【技术实现步骤摘要】
本申请涉及晶体硅，尤其涉及一种单晶硅放肩开叉的检测方法及装置。
技术介绍
1、在单晶硅生长的场景中，需要对单晶硅在放肩过程中是否存在放肩开叉进行检测。
2、目前，多采用人工巡检的方式，查看是否出现开叉。但是在实际的生产环境下，人工检测存在检测准确性低的缺陷。
3、因此，亟需一种能够提高放肩过程中开叉的检测准确性的技术方案。
技术实现思路
1、有鉴于此，本申请提供一种单晶硅放肩开叉的检测方法及装置，用以提高放肩过程中开叉的检测准确性，如下：
2、一种单晶硅放肩开叉的检测方法，所述方法包括：
3、获得单晶硅放肩过程中的待测图像；
4、对所述待测图像中单晶硅的至少部分边缘进行圆拟合，以得到所述单晶硅对应的圆形边缘；
5、根据所述圆形边缘，获得所述待测图像中所述单晶硅的肩口凸出边缘；
6、根据所述肩口凸出边缘，获得检测结果，所述检测结果表征所述待测图像中所述单晶硅是否出现放肩开叉。
7、上述方法，优选的...
【技术保护点】
1.一种单晶硅放肩开叉的检测方法，其特征在于，所述方法包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，根据所述肩口凸出边缘，获得检测结果，包括：
3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，获得所述肩口凸出边缘的像素宽度，包括：
4.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，对所述待测图像中单晶硅的至少部分边缘进行圆拟合，以得到所述单晶硅对应的圆形边缘，包括：
5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，根据所述圆形边缘，获得所述待测图像中所述单晶硅的肩口凸出边缘，包括：
6.根据权利要求5所述的方法，其特征在...
【技术特征摘要】
1.一种单晶硅放肩开叉的检测方法，其特征在于，所述方法包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，根据所述肩口凸出边缘，获得检测结果，包括：
3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，获得所述肩口凸出边缘的像素宽度，包括：
4.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，对所述待测图像中单晶硅的至少部分边缘进行圆拟合，以得到所述单晶硅对应的圆形边缘，包括：
5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，根据所述圆形边缘，获得所述待测图像中所述单晶硅的...
【专利技术属性】
技术研发人员：赵杰，杨振雷，赵博，
申请(专利权)人：保定景欣电气有限公司，
类型：发明
国别省市：
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