超声波检查装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供能够提高缺陷部的检测性能、例如能够减小可检测的缺陷尺寸下限的超声波检查装置。为了解决该课题，超声波检查装置(Z)具备：扫描测量装置(1)，其进行至被检查体的超声波束的扫描及测量；以及控制装置(2)，其控制扫描测量装置(1)的驱动，扫描测量装置(1)具备：发送探针(110)，其放出超声波束；以及偏心配置接收探针(120)，其接收超声波束，偏心配置接收探针(120)配置成使发送探针(110)的发送声轴与偏心配置接收探针(120)的接收声轴的偏心距离大于零，偏心配置接收探针(120)具备具有多个单位入射部的入射部，所述单位入射部具备具有多个法线的表面形状。有多个法线的表面形状。有多个法线的表面形状。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】超声波检查装置


[0001]本专利技术涉及一种超声波检查装置。

技术介绍

[0002]已知使用了超声波束的被检查体的缺陷部的检查方法。例如，在被检查体的内部存在空气等声阻抗小的缺陷部(空洞等)的情况下，由于在被检查体的内部产生声阻抗的间隙，因此，超声波束的透过量变小。因此，通过测量超声波束的透过量，能够检测被检查体内部的缺陷部。
[0003]对于超声波检查装置，已知专利文献1所记载的技术。在专利文献1所记载的超声波检查装置中，将由连续的预定个数的负的矩形波构成的矩形波突发信号施加于与被检体隔着空气对置配设的发送超声波探头。通过与被检体隔着空气对置配设的接收超声波探头将在被检体中传播的超声波转换成透过波信号。基于该透过波信号的信号电平，判定被检体的缺陷的有无。另外，发送超声波探头及接收超声波探头比抵接于被检体使用的接触型超声波探头将振子及安装于该振子的超声波的收发侧的前面板的声阻抗设定得低。
[0004]现有技术文献
[0005]专利文献
[0006]专利文献1：日本特开2008－128965号公报(特别是摘要)

