System.ArgumentOutOfRangeException: 索引和长度必须引用该字符串内的位置。 参数名: length 在 System.String.Substring(Int32 startIndex, Int32 length) 在 zhuanliShow.Bind() 电致变色薄膜的加工方法和电致变色薄膜技术_技高网

电致变色薄膜的加工方法和电致变色薄膜技术

技术编号:40438026 阅读:5 留言:0更新日期:2024-02-22 23:01
本发明专利技术涉及激光雕刻技术领域,具体公开了一种电致变色薄膜的加工方法和电致变色薄膜,该方法使用脉冲激光器将金属膜刻画在ITO膜上,形成多条导线,相邻两条导线的至少部分重叠,在将金属膜刻画在ITO膜上的过程中,脉冲激光器的参数保持恒定,参数包括激光功率、脉冲频率、刻画深度和扫描速度,从而保证激光刻画的精度以及刻画深度的一致性。该方法通过刻画多条部分重叠的导线,消除了导线之间的间距,空间的利用率得以提升;同时对于其中一条导线断开的情况,该条导线的其他区域依然能够承载电流,抗故障能力得到提升,从而提高良品率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及激光雕刻,尤其涉及一种电致变色薄膜的加工方法和电致变色薄膜


技术介绍

1、目前电致变色薄膜加工领域广泛采用的激光刻画技术是一种非接触性加工方法,利用激光束的高能量密度对材料进行局部加热和蒸发,从而实现精确的刻画和加工。在制备电气导线方面,激光刻画技术具有高精度、灵活性和高效率的优势,成为现代电子设备制造领域的重要工艺之一。

2、当激光刻画半导体薄膜时,多条电气导线并列设置,如果膜层表面存在灰尘颗粒,可能干扰激光与薄膜之间的刻画效果,导致部分区域未能被切割或刻画,造成电气导线出现断点,从而影响薄膜的完整性和可靠性,良品率不易保障。


技术实现思路

1、本专利技术的目的在于提供一种电致变色薄膜的加工方法,以解决现有加工工艺存在的良品率低的问题。

2、本专利技术提供一种电致变色薄膜的加工方法,该方法包括如下步骤:

3、s1:准备ito膜以及至少一层金属膜;

4、s2:使用脉冲激光器将金属膜刻画在ito膜上,形成多条导线,相邻两条导线的至少部分重叠,在将金属膜刻画在ito膜上的过程中,脉冲激光器的参数保持恒定,参数包括激光功率、脉冲频率、刻画深度和扫描速度;

5、s3:对多条导线检测和调整;

6、s4:对多条导线进行后处理和测试。

7、作为电致变色薄膜的加工方法的优选技术方案,相邻两条导线重叠区域的宽度与单条导线的宽度的比值大于0.1且小于0.3。

8、作为电致变色薄膜的加工方法的优选技术方案,相邻两条导线重叠区域的宽度与单条导线的宽度的比值为0.25。

9、作为电致变色薄膜的加工方法的优选技术方案,导线的数量为2条或3条。

10、作为电致变色薄膜的加工方法的优选技术方案,金属膜的厚度为1-2微米。

11、作为电致变色薄膜的加工方法的优选技术方案,金属膜设置为一层,脉冲激光器的刻画深度小于金属膜的厚度。

12、作为电致变色薄膜的加工方法的优选技术方案,金属膜设置为多层,脉冲激光器的刻画深度等于多层金属膜的厚度之和。

13、作为电致变色薄膜的加工方法的优选技术方案,导线的宽度为60-80微米。

14、作为电致变色薄膜的加工方法的优选技术方案,

15、步骤s3包括:

16、s31:使用在线检测系统检测导线的尺寸、形状和位置;

17、s32:判断导线的尺寸、形状和位置是否均满足预设值,如是,执行步骤s4,否则调节脉冲激光器的参数;

18、步骤s4包括:

19、s41:对导线依次进行清洗、表面处理以及涂覆保护涂层;

20、s42:对导线进行导电性能和光学透明性测试。

21、本专利技术提供一种电致变色薄膜,该电致变色薄膜由上述任一方案的电致变色薄膜的加工方法加工得到。

22、本专利技术的有益效果为:

23、本专利技术提供一种电致变色薄膜的加工方法,该方法包括如下步骤:

24、s1:准备ito膜以及至少一层金属膜;

25、s2:使用脉冲激光器将金属膜刻画在ito膜上,形成多条导线,相邻两条导线的至少部分重叠,在将金属膜刻画在ito膜上的过程中,脉冲激光器的参数保持恒定,参数包括激光功率、脉冲频率、刻画深度和扫描速度;

26、s3:对多条导线检测和调整;

27、s4:对多条导线进行后处理和测试。

28、通过刻画多条部分重叠的导线,消除了导线之间的间距,空间的利用率得以提升;同时对于其中一条导线断开的情况,该条导线的其他区域依然能够承载电流,抗故障能力得到提升,从而提高良品率。

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【技术保护点】

1.电致变色薄膜的加工方法,其特征在于,包括如下步骤:

2.根据权利要求1所述的电致变色薄膜的加工方法,其特征在于,相邻两条所述导线重叠区域的宽度与单条导线的宽度的比值大于0.1且小于0.3。

3.根据权利要求2所述的电致变色薄膜的加工方法,其特征在于,相邻两条所述导线重叠区域的宽度与单条导线的宽度的比值为0.25。

4.根据权利要求1所述的电致变色薄膜的加工方法,其特征在于,所述导线的数量为2条或3条。

5.根据权利要求1所述的电致变色薄膜的加工方法,其特征在于,所述金属膜的厚度为1-2微米。

6.根据权利要求5所述的电致变色薄膜的加工方法,其特征在于,所述金属膜设置为一层,所述脉冲激光器的刻画深度小于所述金属膜的厚度。

7.根据权利要求5所述的电致变色薄膜的加工方法,其特征在于,所述金属膜设置为多层,所述脉冲激光器的刻画深度等于多层所述金属膜的厚度之和。

8.根据权利要求1所述的电致变色薄膜的加工方法,其特征在于,所述导线的宽度为60-80微米。

9.根据权利要求1所述的电致变色薄膜的加工方法,其特征在于,

10.电致变色薄膜,其特征在于,所述电致变色薄膜由权利要求1-9任一项所述的电致变色薄膜的加工方法加工得到。

...

【技术特征摘要】

1.电致变色薄膜的加工方法,其特征在于,包括如下步骤:

2.根据权利要求1所述的电致变色薄膜的加工方法,其特征在于,相邻两条所述导线重叠区域的宽度与单条导线的宽度的比值大于0.1且小于0.3。

3.根据权利要求2所述的电致变色薄膜的加工方法,其特征在于,相邻两条所述导线重叠区域的宽度与单条导线的宽度的比值为0.25。

4.根据权利要求1所述的电致变色薄膜的加工方法,其特征在于,所述导线的数量为2条或3条。

5.根据权利要求1所述的电致变色薄膜的加工方法,其特征在于,所述金属膜的厚度为1-2微米。

6.根据权...

【专利技术属性】
技术研发人员:姚力军潘杰王予丛沈栋栋范昕姚舜
申请(专利权)人:浙江景昇薄膜科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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