【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体加工设备，尤其涉及一种舟结构支撑装置及热炉。
技术介绍
1、在传统晶体硅太阳能电池中，金属-半导体接触区域存在严重的复合，成为制约晶体硅太阳能电池效率发展的重要因素，而钝化接触技术作为一种减少接触复合的可行方案，对晶硅电池效率提升明显。
2、钝化接触技术核心之一为本征非晶硅沉积，目前应用较为广泛的主要有常压化学气相沉积、等离子体增强型化学气相沉积以及低压化学气相沉积，其中等离子体增强型化学气相沉积由于沉积速率快、成膜质量好、针孔较少以及不易龟裂而被广泛使用。
3、常规沉积炉内支撑结构如图1所示，炉体3两端的固定法兰2上固定连接有支撑件1，石墨舟4的舟脚分别放置于支撑件1的末端。由于支撑件1装在斜面21上，任意一点角度都会导致两个固定法兰2上的支撑件1之间形成内外八字形以及高度差，从而无法正常进出石墨舟4，使得支撑件1的安装调试要求很高，严重影响调试进度。由于材料特性以及工艺温度的影响，支撑件1与固定法兰2的连接位置容易松动，导致支撑件1沿固定法兰2的周向下滑，这样会提升撞舟或撞桨的风险。此外，由于石墨舟4垂直放置于支撑件1上，石墨舟4通过导向舟脚与支撑件1限位配合，而支撑件1的固定面是斜面21，工艺时的高温会导致支撑件1向外变形，负载时受侧向力也会导致支撑件1向内向下变形，导致支撑件1与石墨舟4的舟脚卡死，严重影响设备的稳定性和带来经济损失。
技术实现思路
1、本技术的第一个目的在于提出一种舟结构支撑装置，该舟结构支撑装置的安装调试要求较低，
2、本技术的第二个目的在于提出一种热炉，该热炉能够平稳地支撑舟结构，可靠性较好，且安装调试要求相对较低，组装非常方便。
3、为实现上述技术效果，本技术的技术方案如下：
4、本技术公开了一种舟结构支撑装置，所述舟结构支撑装置连接于炉管的两端，所述舟结构支撑装置包括：支撑法兰，所述支撑法兰连接于所述炉管的端部，所述支撑法兰上设有安装部，所述安装部具有水平设置的安装平面；支撑件，所述支撑件用于支撑舟结构，所述支撑件的一端与所述安装部相连，且具有与所述安装平面抵接的装配平面。
5、在一些实施例中，所述安装平面上设有第一安装孔，所述支撑件上设有第二安装孔，连接件穿过所述第一安装孔和所述第二安装孔将所述支撑件固定在所述支撑法兰上。
6、在一些具体的实施例中，所述第一安装孔为多个，且所述第二安装孔为长孔。
7、在一些实施例中，所述支撑法兰还具有连接于所述安装部上的定位部，所述定位部和所述安装部形成定位台阶面，所述支撑件上设有与所述定位台阶面止抵的定位平面。
8、在一些具体的实施例中，所述定位部具有与所述安装平面平行设置且位于所述安装平面下方的第一止抵平面，所述支撑件上设有与所述第一止抵平面抵接的第二止抵平面。
9、在一些具体的实施例中，所述支撑件上还设有止抵于所述定位部背离所述安装部的端面上的第三止抵平面。
10、在一些实施例中，所述安装部及所述支撑件均为两个，两个所述安装平面共面设置，两个所述装配平面共面设置。
11、在一些实施例中，所述支撑件还设有调节孔，调节件穿过所述调节孔止抵在所述支撑法兰上。
12、在一些实施例中，所述支撑件包括连接杆和绝缘杆，所述连接杆的一端与所述安装部相连，另一端与所述绝缘杆相连，所述绝缘杆用于支撑所述舟结构。
13、本技术公开了一种热炉，包括炉管和前文所述的舟结构支撑装置，所述舟结构支撑装置连接于所述炉管的两端，且用于支撑安放在所述炉管内的舟结构。
14、本技术的舟结构支撑装置的有益效果：由于支撑件的一端与安装部相连，且安装在安装部上水平设置的安装平面上，使得支撑件由现有技术中的侧向受力改为垂直受力，避免了支撑件向炉管的径向内侧或和径向外侧变形的现象发生，避免了支撑件与舟结构的舟脚卡死的现象发生；由于支撑件安装在水平设置的安装平面上，在实际安装过程中对调试要求相对较低，方便了舟结构支撑装置的组装；且不容易出现两个支撑法兰上的支撑件之间形成内外八字形以及高度差的现象，支撑件相对安装部的连接位置松动时也不容易向炉管的径向内侧下滑，从而较好地避免了支撑件出现撞舟或者撞桨的现象发生。
15、本技术的热炉的有益效果：由于具有前文所述的舟结构支撑装置，该热炉能够平稳地支撑舟结构，可靠性较好，且安装调试要求相对较低，组装非常方便。
