸缩式的调节螺杆组件；所述第一调节杆的一端与靶头安装管固定连接，第一调节杆的另一端与调节螺杆组件转动连接；所述第二调节杆的一端与调节管固定连接，第二调节杆的另一端与调节螺杆组件转动连接；调节管与靶头安装管转动连接；所述第
4、作为本技术的进一步改进，所述调节螺杆组件包括：第一调节螺杆和调节螺母，所述第一调节螺杆的一端与第一调节杆转动连接，第一调节螺杆的另一端与调节螺母的一端螺纹连接，调节螺母的另一端与第二调节杆转动连接；转动调节螺母以调整第一调节螺杆在调节螺母上的连接长度，以实现调节螺杆组件整体伸长或收缩，进而改变调节管与靶头安装管之间的夹角，实现溅射靶的溅射角度调整。
5、作为本技术的进一步改进，所述调节螺杆组件还包括第二调节螺杆，所述第二调节螺杆的一端与第二调节杆转动连接，第二调节螺杆的另一端与调节螺母螺纹连接；转动调节螺母以调整第二调节螺杆在调节螺母上的连接长度，以实现调节螺杆组件整体伸长或收缩，进而改变调节管与靶头安装管之间的夹角，实现溅射靶的溅射角度调整。
6、作为本技术的进一步改进，所述调节螺杆组件还包括：第一转轴销和第一轴用挡圈，所述第一转轴销和第一轴用挡圈用于实现第一调节螺杆与第一调节杆转动连接。
7、作为本技术的进一步改进，所述调节螺杆组件还包括：第二轴用挡圈和第二转轴销，所述第二轴用挡圈和第二转轴销用于实现第二调节螺杆与第二调节杆转动连接。
8、作为本技术的进一步改进，所述调节螺杆组件还包括：第一锁紧螺母和第二锁紧螺母，所述第一锁紧螺母位于第一调节螺杆与调节螺母之间，用于锁紧第一调节螺杆，所述第二锁紧螺母位于第二调节螺杆与调节螺母之间，用于锁紧第二调节螺杆。
9、作为本技术的进一步改进，还包括第一管夹和第二管夹，所述第一管夹用于连接调节管，第二调节杆与第一管夹固定连接，所述第二管夹用于连接靶头安装管，第一调节杆与第二管夹固定连接。
10、作为本技术的进一步改进，还包括指针盘和刻度盘，指针盘设置在调节管的端部，刻度盘设置在靶头安装管的端部，且指针盘和刻度盘位于调节管与靶头安装管的连接处，通过指针盘与刻度盘的配合，以显示溅射靶的溅射角度。
11、作为一个总的技术构思，本技术还提供了一种柔性溅射靶，溅射靶的调节管和靶头安装管分别连接上述的溅射角度调节机构的两端，且调节管与靶头安装管转动连接，通过溅射角度调节机构调节调节管与靶头安装管之间的夹角，即实现溅射靶的溅射角度调节。
12、与现有技术相比，本技术的优点在于：
13、1、本技术溅射角度调节机构，通过将溅射角度调节机构的两端分别连接溅射靶的调节管和靶头安装管，调节管与靶头安装管之间进行转动连接，溅射角度调节机构由第一调节杆、第二调节杆和伸缩式的调节螺杆组件组成，调节螺杆组件的两端分别连接第一调节杆和第二调节杆，第一调节杆又与靶头安装管连接，第二调节杆又与调节管连接，第一调节杆、第二调节杆、调节管、靶头安装管和调节螺杆组件最终形成了五连杆机构，而且第一调节杆、第二调节杆、调节管和靶头安装管彼此之间的距离是固定不变的，因此，通过调整调节螺杆组件伸长或收缩，也就实现了改变调节管与靶头安装管之间夹角，最终实现了溅射靶的溅射角度调整，具有结构紧凑、装调方便、稳定性高、调节精度高等优点，很好地解决了现有柔性溅射靶溅射角度调节精度低、稳定性差、调节操作复杂等问题。
14、2、本技术柔性溅射靶，包含了上述的溅射角度调节机构，因而具有同样的优点。
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1.一种溅射角度调节机构，其特征在于，所述溅射角度调节机构(100)的两端分别连接溅射靶(200)的调节管(12)和靶头安装管(17)；所述溅射角度调节机构(100)包括：第一调节杆(1)、第二调节杆(11)和伸缩式的调节螺杆组件；所述第一调节杆(1)的一端与靶头安装管(17)固定连接，第一调节杆(1)的另一端与调节螺杆组件转动连接；所述第二调节杆(11)的一端与调节管(12)固定连接，第二调节杆(11)的另一端与调节螺杆组件转动连接；调节管(12)与靶头安装管(17)转动连接；所述第一调节杆(1)、第二调节杆(11)、调节管(12)、靶头安装管(17)和调节螺杆组件组成五连杆机构，调整调节螺杆组件伸长或收缩，以改变调节螺杆组件的整体长度，进而改变调节管(12)与靶头安装管(17)之间的夹角，实现溅射靶(200)的溅射角度调整。
2.根据权利要求1所述的溅射角度调节机构，其特征在于，所述调节螺杆组件包括：第一调节螺杆(4)和调节螺母(6)，所述第一调节螺杆(4)的一端与第一调节杆(1)转动连接，第一调节螺杆(4)的另一端与调节螺母(6)的一端螺纹连接，调节螺母(6)的
