一种光伏电池正面钝化结构及其应用制造技术

本发明专利技术公开了一种光伏电池正面钝化结构及其应用，涉及太阳能电池技术领域，所述光伏电池正面钝化结构为CuO<subgt;x</subgt;/SiN<subgt;x</subgt;：H叠层结构；其中，CuO<subgt;x</subgt;层厚度为1～20nm；SiN<subgt;x</subgt;：H层厚度为80～90nm。本发明专利技术在电池正面采用CuO<subgt;x</subgt;层代替poly‑Si起到载流子选择接触作用，在实现对电池正面良好钝化的同时作为载流子选择接触层有效减少载流子复合；同时由于宽带隙过渡金属氧化物具有寄生吸收低的特点，将CuO<subgt;x</subgt;层用于正面钝化在保证钝化的基础上避免了poly‑Si带来的光学损失。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及太阳能电池，尤其涉及一种光伏电池正面钝化结构及其应用。

技术介绍

1、通过不对称电子和空穴传输层有效分离和收集光生载流子是晶体硅太阳能电池的关键问题之一。topcon技术通过在硅片背面沉积隧穿氧化钝化层同时起到化学钝化和场钝化的作用，正面借鉴perc电池的正面结构对表面进行钝化，进一步提高光伏电池的表面钝化效果，降低载流子复合。

2、然而topcon电池正面结构容易造成光学损失，限制了电池效率的提升水平。另外多晶硅对入射光具有较高的吸光系数，会降低光伏电池的有效光吸收，一定程度上降低光伏电池的量子效率，进而导致光伏电池的短路电流和效率降低。因此需要寻找一种材料用于电池正面钝化，在保证钝化效果同时减少寄生吸收，提高电池光学性能。

3、由于宽带隙过渡金属氧化物具有寄生吸收低的特点，将过渡金属氧化物用于电池正面钝化有利于减少寄生吸收，进而提高电池的光学性能。此外过渡金属氧化物具有光学透明性、表面钝化和载流子选择性的特点，可以方便、经济、安全地沉积。通常具有高功函数(wf)的金属氧化物可以作为空穴选择接触点(如wox，moox本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种光伏电池正面钝化结构，其特征在于，所述光伏电池正面钝化结构为CuOx/SiNx：H叠层结构；其中，

2.根据权利要求1所述的一种光伏电池正面钝化结构，其特征在于，所述CuOx层的制备方法为热蒸发沉积或电子束蒸发沉积中的一种。

3.根据权利要求1或2所述的一种光伏电池正面钝化结构，其特征在于，所述SiNx：H层制备方法为等离子体增强化学气相沉积法(PECVD)或低压气相沉积法(LPCVD)中的一种。

4.一种如权利要求1-3任一项所述的光伏电池正面钝化结构的应用，其特征在于，所述光伏电池正面钝化结构用于n型/p型TOPCon电池正面。

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【技术特征摘要】

1.一种光伏电池正面钝化结构，其特征在于，所述光伏电池正面钝化结构为cuox/sinx：h叠层结构；其中，

2.根据权利要求1所述的一种光伏电池正面钝化结构，其特征在于，所述cuox层的制备方法为热蒸发沉积或电子束蒸发沉积中的一种。

3.根据权利要求1或2所述的一种光伏电池正面钝化结构，其特征在于，所述sinx：h层制备方法为等离子体增强化学气相沉积法(pecvd)或低压气相沉积法(lpcvd)中的一种。

4.一种如权利要求1-3任一项所述的光伏电池正面钝化结构的应用，其特征在于，所述光伏电池正面钝化结构用于n型/p型topcon电池正面。

5.根据权利要求4所述的一种光伏电池正面钝化结构的应用，其特征在于，所述光伏电池正面...

【专利技术属性】
技术研发人员：阮妙，倪玉凤，张婷，杨露，
申请(专利权)人：青海黄河上游水电开发有限责任公司西宁太阳能电力分公司，
类型：发明
国别省市：

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