下载单晶炉集控巡检系统及方法、存储介质及终端的技术资料

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一种单晶炉集控巡检系统及方法、存储介质及终端,其中单晶炉集控巡检系统包括:监测数据获取模块,用于获取各个所述单晶炉的监测数据;巡检模块,用于将每个所述监测数据与相对应的标准数据进行对比,以判断所述单晶炉的制程是否存在异常。通过实时的自动化获...
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