System.ArgumentOutOfRangeException: 索引和长度必须引用该字符串内的位置。 参数名: length 在 System.String.Substring(Int32 startIndex, Int32 length) 在 zhuanliShow.Bind() 单晶炉集控巡检系统及方法、存储介质及终端技术方案_技高网

单晶炉集控巡检系统及方法、存储介质及终端技术方案

技术编号:40437343 阅读:6 留言:0更新日期:2024-02-22 23:01
一种单晶炉集控巡检系统及方法、存储介质及终端,其中单晶炉集控巡检系统包括:监测数据获取模块,用于获取各个所述单晶炉的监测数据;巡检模块,用于将每个所述监测数据与相对应的标准数据进行对比,以判断所述单晶炉的制程是否存在异常。通过实时的自动化获取各个所述单晶炉的监测数据,并将每个所述监测数据与相对应的标准数据进行对比,以判断所述单晶炉的制程是否存在异常,集控人员只需要处理具体的异常问题即可,不必再进行人工巡检,进而减少集控人员的投入、以及提高集控人员的工作效率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及单晶制造,尤其涉及一种单晶炉集控巡检系统及方法、存储介质及终端


技术介绍

1、单晶硅是制作太阳能电池的主要原料,目前常用的生产工艺为直拉法。直拉法的主要过程为:向坩埚内装入原料,熔化原料得到熔体,将籽晶浸入该熔体中,转动籽晶的同时将籽晶缓慢向上提升,经过引晶、放肩及转肩、等径及收尾等提拉过程,得到一支单晶硅棒。

2、随着近些年光伏行业的迅猛发展,对单晶生长设备的需求猛增,对人员的需求量越来越大,给单晶生长的集控系统提出了更高的要求。集控系统需要帮助企业提升单人操控生产设备的数量,对生产数据实时性要求更高、更准确。

3、然而,目前单晶炉集控的巡检方式仍存在诸多问题。


技术实现思路

1、本专利技术解决的技术问题是提供一种单晶炉集控巡检系统及方法、存储介质及终端,代替集控人员的人工巡检,减少集控人员的投入以及提高集控人员的工作效率。

2、为解决上述问题,本专利技术提供一种单晶炉集控巡检系统,包括:监测数据获取模块,用于获取各个所述单晶炉的监测数据;巡检模块,用于将每个所述监测数据与相对应的标准数据进行对比,以判断所述单晶炉的制程是否存在异常。

3、可选的,所述监测数据包括:设备监测数据和制程监测数据中的一种或多种。

4、可选的,所述制程监测数据包括:工时时长监测数据、工步时长监测数据和关联监测数据中的一种或多种。

5、可选的,所述工时时长监测数据包括:调温工时时长监测数据、加料工时时长监测数据、拆装工时时长监测数据、取棒工时时长监测数据、首熔工时时长监测数据和抽空工时时长监测数据中的一种或多种。

6、可选的,所述工步时长监测数据包括:稳定工步时长监测数据、引晶工步时长监测数据、化料工步时长监测数据、放肩工步时长监测数据和转肩工步时长监测数据中的一种或多种。

7、可选的,所述关联监测数据包括:放肩长度-放肩长度关联监测数据、时间-液温关联监测数据、晶棒长度-拉速关联数据、晶棒长度-功率关联数据和晶棒长度-液口距关联数据中的一种或多种。

8、可选的,所述监测数据获取模块包括:各个所述单晶炉的工控机服务器,所述工控机服务器用于获取各个所述单晶炉的所述设备监测数据、所述工步时长监测数据和所述关联监测数据。

9、可选的,所述监测数据获取模块还包括:集控服务器,所述集控服务器与各个所述单晶炉的所述工控机服务器通讯连接,所述集控服务器用于获取各个所述单晶炉的所述工时时长监测数据。

10、可选的,所述关联监测数据相对应的所述标准数据为标准曲线。

11、可选的,还包括:与所述巡检模块通讯连接的标准曲线获取模块,用于将若干所述单晶炉的若干组历史关联监测数据进行算法拟合,获取所述标准曲线。

12、可选的,所述标准曲线获取模块包括:历史数据获取单元,用于获取若干所述单晶炉的若干组历史关联监测数据;数据拟合单元,用于将若干所述单晶炉的若干组所述历史关联监测数据通过算法拟合为所述标准曲线。

