一种光纤流速传感探针和传感装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种光纤流速传感探针和传感装置，单模光纤内部具有纤芯，单模光纤一端设有覆盖纤芯的聚合物帽结构，聚合物帽结构远离单模光纤一侧覆有金属膜层。通过上述优化设计的光纤流速传感探针，结构小巧，稳定牢固，通过单模光纤端面和聚合物帽构成一个法布里珀罗(FP)结构，聚合物帽表面的金属膜层被红外激光加热，热量从金属膜层经过热传递到聚合物帽结构使其受热膨胀，利用聚合物帽结构在不同的微流控速率下被带走热量差异，聚合物帽结构的腔长发生变化，从而通过监测干涉谱其波长漂移量来测量流速，实现微流条件下的高对比度、宽量程、高灵敏微量流速传感。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及光纤流速传感，尤其涉及一种光纤流速传感探针和传感装置。

技术介绍

1、流速流量的测量在国民生产、生物医学、环境监测等领域有着举足轻重的地位。随着生物科学和技术的发展，需要准确地测量各种微流控体的流速，如微流体通道、样品dna、血管等。一般来说，这些领域使用的流体体积是以毫升、微升计算的。因此，需要一种更精确的测量装置来监测微流体速度。光纤流速传感器因其具有灵敏度高、抗电磁干扰、体积小、成本低、易于系统集成等优点得到了广泛的研究。现有可用于流体速度测量的光纤流速传感器有很多种类，主要包括超声波、薄膜、热线、目标流量计。然而基于光纤弯曲效应或反射膜形变等力学型的光纤流速传感器只能用于较大流速的测量，而不适用于微流速的测量。此外，光纤多普勒流速传感器是基于光的多普勒频移来实现流体速度的非接触测量，具有较高的流速灵敏度，然而这种方法要求流体中存在足够浓度的颗粒，而流体中的杂质和气泡易给测量结果带来的误差。因此寻找一种快速、准确、实时的微流速测量方法是十分必要的。

2、近年来，光纤热式流速传感器的出现为复杂环境下微流速的测量提供了一种新手段本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种光纤流速传感探针，其特征在于，包括：单模光纤(1)；

2.根据权利要求1所述的光纤流速传感探针，其特征在于，金属膜层(2)采用金膜。

3.根据权利要求1所述的光纤流速传感探针，其特征在于，聚合物帽结构(3)采用光固化胶固化而成。

4.一种光纤流速传感装置，其特征在于，包括根据权利要求1-3任一项所述的光纤流速传感探针。

5.根据权利要求4所述的光纤流速传感装置，其特征在于，还包括红外激光光源(10)、宽带相干光源(20)、光谱仪(30)、环形器(40)、耦合器(50)；

6.根据权利要求5所述的光纤流速传感装置，其特征在...

【技术特征摘要】

1.一种光纤流速传感探针，其特征在于，包括：单模光纤(1)；

2.根据权利要求1所述的光纤流速传感探针，其特征在于，金属膜层(2)采用金膜。

3.根据权利要求1所述的光纤流速传感探针，其特征在于，聚合物帽结构(3)采用光固化胶固化而成。

4.一种光纤流速传感装置，其特征在于，包括根据权利要求1-3任一项所述的光纤流速传感探针。

5.根据...

【专利技术属性】
技术研发人员：曲士良，许伟将，刘一，
申请(专利权)人：哈尔滨工业大学，
类型：发明
国别省市：