3.根据权利要求2所述的溅射角度调节机构，其特征在于，所述调节螺杆组件还包括第二调节螺杆(8)，所述第二调节螺杆(8)的一端与第二调节杆(11)转动连接，第二调节螺杆(8)的另一端与调节螺母(6)螺纹连接；转动调节螺母(6)以调整第二调节螺杆(8)在调节螺母(6)上的连接长度，以实现调节螺杆组件整体伸长或收缩，进而改变调节管(12)与靶头安装管(17)之间的夹角，实现溅射靶(200)的溅射角度调整。
4.根据权利要求3所述的溅射角度调节机构，其特征在于，所述调节螺杆组件还包括：第一转轴销(2)和第一轴用挡圈(3)，所述第一转轴销(2)和第一轴用挡圈(3)用于实现第一调节螺杆(4)与第一调节杆(1)转动连接。
5.根据权利要求4所述的溅射角度调节机构，其特征在于，所述调节螺杆组件还包括：第二轴用挡圈(9)和第二转轴销(10)，所述第二轴用挡圈(9)和第二转轴销(10)用于实现第二调节螺杆(8)与第二调节杆(11)转动连接。
6.根据权利要求3所述的溅射角度调节机构，其特征在于，所述调节螺杆组件还包括：第一锁紧螺母(5)和第二锁紧螺母(7)，所述第一锁紧螺母(5)位于第一调节螺杆(4)与调节螺母(6)之间，用于锁紧第一调节螺杆(4)，所述第二锁紧螺母(7)位于第二调节螺杆(8)与调节螺母(6)之间，用于锁紧第二调节螺杆(8)。
7.根据权利要求1至6中任意一项所述的溅射角度调节机构，其特征在于，还包括第一管夹(13)和第二管夹(16)，所述第一管夹(13)用于连接调节管(12)，第二调节杆(11)与第一管夹(13)固定连接，所述第二管夹(16)用于连接靶头安装管(17)，第一调节杆(1)与第二管夹(16)固定连接。
8.根据权利要求7所述的溅射角度调节机构，其特征在于，还包括指针盘(14)和刻度盘(15)，指针盘(14)设置在调节管(12)的端部，刻度盘(15)设置在靶头安装管(17)的端部，且指针盘(14)和刻度盘(15)位于调节管(12)与靶头安装管(17)的连接处，通过指针盘(14)与刻度盘(15)的配合，以显示溅射靶(200)的溅射角度。
9.一种柔性溅射靶，其特征在于，溅射靶(200)的调节管(12)和靶头安装管(17)分别连接权利要求1至8中任意一项所述的溅射角度调节机构(100)的两端，且调节管(12)与靶头安装管(17)转动连接，通过溅射角度调节机构(100)调节调节管(12)与靶头安装管(17)之间的夹角，即实现溅射靶(200)的溅射角度调节。
...【技术特征摘要】
1.一种溅射角度调节机构，其特征在于，所述溅射角度调节机构(100)的两端分别连接溅射靶(200)的调节管(12)和靶头安装管(17)；所述溅射角度调节机构(100)包括：第一调节杆(1)、第二调节杆(11)和伸缩式的调节螺杆组件；所述第一调节杆(1)的一端与靶头安装管(17)固定连接，第一调节杆(1)的另一端与调节螺杆组件转动连接；所述第二调节杆(11)的一端与调节管(12)固定连接，第二调节杆(11)的另一端与调节螺杆组件转动连接；调节管(12)与靶头安装管(17)转动连接；所述第一调节杆(1)、第二调节杆(11)、调节管(12)、靶头安装管(17)和调节螺杆组件组成五连杆机构，调整调节螺杆组件伸长或收缩，以改变调节螺杆组件的整体长度，进而改变调节管(12)与靶头安装管(17)之间的夹角，实现溅射靶(200)的溅射角度调整。
2.根据权利要求1所述的溅射角度调节机构，其特征在于，所述调节螺杆组件包括：第一调节螺杆(4)和调节螺母(6)，所述第一调节螺杆(4)的一端与第一调节杆(1)转动连接，第一调节螺杆(4)的另一端与调节螺母(6)的一端螺纹连接，调节螺母(6)的另一端与第二调节杆(11)转动连接；转动调节螺母(6)以调整第一调节螺杆(4)在调节螺母(6)上的连接长度，以实现调节螺杆组件整体伸长或收缩，进而改变调节管(12)与靶头安装管(17)之间的夹角，实现溅射靶(200)的溅射角度调整。
3.根据权利要求2所述的溅射角度调节机构，其特征在于，所述调节螺杆组件还包括第二调节螺杆(8)，所述第二调节螺杆(8)的一端与第二调节杆(11)转动连接，第二调节螺杆(8)的另一端与调节螺母(6)螺纹连接；转动调节螺母(6)以调整第二调节螺杆(8)在调节螺母(6)上的连接长度，以实现调节螺杆组件整体伸长或收缩，进而改变调节管(12)与靶头安装管(17)之间的夹角，实现溅射靶(200)的溅射角度调整。
4.根据权利要求3所述的溅射角度调节机构，其特征...
【专利技术属性】
技术研发人员：何秋福，龚俊，范江华，刘杰，
申请(专利权)人：中国电子科技集团公司第四十八研究所，
类型：新型
国别省市：
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