13、可选的,所述标准曲线获取模块包括:大数据服务器。

14、可选的,所述巡检模块包括:标准数据获取单元,用于获取各个所述监测数据相对应的标准数据;对比单元,用于将每个所述监测数据与相对应的所述标准数据进行对比;判断单元,若所述监测数据超过所述标准数据,用于判断对应的所述单晶炉的制程存在异常并报警。

15、可选的,所述巡检模块包括:集控服务器。

16、可选的,所述巡检模块还包括:优先级设置单元,用于设置所述设备监测数据对应的所述单晶炉的制程异常的优先级。

17、相应的,本专利技术技术方案中还提供一种单晶炉集控巡检方法,包括:获取各个所述单晶炉的监测数据;将每个所述监测数据与相对应的标准数据进行对比,以判断所述单晶炉的制程是否存在异常。

18、可选的,所述监测数据包括:设备监测数据和制程监测数据中的一种或多种。

19、可选的,所述制程监测数据包括:工时时长监测数据、工步时长监测数据和关联监测数据中的一种或多种。

20、可选的,所述工时时长监测数据包括:调温工时时长监测数据、加料工时时长监测数据、拆装工时时长监测数据、取棒工时时长监测数据、首熔工时时长监测数据和抽空工时时长监测数据中的一种或多种。

21、可选的,所述工步时长监测数据包括:稳定工步时长监测数据、引晶工步时长监测数据、化料工步时长监测数据、放肩工步时长监测数据和转肩工步时长监测数据中的一种或多种。

22、可选的,所述关联监测数据包括:放肩长度-放肩长度关联监测数据、时间-液温关联监测数据、晶棒长度-拉速关联数据、晶棒长度-功率关联数据和晶棒长度-液口距关联数据中的一种或多种。

23、可选的,获取各个所述单晶炉的所述设备监测数据、所述工步时长监测数据和所述关联监测数据的方法包括:由各个所述单晶炉的工控机服务器获取。

24、可选的,获取各个所述单晶炉的所述工时时长监测数据的方法包括:由集控服务器获取,所述集控服务器与各个所述单晶炉的所述工控机服务器通讯连接。

25、可选的,所述关联监测数据相对应的所述标准数据为标准曲线。

26、可选的,获取所述标准数据的方法包括:获取若干所述单晶炉的若干组历史关联监测数据;将若干所述单晶炉的若干组所述历史关联监测数据进行算法拟合,获取所述标准曲线。

27、可选的,将若干所述单晶炉的若干组所述历史关联监测数据进行算法拟合的方法包括:由大数据服务器进行算法拟合。

28、可选的,判断所述单晶炉的制程是否存在异常的方法包括:将每个所述监测数据与相对应的所述标准数据进行对比;若所述监测数据超过所述标准数据,判断对应的所述单晶炉的制程存在异常并报警。

29、可选的,在判断所述单晶炉的制程是否存在异常之前,还包括:设置所述设备监测数据对应的所述单晶炉的制程异常的优先级。

30、相应的,本专利技术的技术方案中还提供一种存储介质,其上存储有计算机指令,所述计算机指令运行时执行上述任一项技术方案所述方法的步骤。

31、相应的,本专利技术的技术方案中还提供一种终端,包括存储器和处理器,所述存储器上存储有能够在所述处理器上运行的计算机指令,其特征在于,所述处理器运行所述计算机指令时执行上述任一项技术方案所述方法的步骤。

32、与现有技术相比,本专利技术的技术方案具有以下优点:

33、本专利技术技术方案的单晶炉集控巡检系统法中,包括:监测数据获取模块,用于获取各个所述单晶炉的监测数据;巡检模块,用于将每个所述监测数据与相对应的标准数据进行对比,以判断所述单晶炉的制程是否存在异常。通过实时的自动化获取各个所述单晶炉的监测数据,并将每个所述监测数据与相对应的标准数据进行对比,以判断所述单晶炉的制程是否存在异常,集控人员只需要处理具体的异常问题即可,不必再进行人工巡检,进而减少集控人员的投入、以及提高集控人员的工作本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种单晶炉集控巡检系统,其特征在于,包括:

2.如权利要求1所述单晶炉集控巡检系统,其特征在于,所述监测数据包括:设备监测数据和制程监测数据中的一种或多种。

3.如权利要求2所述单晶炉集控巡检系统,其特征在于,所述制程监测数据包括:工时时长监测数据、工步时长监测数据和关联监测数据中的一种或多种。

4.如权利要求3所述单晶炉集控巡检系统,其特征在于,所述工时时长监测数据包括:调温工时时长监测数据、加料工时时长监测数据、拆装工时时长监测数据、取棒工时时长监测数据、首熔工时时长监测数据和抽空工时时长监测数据中的一种或多种。

5.如权利要求3所述单晶炉集控巡检系统,其特征在于,所述工步时长监测数据包括:稳定工步时长监测数据、引晶工步时长监测数据、化料工步时长监测数据、放肩工步时长监测数据和转肩工步时长监测数据中的一种或多种。

6.如权利要求3所述单晶炉集控巡检系统,其特征在于,所述关联监测数据包括:放肩长度-放肩长度关联监测数据、时间-液温关联监测数据、晶棒长度-拉速关联数据、晶棒长度-功率关联数据和晶棒长度-液口距关联数据中的一种或多种。

7.如权利要求3所述单晶炉集控巡检系统,其特征在于,所述监测数据获取模块包括:各个所述单晶炉的工控机服务器,所述工控机服务器用于获取各个所述单晶炉的所述设备监测数据、所述工步时长监测数据和所述关联监测数据。

8.如权利要求7所述单晶炉集控巡检系统,其特征在于,所述监测数据获取模块还包括:集控服务器,所述集控服务器与各个所述单晶炉的所述工控机服务器通讯连接,所述集控服务器用于获取各个所述单晶炉的所述工时时长监测数据。

9.如权利要求3所述单晶炉集控巡检系统,其特征在于,所述关联监测数据相对应的所述标准数据为标准曲线。

10.如权利要求9所述单晶炉集控巡检系统,其特征在于,还包括:与所述巡检模块通讯连接的标准曲线获取模块,用于将若干所述单晶炉的若干组历史关联监测数据进行算法拟合,获取所述标准曲线。

11.如权利要求10所述单晶炉集控巡检系统,其特征在于,所述标准曲线获取模块包括:历史数据获取单元,用于获取若干所述单晶炉的若干组历史关联监测数据;数据拟合单元,用于将若干所述单晶炉的若干组所述历史关联监测数据通过算法拟合为所述标准曲线。

12.如权利要求10所述单晶炉集控巡检系统,其特征在于,所述标准曲线获取模块包括:大数据服务器。

13.如权利要求1所述单晶炉集控巡检系统,其特征在于,所述巡检模块包括:标准数据获取单元,用于获取各个所述监测数据相对应的标准数据;对比单元,用于将每个所述监测数据与相对应的所述标准数据进行对比;判断单元,若所述监测数据超过所述标准数据,用于判断对应的所述单晶炉的制程存在异常并报警。

14.如权利要求1所述单晶炉集控巡检系统,其特征在于,所述巡检模块包括:集控服务器。

15.如权利要求2所述单晶炉集控巡检系统,其特征在于,所述巡检模块还包括:优先级设置单元,用于设置所述设备监测数据对应的所述单晶炉的制程异常的优先级。

16.一种单晶炉集控巡检方法,其特征在于,包括:

17.如权利要求16所述单晶炉集控巡检方法,其特征在于,所述监测数据包括:设备监测数据和制程监测数据中的一种或多种。

18.如权利要求17所述单晶炉集控巡检方法,其特征在于,所述制程监测数据包括:工时时长监测数据、工步时长监测数据和关联监测数据中的一种或多种。

19.如权利要求18所述单晶炉集控巡检方法,其特征在于,所述工时时长监测数据包括:调温工时时长监测数据、加料工时时长监测数据、拆装工时时长监测数据、取棒工时时长监测数据、首熔工时时长监测数据和抽空工时时长监测数据中的一种或多种。

20.如权利要求18所述单晶炉集控巡检方法,其特征在于,所述工步时长监测数据包括:稳定工步时长监测数据、引晶工步时长监测数据、化料工步时长监测数据、放肩工步时长监测数据和转肩工步时长监测数据中的一种或多种。

