【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及芯片验证领域,尤其涉及一种判定异常芯片的方法、装置、电子设备及存储介质。
技术介绍
1、半导体芯片制造工艺不断发展,单位面积上晶体管数量快速增加,在单个晶体管的漏电无法明显降低的制约下,单颗芯片的总漏电也在快速增加,则晶圆测试时探针承受的电流也在快速增加。而晶圆探针电流耐受值有上限,高低温测试时的芯片总电流容易达到探针的电流耐受上限。且由于制造缺陷造成的高漏电芯片,在进行不同ip(全称:intellectual property,中文:知识产权核心)测试时更容易出现预期之外的大电流,发生烧针的概率进一步增大。为保证量产测试的顺利进行,必须在正常功能测试之前将漏电偏大的芯片筛除掉。
2、然而,现阶段的测试方法仅针对某一引脚进行一次固定档位测试,异常芯片的判定条件为固定的绝对值,没有考虑不同档位之间测量值的变化是否在正常范围内。也没有考虑不同晶圆之间的体质差异,造成了部分芯片在不同电压条件下测试时的电流值增加明显,而这些芯片在后续更高的电压下大概率会出现足以烧针的大电流。因此,容易造成判定条件过宽或者过窄的情况,从
...【技术保护点】
1.一种判定异常芯片的方法,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的判定异常芯片的方法,其特征在于,所述预设异常判定规则包含的多个异常判定条件,包括以下判定条件中的至少两个:
3.根据权利要求2所述的判定异常芯片的方法,其特征在于,所述根据所述检测输出值的大小,确定所述第一芯片是否异常,包括:
4.根据权利要求2所述的判定异常芯片的方法,其特征在于,所述根据相邻两个检测输入值所对应的检测输出值的变化幅度,确定所述第一芯片是否异常,包括:
5.根据权利要求2所述的判定异常芯片的方法,其特征在于,所述根据相邻两个检测输入
...【技术特征摘要】
1.一种判定异常芯片的方法,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的判定异常芯片的方法,其特征在于,所述预设异常判定规则包含的多个异常判定条件,包括以下判定条件中的至少两个:
3.根据权利要求2所述的判定异常芯片的方法,其特征在于,所述根据所述检测输出值的大小,确定所述第一芯片是否异常,包括:
4.根据权利要求2所述的判定异常芯片的方法,其特征在于,所述根据相邻两个检测输入值所对应的检测输出值的变化幅度,确定所述第一芯片是否异常,包括:
5.根据权利要求2所述的判定异常芯片的方法,其特征在于,所述根据相邻两个检测输入值所对应的输出值等级,确定所述第一芯片是否异常,包括:
6.根据权利要求1所述的判定异常芯片的方法,其特征在于,所述对第一晶圆上第一芯片的第一引脚,依次施加至少两个检测输入值,得到对应的检测输出值,包括:
7.根据权利要求1所述的判定异常芯片的方法,其特征在于,在对所述第一晶圆上的第一芯片进行异常检测之后,所述方法还包括:
8.根据权利要求7所述的判定异常芯片的方法,其特征在于,在检测输入值为电压值的情况下,所述基于所述第一晶圆上已检测的芯片的检测输出值,更新所述预设异常判定规则中的至少一个异常判定条件,包括:
9.根据权利要求7所述的判定异常芯片的方法,其特征在于,在检测输入值为电流值的情况下,所述基于所述第一晶圆上已检测的芯片的检测输出值,更新所述预设异常判定规则中的至少一个异常判定条件,包括:
10.根据权利要求7所述的判定异常芯片的方法,其特征在于,所述基于所述第一晶圆上已检测的芯片的检测输出值,更新所述预设异常判定规则中的至少一个异常判定条件,包括:
11.根据权利要求7所述的判定异常芯片的方法,其特征在于,所述基于所述第一晶圆上已检测的芯片的检测输出值,更新所述预设异常判定规则中的至少一个异常判定条件,包括:
12.根据权利要求7所述的判定异常芯片的方法,其特征在于,
13.根据权利要求12所述的判定异常芯片的方法,其特征在于,在检测输入值为电压值的情况下,所述基于所述第一晶圆上已检测的芯片的检测输出值,再次更新所述预设异常判定规则中的至少一个异常判定条件,包括:
14.根据权利要求12所述的判定异常芯片的方法,其特征在于,在检测输入值为电流值的情况下,所述基于所述第一晶圆上已检测的芯片的检测输出值,再次更新所述预设异常判定规则中的至少一个异常判定条件,包括:
15.根据权利要求12所述的判定异常芯片的方法,其特征在于,所述基于所述第一晶圆上已检测的芯片的检测输出值,再次更新所述预设异常判定规则中的至少一个异常判定条件,包括:
16.根据权利要求12所述的判定异常芯片的方法,其特征在于,所述基于所述第一晶圆上已检测的芯片的检测输出值,再次更新所述...
【专利技术属性】
技术研发人员:董浩,
申请(专利权)人:海光云芯集成电路设计上海有限公司,
类型:发明
国别省市:
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