16、本技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本技术的实践了解到。
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1.舟结构支撑装置，其特征在于，所述舟结构支撑装置连接于炉管(400)的两端，所述舟结构支撑装置包括：
2.根据权利要求1所述的舟结构支撑装置，其特征在于，所述安装平面(111)上设有第一安装孔(112)，所述支撑件(200)上设有第二安装孔(215)，连接件穿过所述第一安装孔(112)和所述第二安装孔(215)将所述支撑件(200)固定在所述支撑法兰(100)上。
3.根据权利要求2所述的舟结构支撑装置，其特征在于，所述第一安装孔(112)为多个，且所述第二安装孔(215)为长孔。
4.根据权利要求1所述的舟结构支撑装置，其特征在于，所述支撑法兰(100)还具有连接于所述安装部(110)上的定位部(120)，所述定位部(120)和所述安装部(110)形成定位台阶面(130)，所述支撑件(200)上设有与所述定位台阶面(130)止抵的定位平面(212)。
5.根据权利要求4所述的舟结构支撑装置，其特征在于，所述定位部(120)具有与所述安装平面(111)平行设置且位于所述安装平面(111)下方的第一止抵平面(121)，所述支撑件(2
6.根据权利要求4所述的舟结构支撑装置，其特征在于，所述支撑件(200)上还设有止抵于所述定位部(120)背离所述安装部(110)的端面上的第三止抵平面(214)。
7.根据权利要求1-6中任一项所述的舟结构支撑装置，其特征在于，所述安装部(110)及所述支撑件(200)均为两个，两个所述安装平面(111)共面设置，两个所述装配平面共面设置。
8.根据权利要求1-6中任一项所述的舟结构支撑装置，其特征在于，所述支撑件(200)还设有调节孔(216)，调节件穿过所述调节孔(216)止抵在所述支撑法兰(100)上。
9.根据权利要求1-6中任一项所述的舟结构支撑装置，其特征在于，所述支撑件(200)包括连接杆(210)和绝缘杆(220)，所述连接杆(210)的一端与所述安装部(110)相连，另一端与所述绝缘杆(220)相连，所述绝缘杆(220)用于支撑所述舟结构(300)。
10.热炉，其特征在于，包括炉管(400)和如权利要求1-9中任一项所述的舟结构支撑装置，所述舟结构支撑装置连接于所述炉管(400)的两端，且用于支撑安放在所述炉管(400)内的舟结构(300)。
...【技术特征摘要】
1.舟结构支撑装置，其特征在于，所述舟结构支撑装置连接于炉管(400)的两端，所述舟结构支撑装置包括：
2.根据权利要求1所述的舟结构支撑装置，其特征在于，所述安装平面(111)上设有第一安装孔(112)，所述支撑件(200)上设有第二安装孔(215)，连接件穿过所述第一安装孔(112)和所述第二安装孔(215)将所述支撑件(200)固定在所述支撑法兰(100)上。
3.根据权利要求2所述的舟结构支撑装置，其特征在于，所述第一安装孔(112)为多个，且所述第二安装孔(215)为长孔。
4.根据权利要求1所述的舟结构支撑装置，其特征在于，所述支撑法兰(100)还具有连接于所述安装部(110)上的定位部(120)，所述定位部(120)和所述安装部(110)形成定位台阶面(130)，所述支撑件(200)上设有与所述定位台阶面(130)止抵的定位平面(212)。
5.根据权利要求4所述的舟结构支撑装置，其特征在于，所述定位部(120)具有与所述安装平面(111)平行设置且位于所述安装平面(111)下方的第一止抵平面(121)，所述支撑件(200)上设有与所述第一止抵平面(121)抵接的第二止抵平面...
【专利技术属性】
技术研发人员：常文平，徐少洪，万大明，裴志伟，林佳继，
申请(专利权)人：拉普拉斯新能源科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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