【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体加工，尤其涉及一种电极装置及热炉。
技术介绍
1、管式pecvd(plasma enhanced chemical vapor deposition，等离子体增强化学的气相沉积)设备是利用射频电源放电来电离工艺气体从而实现镀膜功能，石墨舟设计成相邻的两个舟片互为正负极结构，因此，只需要将射频电源的正负电极引入石墨舟上就能实现放电，常规的做法有以下两种：
2、射频电源的正电极杆和负电极杆分别安装在热炉反应室的炉尾板上，正电极杆和负电极杆伸入反应室内呈悬臂状态，石墨舟进舟时，推舟结构以高位匀速进舟，直到正电极杆和负电极杆分别插入石墨舟的电极孔，走到设定位置后，再继续下行，石墨舟带着射频电源的正电极杆以及负极电极杆一起下行，直到石墨舟落在反应室内的支撑杆上，然后推舟节后继续下行，直至脱离石墨舟后再退出反应室。高位对电极方式对正电极杆和负电极杆本身的弹性要求较高，而且在400℃左右的温度下正电极杆和负电极杆容易产生永久变形，从而引起正电极杆和负电极杆的位置偏差，出现石墨舟对不上正电极杆和负电极杆的情况。另一方面，由于正电极杆和负电极杆的中心与工艺时的石墨舟电极孔有高度差，工艺时容易打弧，影响硅片镀膜效果，且正电极杆和负电极杆打弧的位置容易断裂，缩短了正电极杆和负电极杆的使用寿命。也降低了设备的可靠性。
3、射频电源的正极和负极分别安装在热炉反应室的炉尾板上，并将正极和负极分别引入用于支撑石墨舟的支撑组件，支撑组件上设置有与石墨舟脚相对应的石墨舟座，石墨舟座通过连接组件与正极和负极电连接。这种结构在
4、因此，亟需提出一种维护方便，工艺进行过程中，不容易出现打弧现象，保证片材工艺效果的电极装置。
技术实现思路
1、本技术的第一个目的在于提出一种电极装置，该电极装置规避了工艺时因电极件与舟结构接触处产生的打弧的问题，保证了片材的工艺效果，该电极装置的安装和拆卸均比较方便，方便组装和维护。
2、本技术的第二个目的在于提出一种热炉，该热炉的组装和维护较为方便，且工艺良率较高。
3、为实现上述技术效果，本技术的技术方案如下：
4、本技术公开了一种电极装置，两个支撑件，每个所述支撑件的两端分别与炉管两端的炉口法兰相连；电极单元，所述电极单元成对设置，每个所述电极单元均包括电极件、连接件及舟座，所述电极件连接于所述炉口法兰，所述舟座为多个且成对设置，成对设置的两个舟座通过连接件相连，且分别套设于两个所述支撑件，所述电极件通过导电杆与成对设置的两个舟座中的其中一个相连；其中，成对设置的两个所述电极单元的所述舟座用于支撑舟结构。
5、在一些实施例中，所述电极单元为多对，多对所述电极单元的所述舟座能够匹配沿所述支撑件轴向方向间隔设置的多个所述舟结构。
6、在一些实施例中，所述电极单元还包括绝缘支撑套，所述绝缘支撑套套设于所述支撑件，所述舟座套设于所述绝缘支撑套；和/或：
7、所述电极单元还包括电极绝缘套，所述电极绝缘套套设于所述导电杆，所述导电杆的两端伸出所述电极绝缘套且分别与所述舟座及所述电极件相连。
8、在一些实施例中，所述舟座包括套接部和连接部，所述套接部套设于所述支撑件，所述连接部连接于所述套接部且套接于所述导电杆。
9、在一些具体的实施例中，所述导电杆上连接有第一锁紧件，所述第一锁紧件位于所述套接部的两侧，所述导电杆的端部设有卡接销。
10、在一些具体的实施例中，所述套接部和/或所述连接部上设有水平设置的支撑面，所述支撑面用于支撑所述舟结构。
11、在一些实施例中，所述电极件包括安装座和电极本体，所述安装座连接于所述炉口法兰，所述电极本体穿设于所述安装座，所述电极本体背离所述安装座的一端与所述导电杆相连。
12、在一些具体的实施例中，所述电极本体的一端设有卡接槽，所述导电杆的一端卡接于卡接槽。
13、在一些具体的实施例中，所述导电杆的一端还设有第二锁紧件，所述第二锁紧件套设于所述导电杆且止抵于所述电极本体的侧壁。
14、本技术还公开了一种热炉，包括前文所述的电极装置及炉管，所述炉管的两端均设有炉口法兰，所述电极装置的支撑件的两端分别连接于两个所述炉口法兰，所述电极装置的成对设置的两个电极单元分别连接于所述炉口法兰的两侧。
