一种判定异常芯片的方法、装置、电子设备及存储介质制造方法及图纸

技术编号:40426312 阅读:24 留言:0更新日期:2024-02-20 22:46
本发明专利技术实施例公开一种判定异常芯片的方法、装置、电子设备及存储介质,涉及芯片验证领域,能够有效提高异常芯片判定的准确性。所述方法包括:对第一晶圆上第一芯片的第一引脚,依次施加至少两个检测输入值,得到对应的检测输出值;基于所述检测输出值及预设异常判定规则确定所述第一芯片是否异常,其中,所述预设异常判定规则包含多个异常判定条件,当多个异常判定条件中任一条件满足时,判定第一芯片为异常芯片。本发明专利技术适用于芯片验证。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及芯片验证领域,尤其涉及一种判定异常芯片的方法、装置、电子设备及存储介质


技术介绍

1、半导体芯片制造工艺不断发展,单位面积上晶体管数量快速增加,在单个晶体管的漏电无法明显降低的制约下,单颗芯片的总漏电也在快速增加,则晶圆测试时探针承受的电流也在快速增加。而晶圆探针电流耐受值有上限,高低温测试时的芯片总电流容易达到探针的电流耐受上限。且由于制造缺陷造成的高漏电芯片,在进行不同ip(全称:intellectual property,中文:知识产权核心)测试时更容易出现预期之外的大电流,发生烧针的概率进一步增大。为保证量产测试的顺利进行,必须在正常功能测试之前将漏电偏大的芯片筛除掉。

2、然而,现阶段的测试方法仅针对某一引脚进行一次固定档位测试,异常芯片的判定条件为固定的绝对值,没有考虑不同档位之间测量值的变化是否在正常范围内。也没有考虑不同晶圆之间的体质差异,造成了部分芯片在不同电压条件下测试时的电流值增加明显,而这些芯片在后续更高的电压下大概率会出现足以烧针的大电流。因此,容易造成判定条件过宽或者过窄的情况,从而导致对异常芯片的判本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种判定异常芯片的方法,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的判定异常芯片的方法,其特征在于,所述预设异常判定规则包含的多个异常判定条件,包括以下判定条件中的至少两个:

3.根据权利要求2所述的判定异常芯片的方法,其特征在于,所述根据所述检测输出值的大小,确定所述第一芯片是否异常,包括:

4.根据权利要求2所述的判定异常芯片的方法,其特征在于,所述根据相邻两个检测输入值所对应的检测输出值的变化幅度,确定所述第一芯片是否异常,包括:

5.根据权利要求2所述的判定异常芯片的方法,其特征在于,所述根据相邻两个检测输入值所对应的输出值等级...

【技术特征摘要】

1.一种判定异常芯片的方法,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的判定异常芯片的方法,其特征在于,所述预设异常判定规则包含的多个异常判定条件,包括以下判定条件中的至少两个:

3.根据权利要求2所述的判定异常芯片的方法,其特征在于,所述根据所述检测输出值的大小,确定所述第一芯片是否异常,包括:

4.根据权利要求2所述的判定异常芯片的方法,其特征在于,所述根据相邻两个检测输入值所对应的检测输出值的变化幅度,确定所述第一芯片是否异常,包括:

5.根据权利要求2所述的判定异常芯片的方法,其特征在于,所述根据相邻两个检测输入值所对应的输出值等级,确定所述第一芯片是否异常,包括:

6.根据权利要求1所述的判定异常芯片的方法,其特征在于,所述对第一晶圆上第一芯片的第一引脚,依次施加至少两个检测输入值,得到对应的检测输出值,包括:

7.根据权利要求1所述的判定异常芯片的方法,其特征在于,在对所述第一晶圆上的第一芯片进行异常检测之后,所述方法还包括:

8.根据权利要求7所述的判定异常芯片的方法,其特征在于,在检测输入值为电压值的情况下,所述基于所述第一晶圆上已检测的芯片的检测输出值,更新所述预设异常判定规则中的至少一个异常判定条件,包括:

9.根据权利要求7所述的判定异常芯片的方法,其特征在于,在检测输入值为电流值的情况下,所述基于所述第一晶圆上已检测的芯片的检测输出值,更新所述预设异常判定规则中的至少一个异常判定条件,包括:

10.根据权利要求7所述的判定异常芯片的方法,其特征在于,所述基于所述第一晶圆上已检测的芯片的检测输出值,更新所述预设异常判定规则中的至少一个异常判定条件,包括:

11.根据权利要求7所述的判定异常芯片的方法,其特征在于,所述基于所述第一晶圆上已检测的芯片的检测输出值,更新所述预设异常判定规则中的至少一个异常判定条件,包括:

12.根据权利要求7所述的判定异常芯片的方法,其特征在于,

13.根据权利要求12所述的判定异常芯片的方法,其特征在于,在检测输入值为电压值的情况下,所述基于所述第一晶圆上已检测的芯片的检测输出值,再次更新所述预设异常判定规则中的至少一个异常判定条件,包括:

14.根据权利要求12所述的判定异常芯片的方法,其特征在于,在检测输入值为电流值的情况下,所述基于所述第一晶圆上已检测的芯片的检测输出值,再次更新所述预设异常判定规则中的至少一个异常判定条件,包括:

15.根据权利要求12所述的判定异常芯片的方法,其特征在于,所述基于所述第一晶圆上已检测的芯片的检测输出值,再次更新所述预设异常判定规则中的至少一个异常判定条件,包括:

16.根据权利要求12所述的判定异常芯片的方法,其特征在于,所述基于所述第一晶圆上已检测的芯片的检测输出值,再次更新所述...

【专利技术属性】
技术研发人员:董浩
申请(专利权)人:海光云芯集成电路设计上海有限公司
类型:发明
国别省市:

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1