【技术实现步骤摘要】
本公开涉及玻璃基板溢流下拉成型设备的退火炉，尤其涉及一种玻璃基板溢流下拉成型设备及其退火炉。
技术介绍
1、玻璃基板溢流成型过程中，玻璃在马弗炉成板状在定型炉定型后进入到退火炉，玻璃的退火是玻璃的物理状态由弹塑性体过渡到完全弹性体的过程。玻璃进入退火炉后被冻结，其物理状态由塑性体转变为弹塑性体。当玻璃因为前制程造成热应力时，则可利用在应力松弛区附近温度停留一段时间，来减少其热历史带来的内应力，并且玻璃仍能保持其形状，此后玻璃进入临界退火区。
2、随着玻璃基板朝向高世代玻璃基板的发展趋势和日渐增长需求，玻璃基板的板宽越来越宽，拉速越来越快，对残留应力的标准也越来越高，因此，对退火炉的要求也越来越高。
技术实现思路
1、本公开所要解决的一个技术问题是：怎样提供满足高世代玻璃基板的退火炉，使得高世代玻璃基板的残余应力低而满足其日趋高标准要求。
2、为解决上述技术问题，本公开实施例提供一种玻璃基板溢流下拉成型设备的退火炉，沿玻璃带传送方向，其包括依次设置的前段退火区、应力松弛区和后段退火区；其中，沿玻璃带传送方向，前段退火区包括至少一个退火区，应力松弛区包括至少两个退火区，后段退火区包括至少两个退火区；退火区包括加热器、钢结构和防护层，其中，钢结构的中间形成玻璃带的传送空间，多个加热器分设于玻璃带的两侧，加热器安装在钢结构，防护层铺设在钢结构的外侧，沿玻璃带的宽度方向应力松弛区的每一退火区相邻设置的两个加热器贴合布置。
3、在一些实施例中，应力松弛区的每
4、在一些实施例中，玻璃带流经前段退火区时状态由塑性体进入弹塑性体；玻璃带流经应力松弛区时状态由弹塑性体进入玻璃化转变区；玻璃带流经后段退火区时巩固应力并得以持续降温。
5、在一些实施例中，沿玻璃带传送方向，前段退火区包括依次设置的退火区一和退火区二，应力松弛区包括依次设置的上加热区和下加热区，后段退火区包括依次设置的退火区四、退火区五、退火区六和退火末区。
6、在一些实施例中，玻璃带流经退火区一时状态由塑性体进入弹塑性体并实现表面温度调整均匀；玻璃带流经退火区一时状态维持弹塑性体并实现应力松弛与结构致密化；玻璃带流经应力松弛区时状态由弹塑性体进入玻璃化转变区并实现应力松弛的微调；玻璃带流经退火区四时转为为完全弹性体；玻璃带流经退火区五时巩固应力；玻璃带流经退火区六和退火末区持续降温。
7、在一些实施例中，加热器包括加热器一、加热器二、加热器三、加热器四、加热器五和加热器六；其中，加热器四、加热器二、加热器一、加热器五、加热器六和加热器三的长度尺寸沿玻璃带的宽度方向依次增大；沿玻璃带的宽度方向，加热器一布置于退火区一的两端和中间，加热器二布置于退火区一的两端和中间之外的位置，加热器三布置于退火区二的两端，加热器二布置于退火区二的两端之间的位置，加热器四布置于上加热区和下加热区，加热器六布置于退火区四、退火区五、退火区六的中间，加热器五布置于退火区四、退火区五、退火区六的中间以外的位置。
8、在一些实施例中，沿玻璃带传送方向，加热器一、加热器二、加热器三、加热器五和加热器六的高度尺寸相同，加热器四的高度尺寸小于加热器一的高度尺寸。
9、在一些实施例中，沿玻璃带的宽度方向，退火区的长度尺寸大于玻璃带的宽度尺寸。
10、在一些实施例中，沿玻璃带的宽度方向，前段退火区和后段退火区相邻设置的两个加热器间隔布置。
11、为解决上述技术问题，本公开实施例提供一种玻璃基板溢流下拉成型设备，由上而下依次包括：马弗炉、定型炉以及上述退火炉。
12、通过上述技术方案，本公开提供的玻璃基板溢流下拉成型设备及其退火炉，包括如下有益效果：
13、本公开将退火炉的沿玻璃带(玻璃基板)的传送方向(上下方向)设置成多个退火区，且将应力松弛区设置在中间位置，使得玻璃带在前段退火区由塑性体转换为弹塑性体并实现翘曲的调整、玻璃带表面温度均匀调整；然后在应力松弛区进入玻璃化转变区(玻璃-橡胶转变区)，且由于应力松弛区的加热器是贴合布置实现其加热覆盖面积增大且均衡，因此使得玻璃带沿其宽度方向的横向温差较小而降低应力满足高世代玻璃基板低应力的高标准，应力松弛区的退火区的多层布置可以延长玻璃带在其停留时间，使得玻璃带有足够的停留时间让横向应力均匀松弛；同时，应力松弛区可根据不同玻璃带产品需求提供多样化(不同退火区的加热功率、停留时间等)退火需求，满足不同高世代玻璃基板生产需求；玻璃带后续进入后段退火区以巩固应力且不再增加应力并持续降温，避免玻璃带因温差发生炸裂，确保玻璃带的生产产量和质量，确保玻璃基板生产效能并降低玻璃基板生产成本。
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1.一种玻璃基板溢流下拉成型设备的退火炉，其特征在于，沿玻璃带(1)传送方向，其包括依次设置的前段退火区、应力松弛区(4)和后段退火区；
2.根据权利要求1所述的玻璃基板溢流下拉成型设备的退火炉，其特征在于，所述应力松弛区(4)的每一所述退火区分设于所述玻璃带(1)的两侧的所述加热器(8)并联设置。
