【技术实现步骤摘要】
本公开涉及一种包括图案化抗反射层的图像传感器及包括该图像传感器的电子装置。
技术介绍
1、图像传感器通常通过使用滤色器来感测入射光的颜色。然而，由于滤色器吸收除了对应颜色的光以外的颜色的光，因此可能会减小光使用效率。例如，当使用rgb滤色器时，由于rgb滤色器仅透射1/3的入射光并吸收其余2/3的入射光，因此光使用效率仅为约33％。因此，在彩色显示设备或彩色图像传感器中，大多数光损耗发生在滤色器中。此外，由于图像传感器包括具有不同折射率的若干层，因此入射光可能会从层之间的边界反射。为了增加图像传感器的光使用效率，图像传感器可以相对于入射光具有低反射率。
技术实现思路
1、一个或多个示例实施例提供了一种包括图案化抗反射层的图像传感器。
2、此外，一个或多个示例实施例提供了一种包括图像传感器的电子装置。
3、附加方面部分地将在接下来的描述中阐述，且部分地将通过该描述而变得清楚明白，或者可以通过实践本公开所呈现的实施例而获知。
4、根据本公开的一方面，一种图像传感器包括：传感器衬底，包括多个第一像素和多个第二像素，多个第一像素被配置为感测具有第一波长的光，多个第二像素被配置为感测具有不同于第一波长的第二波长的光；纳米光子透镜阵列，具有光入射表面，并且包括多个纳米结构，多个纳米结构被配置为将入射光会聚到多个第一像素和多个第二像素上；以及抗反射层，设置在纳米光子透镜阵列的光入射表面上，并且包括周期性地且二维地布置的多个孔，其中，多个孔包括：多个第一孔，设置
5、多个第一孔中的每个第一孔的中心位于第一像素和与第一像素相邻的第二像素之间的边界上方。
6、多个孔中的每一个可以具有相同的宽度。
7、多个第二孔中的面向第一像素的第二孔可以具有第一宽度，多个第二孔中的面向第二像素的第二孔可以具有不同于第一宽度的第二宽度，并且多个第一孔可以具有第一宽度或第二宽度。
8、多个孔中的相邻孔之间的距离可以相同。
9、第一波长可以大于第二波长，并且第一宽度可以小于第二宽度。
10、抗反射层的平均折射率可以大于空气的折射率并且小于纳米光子透镜阵列的平均折射率。
11、抗反射层可以包括：第一抗反射层，设置在纳米光子透镜阵列的光入射表面上；以及第二抗反射层，设置在第一抗反射层上，并且第二抗反射层可以被图案化以包括多个孔。
12、第一抗反射层可以具有第一折射率，第二抗反射层具有第二折射率，并且第一折射率可以高于第二折射率。
13、第一抗反射层可以至少部分地被图案化以包括多个孔。
14、抗反射层可以包括折射率等于或大于约1且等于或小于约3的无机材料。
15、纳米光子透镜阵列可以包括面向多个第一像素的多个第一透镜以及面向多个第二像素的多个第二透镜，并且多个纳米结构可以被配置为将入射在多个透镜中的第一透镜上的入射光和入射在多个透镜中的第二透镜的至少一部分上的入射光中的第一波长的光会聚到第一像素，并且将入射在第二透镜上的入射光和入射在第一透镜的至少一部分上的入射光中的第二波长的光会聚到第二像素。
16、图像传感器还可以包括：滤色器层，设置在传感器衬底和纳米光子透镜阵列之间；以及平坦化层，设置在滤色器层和纳米光子透镜阵列之间。
17、多个第一像素和多个第二像素中的每一个可以包括多个光敏单元，多个光敏单元在第一方向和垂直于第一方向的第二方向上被组合和二维地布置，并且独立地感测入射光，并且传感器衬底可以包括将多个光敏单元彼此电隔离的隔离层。
18、多个第二孔可以布置为不面向隔离层。
19、根据本公开的一方面，一种电子装置包括：透镜组件，被配置为形成对象的光学图像；图像传感器，被配置为将由透镜组件形成的光学图像转换为电信号；以及处理器，被配置为处理由图像传感器生成的电信号，其中，图像传感器包括：传感器衬底，包括多个第一像素和多个第二像素，多个第一像素被配置为感测具有第一波长的光，多个第二像素被配置为感测具有不同于第一波长的第二波长的光；纳米光子透镜阵列，具有光入射表面，并且包括多个纳米结构，多个纳米结构被布置为将入射光会聚到多个第一像素和多个第二像素上；以及抗反射层，设置在纳米光子透镜阵列的光入射表面上，并且包括周期性地且二维地布置的多个孔，其中，多个孔包括：多个第一孔，设置在与彼此相邻的以下二者之间的边界相对应的位置处：多个第一像素中的第一像素，和多个第二像素中的第二像素；以及多个第二孔，面向多个第一像素中的第一像素或多个第二像素中的第二像素中的至少一个的内部区域。