技术实现思路

[0007]专利技术所要解决的课题
[0008]在专利文献1所记载的超声波检查装置中，具有如下课题：在被检查体中的缺陷部微小的情况下，难以检测出。该课题特别是在要检测的缺陷部的尺寸比超声波束的大小(束直径)小的情况下特别显著。
[0009]本公开所要解决的课题在于提供一种缺陷部的检测性能、例如最小可检测尺寸优异的超声波检查装置。r/>[0010]用于解决课题的方案
[0011]本公开的超声波检查装置通过经由流体向被检查体入射超声波束，进行所述被检查体的检查，该超声波检查装置的特征在于，具备：扫描测量装置，其进行至所述被检查体的所述超声波束的扫描及测量；以及控制装置，其控制所述扫描测量装置的驱动，所述扫描测量装置具备：发送探针，其放出所述超声波束；以及偏心配置接收探针，其接收超声波束，所述偏心配置接收探针配置成，使所述发送探针的发送声轴与所述偏心配置接收探针的接收声轴的偏心距离大于零，所述偏心配置接收探针具备具有多个单位入射部的入射部，所述单位入射部具备具有多个法线的表面形状。
[0012]专利技术效果
[0013]根据本公开，能够提供一种缺陷部的检测性能、例如最小可检测尺寸优异的超声波检查装置。
附图说明
[0014]图1是表示第一实施方式的超声波检查装置的结构的图。
[0015]图2A是说明发送声轴、接收声轴以及偏心距离的图，且是发送声轴及接收声轴沿铅垂方向延伸的情况。
[0016]图2B是说明发送声轴、接收声轴以及偏心距离的图，且是发送声轴及接收声轴倾斜地延伸的情况。
[0017]图3是表示发送探针的构造的截面示意图。
[0018]图4A是来自偏心配置接收探针的接收波形，且是表示被检查体E的健全部N处的接收波形的图。
[0019]图4B是来自偏心配置接收探针的接收波形，且是表示被检查体E的缺陷部D处的接收波形的图。
[0020]图5是表示信号强度数据的标绘的例子的图。
[0021]图6A是第一实施方式的超声波束的传播路径，且是表示超声波束射入健全部的情况的图。
[0022]图6B是第一实施方式的超声波束的传播路径，且是表示超声波束射入缺陷部的情况的图。
[0023]图7A是表示现有的超声波检查方法中的超声波束的传播路径的图，且是表示向健全部射入时的图。
[0024]图7B是表示现有的超声波检查方法中的超声波束的传播路径的图，且是表示向缺陷部射入时的图。
[0025]图8是表示现有的超声波检查方法中的信号强度数据的标绘的图。
[0026]图9A是表示被检查体内的缺陷部与超声波束的相互作用的图，且是表示接收直达的超声波束的样子的图。
[0027]图9B是表示被检查体内的缺陷部与超声波束的相互作用的图，且是表示接收散射波的样子的图。
[0028]图10A是说明偏心配置接收探针的构造的图，且是从侧方观察的图。
[0029]图10B是图10A的俯视图。
[0030]图11是将图10A所示的偏心配置接收探针的表面放大表示的图。
[0031]图12是表示向单位入射部的入射角与入射的散射波的相对于接收声轴的角度为零时的中心角的关系的图表。
[0032]图13是控制装置的功能块图。
[0033]图14是表示控制装置的硬件结构的图。
[0034]图15是表示第一实施方式的超声波检查方法的流程图。
[0035]图16是表示第二实施方式的超声波检查装置的扫描测量装置的结构的图。
[0036]图17是说明产生第二实施方式的效果的理由的图。
[0037]图18是表示具备不具有入射部的偏心配置接收探针的超声波检查装置的图。
[0038]图19是测定偏心配置接收探针的角度与信号强度的关系的图。
[0039]图20A是说明第三实施方式的偏心配置接收探针的构造的图，且是从侧方观察的图。
[0040]图20B是将图20A所示的偏心配置接收探针的表面放大表示的图。
[0041]图21是说明第四实施方式的偏心配置接收探针的构造的图，且是从侧方观察的图。
[0042]图22是说明第五实施方式的偏心配置接收探针的构造的图，且是从侧方观察的图。
[0043]图23是说明第六实施方式的偏心配置接收探针的构造的图，且是从侧方观察的图。
[0044]图24是说明第七实施方式的偏心配置接收探针的构造的图，且是从侧方观察的图。
[0045]图25A是说明第八实施方式的偏心配置接收探针的构造的图，且是从侧方观察的图。
[0046]图25B是图25A的俯视图。
[0047]图26是说明第九实施方式的偏心配置接收探针的构造的俯视图。
[0048]图27是表示第十实施方式的超声波检查装置的结构的图。
[0049]图28是第十实施方式的超声波检查装置的功能块图。
[0050]图29是表示第十一实施方式的超声波检查装置的结构的图。
[0051]图30是表示第十二实施方式的超声波检查装置的结构的图。
[0052]图31是第十二实施方式的超声波检查装置的功能块图。
[0053]图32是表示第十三实施方式的偏心配置接收探针的配置的图，且是将单位探针倾斜地配置的图。
具体实施方式
[0054]以下，参照附图对用于实施本公开的方式(称为实施方式)进行说明。但是，本公开不局限于以下的实施方式，例如，能够将不同的实施方式彼此组合，或者在不显著地损害本公开的效果的范围内任意变形。另外，对相同的部件标注相同的符号，且省略重复的说明。而且，具有相同的功能的部分标注相同的名称。图示的内容终究只是示意性的内容，为了图示，有时在不显著地损害本公开的效果的范围内从实际的结构进行变更。
[0055本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种超声波检查装置，其通过经由流体向被检查体入射超声波束，进行所述被检查体的检查，该超声波检查装置的特征在于，具备：扫描测量装置，其进行至所述被检查体的所述超声波束的扫描及测量；以及控制装置，其控制所述扫描测量装置的驱动，所述扫描测量装置具备：发送探针，其放出所述超声波束；以及偏心配置接收探针，其接收超声波束，所述偏心配置接收探针配置成，使所述发送探针的发送声轴与所述偏心配置接收探针的接收声轴的偏心距离大于零，所述偏心配置接收探针具备入射部，该入射部具备多个单位入射部，所述单位入射部具备具有多个法线的表面形状。2.根据权利要求1所述的超声波检查装置，其特征在于，所述偏心距离设定为能够接收所述超声波束的、因所述被检查体的缺陷部的散射而产生的散射波的距离。3.根据权利要求1或2所述的超声波检查装置，其特征在于，所述偏心距离设定为，使入射到所述被检查体的缺陷部时的在所述偏心配置接收探针的接收信号强度比入射到所述被检查体的健全部时的所述接收信号强度大。4.根据权利要求1或2所述的超声波检查装置，其特征在于，所述偏心距离设定为在照射到所述被检查体的健全部时不会检测到噪声以外的接收信号的距离。5.根据权利要求1或2所述的超声波检查装置，其特征在于，具备偏心距离调整部，该偏心距离调整部调整所述发送探针及所述偏心配置接收探针的至少一方的位置。6.根据权利要求1或2所述的超声波检查装置，其特征在于，所述流体为...

【专利技术属性】
技术研发人员：铃木睦三，高丽友辅，大野茂，
申请(专利权)人：株式会社日立电力解决方案，
类型：发明
国别省市：