【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种阵列式超声波影像装置及其控制方法。
技术介绍
1、有对半导体等受检体照射超声波，基于其反射波生成受检体内部的图像信息，而检测受检体内部的缺陷的超声波影像装置。根据该超声波影像装置，能够进行非破坏的高分辨率检查，能够确保电子部件的可靠性。
2、在超声波影像装置的一个方式，存在具有由单个振子构成的单探头的超声波影像装置。在具有该单探头的超声波影像装置中，使单探头在受检体的表面或层叠界面的规定区域的x方向/y方向进行机械性扫描，而对受检体照射超声波并进行反射波的检测。
3、为缩短该超声波影像装置的作业时间，需加快单探头的扫描速度。但是，在将受检体和单探头浸水的超声波影像装置，若加快单探头的扫描速度，则会产生出现夹带气泡、波纹等引起图像劣化的现象的问题。
4、因此，例如，有一种超声波检查装置，其包括具有多个压电振动元件的阵列式超声波传感器，通过在阵列排列方向上进行电子扫描，进而在阵列排列的法线方向上进行机械扫描，使用来自检查对象内部的反射信号生成检查图像(参照专利文献1)。
5、现有技术文献
6、专利文献
7、专利文献1：日本特开2007-263780号公报
技术实现思路
1、专利技术要解决的技术问题
2、根据上述现有技术，因为能够降低探头的扫描速度，所以能够降低出现夹带气泡、波纹等引起图像劣化的现象的发生。但是，在对阵列式超声波探头进行往复机械扫描而生成受检体的大范围的反射波图像时，在机
3、本专利技术的目的在于提供一种使阵列式超声波探头进行往复扫描而生成受检体的反射波图像的、图像偏离少的阵列式超声波影像装置及其控制方法。
4、用于解决技术问题的技术手段
5、为了解决上述技术问题，本专利技术的阵列式超声波影像装置，使多个振子沿直线排列的超声波阵列探头进行平面扫描，对受检体的表面或层叠边界面照射超声波束，显示来自受检体的超声波反射波的信号强度，其中，所述平面扫描是通过一边进行以规定的扫描顺序对受检体照射超声波束的电子扫描一边使所述超声波阵列探头在与振子的排列方向垂直的方向上往复移动的扫描动作、和使超声波阵列探头与所述振子的排列方向平行地移动的移位动作来进行的，以使得成为在所述电子扫描的一端的照射点照射超声波束，接着在相对的另一端的照射点照射超声波束，这样从各个端部逐一地向中央部去交替地依次照射超声波束的扫描顺序的方式，选择所述多个振子照射超声波束来进行电子扫描。
6、此外，本专利技术提供一种阵列式超声波影像装置的控制方法，所述阵列式超声波影像装置将多个振子沿直线排列的超声波阵列探头的超声波束依次照射至受检体而进行电子扫描，显示来自所述受检体的超声波反射波的信号强度，所述阵列式超声波影像装置的控制方法包括：第1步骤，一边以成为在电子扫描的一端的照射点对所述受检体照射超声波束，接着在相对的另一端的照射点对所述受检体照射超声波束，这样从各个端部逐一地向中央部去交替地依次照射超声波束的扫描顺序的方式选择所述多个振子按规定的扫描顺序对所述受检体照射超声波束，一边在与所述超声波阵列探头的振子的排列方向垂直的方向上使所述超声波阵列探头以规定速度连续移动；移位步骤，进行使所述超声波阵列探头与所述振子的排列方向平行地移动所述电子扫描的扫描宽度的量的移位动作；和第2步骤，一边以成为在电子扫描的一端的照射点对所述受检体照射超声波束，接着在相对的另一端的照射点对所述受检体照射超声波束，这样从各个端部逐一地向中央部去交替地依次照射超声波束的扫描顺序的方式选择所述多个振子，按规定的扫描顺序对所述受检体照射超声波束，一边使所述超声波阵列探头与所述第1步骤反向地以规定速度连续移动，通过反复进行所述第1步骤、所述移位步骤和所述第2步骤，对受检体整面进行电子扫描。
7、专利技术的效果
8、根据本专利技术，能够提高一种使阵列式超声波探头进行平面扫描而生成受检体的超声波反射图像的阵列式超声波影像装置，其能够抑制在阵列式超声波探头的扫描的往复移动时产生的反射波图像的图像偏离。
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1.一种阵列式超声波影像装置，其特征在于：
2.如权利要求1所述的阵列式超声波影像装置，其特征在于，包括：
3.如权利要求2所述的阵列式超声波影像装置，其特征在于：
4.如权利要求2所述的阵列式超声波影像装置，其特征在于：
5.如权利要求1所述的阵列式超声波影像装置，其特征在于：
6.如权利要求1所述的阵列式超声波影像装置，其特征在于，包括：
7.如权利要求6所述的阵列式超声波影像装置，其特征在于，包括：
8.一种阵列式超声波影像装置的控制方法，所述阵列式超声波影像装置将多个振子沿直线排列的超声波阵列探头的超声波束依次照射至受检体而进行电子扫描，显示来自所述受检体的超声波反射波的信号强度，所述阵列式超声波影像装置的控制方法的特征在于，包括：
9.如权利要求8所述的阵列式超声波影像装置的控制方法，其特征在于，包括：
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种阵列式超声波影像装置，其特征在于：
2.如权利要求1所述的阵列式超声波影像装置，其特征在于，包括：
3.如权利要求2所述的阵列式超声波影像装置，其特征在于：
4.如权利要求2所述的阵列式超声波影像装置，其特征在于：
5.如权利要求1所述的阵列式超声波影像装置，其特征在于：
6.如权利要求1所述的阵列式超声波影像装置，其特征在于，包括：
【专利技术属性】
技术研发人员：岸本卓弥，北见薰，神长诚，
申请(专利权)人：株式会社日立电力解决方案，
类型：发明
国别省市：
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