【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于先进光学制造与检测，具体涉及一种干涉测量非连续相位展开方法。
技术介绍
1、相位测量是根据获得的相位信息经过计算得到测量结果，其中，相位展开是为了重建连续的相位分布，相位展开的精度直接影响测量结果的准确性。随着相位测量技术的快速发展，关于相位展开的研究也成为了研究热点。相位展开的误差直接由原始相位中相邻相位差分超过π造成(itoh,k.analysis of the phase unwrapping algorithm[j].applied optics,1982,21(14):p.2470-2470)，噪声、欠采样、阴影或相位本身的不连续性都可以使原始相位的差分值大于π，此时相位展开与路径有关(ghiglia d c.and pritt md.two-dimensional phase unwrapping:theory,algorithms,and software[m]new york:wiley&sons.1998)。为了有效减少上述误差对相位展开的影响，国内外都进行了大量的研究，大致可以分为路径跟踪的局部算法和最小化目标函数的全局算法。
2、干涉测量技术对表面形貌具有非常高的灵敏度，同时也不需要与被测表面进行接触，横向分辨率仅受光学衍射和相机像素数的限制，被广泛用于多种不同类型测量应用中。但是在条纹数据的处理中，传统的提取条纹中心线法很难提高测量精度，为了提高干涉测量技术的精度，相位测量技术由于具有高分辨率、高计算精度的优势，得到了广泛的应用(金观昌，计算机辅助光学测量，北京：清华大学
技术实现思路
1、为解决上述技术问题，本专利技术提供一种干涉测量非连续相位展开方法，通过寻找不同倾斜状态下的包裹相位的级次，获取解包裹后相互间整体相位差异最小的相位分布，完成相位展开，克服非连续相位之间条纹存在级次错位引起的相位解包裹出错问题。
2、为了实现所述目的，本专利技术采用的技术方案为：
3、一种干涉测量非连续相位展开方法，步骤如下：
4、s1：调整干涉仪与被测件，使得干涉条纹稀疏可分辨，干涉仪移相后得到初始包裹相位，初步判断调整被测件倾斜状态的方向；
5、s2：在俯仰和偏转方向上多次调整被测件，改变干涉条纹的方向和疏密，干涉仪移相后得到多组叠加不同的倾斜相位的包裹相位；
6、s3：寻找各包裹相位的级次，获取解包裹后相互间整体相位差异最小的相位分布，即为准确的解包裹相位分布。
7、进一步地，在非连续相位分布中，真实相位分布是唯一确定的。
8、进一步地，所述s2中，叠加不同的倾斜相位的包裹相位的条纹的表现形式不同。
9、进一步地，所述s3中，级次n采用下式优化求解：
10、
11、其中，k是倾斜次数，(i,j)是像素点的位置；k为总共倾斜次数，f()为求解整体间相位rms值最小时的相位级次的函数，rms()为计算面形间差异的均方根，phasek为第k次倾斜状态下的相位值，phase1为第一次倾斜状态下的相位值，min为求解面形差异最小。
12、有益效果：
13、本专利技术可以快速找到干涉测量非连续相位之间正确的相位级次，有效解决非连续相位展开时存在的级次错位问题，避免了展开相位出现截断现象，实现连续准确的相位展开。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种干涉测量非连续相位展开方法，其特征在于，包括如下步骤：
2.根据权利要求1所述的一种干涉测量非连续相位展开方法，其特征在于，在非连续相位分布中，真实相位分布是唯一确定的。
3.根据权利要求1所属的一种干涉测量非连续相位展开方法，其特征在于，所述S2中，叠加不同的倾斜相位的包裹相位的条纹的表现形式不同。
4.根据权利要求1所述的一种干涉测量非连续相位展开方法，其特征在于，所述S3中，级次N采用下式优化求解：
【技术特征摘要】
1.一种干涉测量非连续相位展开方法，其特征在于，包括如下步骤：
2.根据权利要求1所述的一种干涉测量非连续相位展开方法，其特征在于，在非连续相位分布中，真实相位分布是唯一确定的。
3.根据权利要求1所属...
【专利技术属性】
技术研发人员：赵文川，李明泽，
申请(专利权)人：中国科学院光电技术研究所，
类型：发明
国别省市：
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