20、根据本公开的一方面，一种图像传感器包括：传感器衬底，包括第一像素、第二像素和隔离层，第一像素被配置为感测第一波长的光，第二像素被配置为感测不同于第一波长的第二波长的光，隔离层将第一像素和第二像素中的每一个划分为多个光敏单元；纳米光子透镜阵列，具有光入射表面，并且包括多个纳米结构，多个纳米结构被配置为将入射光会聚到第一像素和第二像素上；以及抗反射层，设置在纳米光子透镜阵列的光入射表面上，其中，第一像素和第二像素中的每一个包括边缘区域和内部区域，并且抗反射层包括多个孔，多个孔面向第一像素和第二像素中的每一个的内部区域，而不面向隔离层。
21、传感器衬底还具有包括所述第一像素在内的多个第一像素和包括所述第二像素在内的多个第二像素，并且抗反射层还可以包括多个孔，多个孔布置在面向彼此相邻的以下二者之间的边界的位置处：多个第一像素中的第一像素，和多个第二像素中的第二像素。
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1.一种图像传感器，包括：
2.根据权利要求1所述的图像传感器，其中，所述多个第一孔中的每个第一孔的中心位于所述第一像素和与所述第一像素相邻的所述第二像素之间的边界上方。
3.根据权利要求1所述的图像传感器，其中，所述多个孔中的每个孔具有相同的宽度。
4.根据权利要求1所述的图像传感器，其中，所述多个第二孔中的面向所述第一像素的第二孔具有第一宽度，
5.根据权利要求4所述的图像传感器，其中，所述多个孔中的相邻孔之间的距离相同。
6.根据权利要求4所述的图像传感器，其中，所述第一波长大于所述第二波长，并且所述第一宽度小于所述第二宽度。
7.根据权利要求1所述的图像传感器，其中，所述抗反射层的平均折射率大于空气的折射率并且小于所述纳米光子透镜阵列的平均折射率。
8.根据权利要求1所述的图像传感器，其中，所述抗反射层包括：
9.根据权利要求8所述的图像传感器，其中，所述第一抗反射层具有第一折射率，所述第二抗反射层具有第二折射率，并且所述第一折射率高于所述第二折射率。
10.根据权
11.根据权利要求1所述的图像传感器，其中，所述抗反射层包括折射率等于或大于约1且等于或小于约3的无机材料。
12.根据权利要求1所述的图像传感器，其中，所述纳米光子透镜阵列包括面向所述多个第一像素的多个第一透镜以及面向所述多个第二像素的多个第二透镜，并且
13.根据权利要求1所述的图像传感器，还包括：
14.根据权利要求1所述的图像传感器，其中，所述多个第一像素和所述多个第二像素中的每一个包括多个光敏单元，所述多个光敏单元在第一方向和垂直于所述第一方向的第二方向上被合成一组和二维地布置，并且独立地感测所述入射光，并且
15.根据权利要求14所述的图像传感器，其中，所述多个第二孔布置为不面向所述隔离层。
16.根据权利要求1所述的图像传感器，其中，所述多个第一像素中的各个第一像素和所述多个第二像素中的各个第二像素包括边缘区域和内部区域，
17.一种电子装置，包括：
18.一种图像传感器，包括：
19.根据权利要求18所述的图像传感器，其中，所述传感器衬底还具有包括所述第一像素在内的多个第一像素和包括所述第二像素在内的多个第二像素，并且
...【技术特征摘要】
1.一种图像传感器，包括：
2.根据权利要求1所述的图像传感器，其中，所述多个第一孔中的每个第一孔的中心位于所述第一像素和与所述第一像素相邻的所述第二像素之间的边界上方。
3.根据权利要求1所述的图像传感器，其中，所述多个孔中的每个孔具有相同的宽度。
4.根据权利要求1所述的图像传感器，其中，所述多个第二孔中的面向所述第一像素的第二孔具有第一宽度，
5.根据权利要求4所述的图像传感器，其中，所述多个孔中的相邻孔之间的距离相同。
6.根据权利要求4所述的图像传感器，其中，所述第一波长大于所述第二波长，并且所述第一宽度小于所述第二宽度。
7.根据权利要求1所述的图像传感器，其中，所述抗反射层的平均折射率大于空气的折射率并且小于所述纳米光子透镜阵列的平均折射率。
8.根据权利要求1所述的图像传感器，其中，所述抗反射层包括：
9.根据权利要求8所述的图像传感器，其中，所述第一抗反射层具有第一折射率，所述第二抗反射层具有第二折射率，并且所述第一折射率高于所述第二折射率。
10.根据权利要求8所述的图像传感器，其中，所述第一抗反射层至少部分地被图案化以包括所...
【专利技术属性】
技术研发人员：文祥银，卢淑英，安城模，朴贤圣，尹鉐皓，李相润，李俊虎，赵春来，
申请(专利权)人：三星电子株式会社，
类型：发明
国别省市：
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