3.根据权利要求1所述的玻璃基板溢流下拉成型设备的退火炉，其特征在于，所述玻璃带(1)流经所述前段退火区时状态由塑性体进入弹塑性体；所述玻璃带(1)流经所述应力松弛区(4)时状态由弹塑性体进入玻璃化转变区；所述玻璃带(1)流经所述后段退火区时巩固应力并得以持续降温。
4.根据权利要求1所述的玻璃基板溢流下拉成型设备的退火炉，其特征在于，沿所述玻璃带(1)传送方向，所述前段退火区包括依次设置的退火区一(2)和退火区二(3)，所述应力松弛区(4)包括依次设置的上加热区(41)和下加热区(42)，所述后段退火区包括依次设置的退火区四(5)、退火区五(6)、退火区六(7)和退火末区(9)。
5.根据权利要求4所述的玻璃基板溢流下拉成型设备的退火
6.根据权利要求5所述的玻璃基板溢流下拉成型设备的退火炉，其特征在于，所述加热器(8)包括加热器一(81)、加热器二(82)、加热器三(83)、加热器四(84)、加热器五(85)和加热器六(86)；其中，所述加热器四(84)、所述加热器二(82)、所述加热器一(81)、所述加热器五(85)、所述加热器六(86)和所述加热器三(83)的长度尺寸沿所述玻璃带(1)的宽度方向依次增大；沿所述玻璃带(1)的宽度方向，所述加热器一(81)布置于所述退火区一(2)的两端和中间，所述加热器二(82)布置于所述退火区一(2)的两端和中间之外的位置，所述加热器三(83)布置于所述退火区二(3)的两端，所述加热器二(82)布置于所述退火区二(3)的两端之间的位置，所述加热器四(84)布置于所述上加热区(41)和所述下加热区(42)，所述加热器六(86)布置于所述退火区四(5)、所述退火区五(6)、所述退火区六(7)的中间，所述加热器五(85)布置于所述退火区四(5)、所述退火区五(6)、所述退火区六(7)的中间以外的位置。
7.根据权利要求6所述的玻璃基板溢流下拉成型设备的退火炉，其特征在于，沿所述玻璃带(1)传送方向，所述加热器一(81)、所述加热器二(82)、所述加热器三(83)、所述加热器五(85)和所述加热器六(86)的高度尺寸相同，所述加热器四(84)的高度尺寸小于所述加热器一(81)的高度尺寸。
8.根据权利要求1所述的玻璃基板溢流下拉成型设备的退火炉，其特征在于，沿所述玻璃带(1)的宽度方向，所述退火区的长度尺寸大于所述玻璃带(1)的宽度尺寸。
9.根据权利要求1所述的玻璃基板溢流下拉成型设备的退火炉，其特征在于，沿所述玻璃带(1)的宽度方向，所述前段退火区和所述后段退火区相邻设置的两个所述加热器(8)间隔布置。
10.一种玻璃基板溢流下拉成型设备，其特征在于，由上而下依次包括：马弗炉(A)、定型炉(B)以及上述权利要求1-9任意一项所述的退火炉(C)。
...【技术特征摘要】
1.一种玻璃基板溢流下拉成型设备的退火炉，其特征在于，沿玻璃带(1)传送方向，其包括依次设置的前段退火区、应力松弛区(4)和后段退火区；
2.根据权利要求1所述的玻璃基板溢流下拉成型设备的退火炉，其特征在于，所述应力松弛区(4)的每一所述退火区分设于所述玻璃带(1)的两侧的所述加热器(8)并联设置。
3.根据权利要求1所述的玻璃基板溢流下拉成型设备的退火炉，其特征在于，所述玻璃带(1)流经所述前段退火区时状态由塑性体进入弹塑性体；所述玻璃带(1)流经所述应力松弛区(4)时状态由弹塑性体进入玻璃化转变区；所述玻璃带(1)流经所述后段退火区时巩固应力并得以持续降温。
4.根据权利要求1所述的玻璃基板溢流下拉成型设备的退火炉，其特征在于，沿所述玻璃带(1)传送方向，所述前段退火区包括依次设置的退火区一(2)和退火区二(3)，所述应力松弛区(4)包括依次设置的上加热区(41)和下加热区(42)，所述后段退火区包括依次设置的退火区四(5)、退火区五(6)、退火区六(7)和退火末区(9)。
5.根据权利要求4所述的玻璃基板溢流下拉成型设备的退火炉，其特征在于，所述玻璃带(1)流经所述退火区一(2)时状态由塑性体进入弹塑性体并实现表面温度调整均匀；所述玻璃带(1)流经所述退火区一(2)时状态维持弹塑性体并实现应力松弛与结构致密化；所述玻璃带(1)流经所述应力松弛区(4)时状态由弹塑性体进入玻璃化转变区并实现应力松弛的微调；所述玻璃带(1)流经所述退火区四(5)时转为为完全弹性体；所述玻璃带(1)流经所述退火区五(6)时巩固应力；所述玻璃带(1)流经所述退火区六(7)和所述退火末区(9)持续降温。
6.根据权利要求5所述的玻璃基板溢流下拉成型设备的退火炉，其特征在于，所述加热器(8)包括加热器一(81)、加热器二(82)、加热...
【专利技术属性】
技术研发人员：李青，李赫然，游忠锦，胡恒广，闫冬成，
申请(专利权)人：河北光兴半导体技术有限公司，
类型：新型
国别省市：
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