21.如权利要求18所述单晶炉集控巡检方法,其特征在于,所述关联监测数据包括:放肩长度-放肩长度关联监测数据、时间-液温关联监测数据、晶棒长度-拉速关联数据、晶棒长度-功率关联数据和晶棒长度-液口距关联数据中的一种或多种。

22.如权利要求18所述单晶炉集控巡检方法,其特征在于,获取各个所述单晶炉的所述设备监测数据、所述工步时长监测数据和所述关联监测数据的方法包括:由各个所述单晶炉的工控机服务器获取。

23.如权利要求22所述单晶炉集控巡检方法,其特征在于,...

【技术特征摘要】

1.一种单晶炉集控巡检系统,其特征在于,包括:

2.如权利要求1所述单晶炉集控巡检系统,其特征在于,所述监测数据包括:设备监测数据和制程监测数据中的一种或多种。

3.如权利要求2所述单晶炉集控巡检系统,其特征在于,所述制程监测数据包括:工时时长监测数据、工步时长监测数据和关联监测数据中的一种或多种。

4.如权利要求3所述单晶炉集控巡检系统,其特征在于,所述工时时长监测数据包括:调温工时时长监测数据、加料工时时长监测数据、拆装工时时长监测数据、取棒工时时长监测数据、首熔工时时长监测数据和抽空工时时长监测数据中的一种或多种。

5.如权利要求3所述单晶炉集控巡检系统,其特征在于,所述工步时长监测数据包括:稳定工步时长监测数据、引晶工步时长监测数据、化料工步时长监测数据、放肩工步时长监测数据和转肩工步时长监测数据中的一种或多种。

6.如权利要求3所述单晶炉集控巡检系统,其特征在于,所述关联监测数据包括:放肩长度-放肩长度关联监测数据、时间-液温关联监测数据、晶棒长度-拉速关联数据、晶棒长度-功率关联数据和晶棒长度-液口距关联数据中的一种或多种。

7.如权利要求3所述单晶炉集控巡检系统,其特征在于,所述监测数据获取模块包括:各个所述单晶炉的工控机服务器,所述工控机服务器用于获取各个所述单晶炉的所述设备监测数据、所述工步时长监测数据和所述关联监测数据。

8.如权利要求7所述单晶炉集控巡检系统,其特征在于,所述监测数据获取模块还包括:集控服务器,所述集控服务器与各个所述单晶炉的所述工控机服务器通讯连接,所述集控服务器用于获取各个所述单晶炉的所述工时时长监测数据。

9.如权利要求3所述单晶炉集控巡检系统,其特征在于,所述关联监测数据相对应的所述标准数据为标准曲线。

10.如权利要求9所述单晶炉集控巡检系统,其特征在于,还包括:与所述巡检模块通讯连接的标准曲线获取模块,用于将若干所述单晶炉的若干组历史关联监测数据进行算法拟合,获取所述标准曲线。

11.如权利要求10所述单晶炉集控巡检系统,其特征在于,所述标准曲线获取模块包括:历史数据获取单元,用于获取若干所述单晶炉的若干组历史关联监测数据;数据拟合单元,用于将若干所述单晶炉的若干组所述历史关联监测数据通过算法拟合为所述标准曲线。

12.如权利要求10所述单晶炉集控巡检系统,其特征在于,所述标准曲线获取模块包括:大数据服务器。

13.如权利要求1所述单晶炉集控巡检系统,其特征在于,所述巡检模块包括:标准数据获取单元,用于获取各个所述监测数据相对应的标准数据;对比单元,用于将每个所述监测数据与相对应的所述标准数据进行对比;判断单元,若所述监测数据超过所述标准数据,用于判断对应的所述单晶炉的制程存在异常并报警。

14.如权利要求1所述单晶炉集控巡检系统,其特征在于,所述巡检模块包括:集控服务器。

15.如权利要求2所述单晶炉集控巡检系统,其特征在于,所述巡检模块还包括:优先级设置单元,用于设置所述设备监测数据对应的所述单晶炉的制程异常的优先...

【专利技术属性】
技术研发人员:顾明阳段继超于谦郑庆红
申请(专利权)人:保定景欣电气有限公司
类型:发明
国别省市:

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