15、本技术的电极装置的有益效果：在实际工作过程中，推舟件推动舟结构进入热炉的炉体，舟结构运动到指定位置时能够与成对设置的两个电极单元的舟座接触，一个电极件通过一个导电杆、成对设置的舟座以及连接件与舟结构的一端导通，另一个电极件通过一个导电杆、成对设置的舟座以及连接件与舟结构的另一端导通，以实现射频电源的正负极接入舟结构的目的。通过利用舟座支撑舟结构，通过导电杆、舟座以及连接件实现舟结构与电极件的导通，规避了工艺时因射频电源放电导致的打弧现象，有利于提升工艺良率。由于电极件连接在炉口法兰上，相比于连接在炉尾板的连接方式，更加方便拆卸，并且在安装或者拆卸炉尾板时，电极装置不会产生干扰，方便了炉尾板的安装和拆卸。
16、本技术的热炉的有益效果，由于具有前文所述的电极装置，该热炉的组装和维护较为方便，且工艺良率较高。由于具有前文所述的电极装置，该热炉的组装和维护较为方便，且工艺良率较高。
17、本技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本技术的实践了解到。
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1.电极装置，其特征在于：
2.根据权利要求1所述的电极装置，其特征在于，所述电极单元(200)为多对，多对所述电极单元(200)的所述舟座(230)能够匹配沿所述支撑件(100)轴向方向间隔设置的多个所述舟结构(300)。
3.根据权利要求1所述的电极装置，其特征在于，所述电极单元(200)还包括绝缘支撑套(250)，所述绝缘支撑套(250)套设于所述支撑件(100)，所述舟座(230)套设于所述绝缘支撑套(250)；和/或：
4.根据权利要求1所述的电极装置，其特征在于，所述舟座(230)包括套接部(231)和连接部(232)，所述套接部(231)套设于所述支撑件(100)，所述连接部(232)连接于所述套接部(231)且套接于所述导电杆(240)。
5.根据权利要求4所述的电极装置，其特征在于，所述导电杆(240)上连接有第一锁紧件(270)，所述第一锁紧件(270)位于所述套接部(231)的两侧，所述导电杆(240)的端部设有卡接销(280)。
6.根据权利要求4所述的电极装置，其特征在于，所述套接部(231)和
7.根据权利要求1所述的电极装置，其特征在于，所述电极件(210)包括安装座(211)和电极本体(212)，所述安装座(211)连接于所述炉口法兰，所述电极本体(212)穿设于所述安装座(211)，所述电极本体(212)背离所述安装座(211)的一端与所述导电杆(240)相连。
8.根据权利要求7所述的电极装置，其特征在于，所述电极本体(212)的一端设有卡接槽(2121)，所述导电杆(240)的一端卡接于所述卡接槽(2121)。
9.根据权利要求7所述的电极装置，其特征在于，所述导电杆(240)的一端还设有第二锁紧件(290)，所述第二锁紧件(290)套设于所述导电杆(240)且止抵于所述电极本体(212)的侧壁。
10.热炉，其特征在于，包括如权利要求1-9中任一项所述的电极装置及炉管，所述炉管的两端均设有炉口法兰，所述电极装置的支撑件(100)的两端分别连接于两个所述炉口法兰，所述电极装置的成对设置的两个电极单元(200)分别连接于所述炉口法兰的两侧。
...【技术特征摘要】
1.电极装置，其特征在于：
2.根据权利要求1所述的电极装置，其特征在于，所述电极单元(200)为多对，多对所述电极单元(200)的所述舟座(230)能够匹配沿所述支撑件(100)轴向方向间隔设置的多个所述舟结构(300)。
3.根据权利要求1所述的电极装置，其特征在于，所述电极单元(200)还包括绝缘支撑套(250)，所述绝缘支撑套(250)套设于所述支撑件(100)，所述舟座(230)套设于所述绝缘支撑套(250)；和/或：
4.根据权利要求1所述的电极装置，其特征在于，所述舟座(230)包括套接部(231)和连接部(232)，所述套接部(231)套设于所述支撑件(100)，所述连接部(232)连接于所述套接部(231)且套接于所述导电杆(240)。
5.根据权利要求4所述的电极装置，其特征在于，所述导电杆(240)上连接有第一锁紧件(270)，所述第一锁紧件(270)位于所述套接部(231)的两侧，所述导电杆(240)的端部设有卡接销(280)。
6.根据权利要求4所述的电极装置，其特征在于，所述套接部(231)和/或所述连接部(23...
【专利技术属性】
技术研发人员：常文平，徐少洪，万大明，裴志伟，林佳继，
申请(专利权)人：拉普拉斯新能源科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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