【技术实现步骤摘要】
本技术涉及采用永磁铁内置的可拆卸式吸附装置的循环流路，属于半导体设备领域。
技术介绍
1、在一些半导体设备中，通常用循环厂务水对设备的局部进行冷却，以便设备的工作温度在合理范围内。当厂务供水系统出现故障，如果水流停止，则会导致设备局部温度过高，影响设备的正常工作，严重可能导致设备局部部件损坏。
2、因此，正常情况下，会在厂务给设备供水系统中安装一个水浮子流量开关，用来检测冷却循环水的流动状态。一旦冷却厂务供水停止流动，浮子流量开关给机台报警信号，以便相关人员及时处置，避免事故的发生。
3、但是，这种浮子流量开关里面磁芯在循环厂务水路中长时间使用时，磁芯会把厂务循环水路中的铁屑吸附在其四周，时间越长，吸附铁屑越多。如果此时，厂务供水突然停止或流量减少，浮子流量开关里的磁芯上不去下不来，失去其应有的功能。
技术实现思路
1、本技术针对上述问题，提供了采用永磁铁内置的可拆卸式吸附装置的循环流路，已达到保护水路中的浮子流量开关，使其能够长时间正常工作。
2、本技术采用如下技术方案：
3、本技术采用永磁铁内置的可拆卸式吸附装置的循环流路；被冷却装置分别接入冷却水输入管路及冷却水输出管路，位于冷却水输入管路中接入可拆卸式吸附装置；可拆卸式吸附装置的输入端、输出端还并联旁路管路；所述旁路管路上设有旁路手阀。
4、本技术所述的采用永磁铁内置的可拆卸式吸附装置的循环流路，所述可拆卸式吸附装置包括前接口，前壳体，后壳体，环形永磁体，后接口；后
5、前壳体为中心开孔的盖体结构，前壳体与后壳体开放式端口的螺纹相配合与后壳体旋合；
6、前壳体中心开孔处及后壳体半封闭式结构中心开孔处分别设有轴向外延的螺纹帽；相对位置的螺纹帽分别旋合前接口及后接口；通过前接口、后接口与冷却水输入管路相连通。
7、本技术所述的采用永磁铁内置的可拆卸式吸附装置的循环流路，位于前接口与后接口前段的冷却水输入管路上分别设有手阀一、手阀二。
8、本技术所述的采用永磁铁内置的可拆卸式吸附装置的循环流路，旁路管路的输入端与输出端分别位于手阀一前段冷却水输入管路及手阀二后段冷却水输入管路上。
9、本技术所述的采用永磁铁内置的可拆卸式吸附装置的循环流路，可拆卸式吸附装置的前接口、后接口通过卡套接头接入冷却水输入管路。
10、本技术所述的采用永磁铁内置的可拆卸式吸附装置的循环流路，所述后壳体采用透明有机玻璃材料制成。
11、有益效果
12、本技术提供的采用永磁铁内置的可拆卸式吸附装置的循环流路，可拆卸式吸附装置采用内置空心的永磁体圆环，将原本会被磁性浮子水流量开关吸附的铁屑收集，能够有效保护磁性浮子流量开关。使磁性浮子流量开关内的磁芯不会因为长时间使用而被冷却水中的铁屑堵塞，致使磁芯无法顺畅上下活动，甚至卡死，而导致其功能丧失。
13、本技术提供的采用永磁铁内置的可拆卸式吸附装置的循环流路，在可拆卸式吸附装置需要维护时，设立的旁路管路形成外置进水短接支路，在可拆卸式吸附装置清洁期间，不影响设备正常使用。
14、本技术提供的采用永磁铁内置的可拆卸式吸附装置的循环流路，在可拆卸式吸附装置，通过卡套接头方式与前后水路进行连接，使用卡套接头方式具有连接牢靠、耐压能力高、耐温性、密封性和反复性好、安装检修方便。
15、本技术提供的采用永磁铁内置的可拆卸式吸附装置的循环流路，在可拆卸式吸附装置，空心的永磁体圆环内径不小于水流外径，新增装置不至于降低其流速。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.采用永磁铁内置的可拆卸式吸附装置的循环流路；被冷却装置分别接入冷却水输入管路及冷却水输出管路，其特征在于：位于冷却水输入管路中接入可拆卸式吸附装置；可拆卸式吸附装置的输入端、输出端还并联旁路管路；所述旁路管路上设有旁路手阀。
2.根据权利要求1所述的采用永磁铁内置的可拆卸式吸附装置的循环流路，其特征在于：所述可拆卸式吸附装置包括前接口，前壳体，后壳体，环形永磁体，后接口；后壳体内置环形永磁铁，后壳体轴向一端为中心开孔的半封闭式结构、其另一端为开放式端口，后壳体的开放式端口的外壁设有螺纹；
3.根据权利要求2所述的采用永磁铁内置的可拆卸式吸附装置的循环流路，其特征在于：位于前接口与后接口前段的冷却水输入管路上分别设有手阀一、手阀二。
4.根据权利要求1或3所述的采用永磁铁内置的可拆卸式吸附装置的循环流路，其特征在于：旁路管路的输入端与输出端分别位于手阀一前段冷却水输入管路及手阀二后段冷却水输入管路上。
5.根据权利要求2所述的采用永磁铁内置的可拆卸式吸附装置的循环流路，其特征在于：可拆卸式吸附装置的前接口、后接口通过卡套接头接入冷
6.根据权利要求2所述的采用永磁铁内置的可拆卸式吸附装置的循环流路，其特征在于：所述后壳体采用透明有机玻璃材料制成。
7.根据权利要求2所述的采用永磁铁内置的可拆卸式吸附装置的循环流路，其特征在于：所述环形永磁体的内径大于水流外径。
...【技术特征摘要】
1.采用永磁铁内置的可拆卸式吸附装置的循环流路；被冷却装置分别接入冷却水输入管路及冷却水输出管路，其特征在于：位于冷却水输入管路中接入可拆卸式吸附装置；可拆卸式吸附装置的输入端、输出端还并联旁路管路；所述旁路管路上设有旁路手阀。
2.根据权利要求1所述的采用永磁铁内置的可拆卸式吸附装置的循环流路，其特征在于：所述可拆卸式吸附装置包括前接口，前壳体，后壳体，环形永磁体，后接口；后壳体内置环形永磁铁，后壳体轴向一端为中心开孔的半封闭式结构、其另一端为开放式端口，后壳体的开放式端口的外壁设有螺纹；
3.根据权利要求2所述的采用永磁铁内置的可拆卸式吸附装置的循环流路，其特征在于：位于前接口与后接口前段的冷却水输...
【专利技术属性】
技术研发人员：祖二健，周健，张泽东，申强，吴文涛，
申请(专利权)人：中国电子科技集团公司第五十五研究所，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。